Crystal Growth Fırın Sistemi nədir

Tək kristal inkişaf sobası polikristal silisium materialından dislokasiyaya məruz qalmayan monokristalların istehsalı üçün istifadə olunan yüksək ixtisaslaşmış avadanlıqdır. Arqon qazı mühitində soba polikristal silisiumu əritmək və Czochralski metodundan istifadə edərək monokristal silisium yetişdirmək üçün qrafit istilik sistemindən istifadə edir. Ocaq səmərəli və yüksək keyfiyyətli kristal böyüməsini təmin etmək üçün harmoniyada işləyən altı əsas sistemdən ibarətdir. Bu sistemlərə mexaniki ötürmə sistemi, istilik temperaturuna nəzarət sistemi, vakuum sistemi, arqon qaz sistemi, su soyutma sistemi və elektrik idarəetmə sistemi daxildir.

Mexanik Transmissiya Sistemi

Mexanik ötürmə sistemi monokristal sobasının işləmə qabiliyyətinin əsasını təşkil edir. O, həm kristalın, həm də tigelin hərəkətinə nəzarət etmək, o cümlədən toxum kristalının qaldırılması və fırlanması və tigenin şaquli və fırlanma mövqelərinin tənzimlənməsi üçün cavabdehdir. Bu parametrlərə nəzarətdə dəqiqlik toxum əkmə, boyunbağırma, çiyinləmə, bərabər diametrli böyümə və quyruq kimi kristal böyüməsinin hər bir mərhələsinin müvəffəqiyyəti üçün çox vacibdir. Bu mərhələlərdə toxum kristalının mövqeyinə, sürətinə və bucağına dəqiq nəzarət kristalın tələb olunan proses şərtlərinə uyğun böyüməsini təmin edir. Bu sistem olmasaydı, soba qüsursuz kristallar istehsal etmək üçün lazım olan incə tənzimləmələri yerinə yetirə bilməzdi.

İstilik Temperaturuna Nəzarət Sistemi

Ocağın funksionallığının əsasını polikristal silisiumu əritmək üçün lazım olan istiliyin əmələ gəlməsinə və kristalın böyüməsi prosesində sabit temperaturun saxlanmasına cavabdeh olan istilik temperaturuna nəzarət sistemi dayanır. Bu sistem qızdırıcı, temperatur sensorları və temperatur nəzarət bloku kimi komponentlərdən ibarətdir. Çox vaxt yüksək təmizlikli qrafitdən hazırlanan qızdırıcı elektrik enerjisini istilik enerjisinə çevirərək istilik yaradır. Silikon material istənilən temperatura çatdıqdan və əriyəndən sonra temperatur sensorları dalğalanmaları davamlı olaraq izləyir. Bu sensorlar soba daxilində dəqiq bir temperatur saxlamaq üçün güc çıxışını tənzimləyən idarəetmə blokuna real vaxt məlumatları göndərir. Sabit bir temperaturun saxlanması vacibdir, çünki hətta kiçik dalğalanmalar kristal qüsurlarına və ya düzgün olmayan böyüməyə səbəb ola bilər.

Vakuum sistemi

Vakuum sistemi kristal böyüməsi zamanı tələb olunan ideal aşağı təzyiq mühitinin yaradılması və saxlanmasında çox vacibdir. Vakuum nasoslarından istifadə edərək soba kamerasından havanı, çirkləri və digər qazları çıxarmaqla işləyir. Bu proses sobanın adətən 5 TOR-dan aşağı təzyiqlərdə işləməsini təmin edir, yüksək temperatur prosesində silikon materialının oksidləşməsinin qarşısını alır. Bundan əlavə, vakuum mühiti kristal böyüməsi zamanı buraxılan hər hansı uçucu çirkləri aradan qaldırmağa kömək edir ki, bu da yaranan monokristalın təmizliyini və ümumi keyfiyyətini əhəmiyyətli dərəcədə yaxşılaşdıra bilər. Beləliklə, vakuum sistemi silisiumu arzuolunmaz reaksiyalardan qorumaqla yanaşı, sobanın işini və etibarlılığını da artırır.

Arqon Qaz Sistemi

Arqon qaz sistemi iki əsas məqsədə xidmət edir: silikon materialını oksidləşmədən qorumaq və sobanın daxili təzyiqini saxlamaq. Vakuum prosesindən sonra kameraya yüksək təmizlikli arqon qazı (təmizlik səviyyəsi 6N və ya yuxarı olan) daxil edilir. Arqon, inert bir qaz olmaqla, hər hansı qalan oksigen və ya xarici havanın ərimiş silikonla reaksiyaya girməsinə mane olan qoruyucu bir maneə yaradır. Bundan əlavə, arqonun idarə olunan tətbiqi daxili təzyiqi sabitləşdirməyə kömək edir, kristal böyüməsi üçün optimal mühit təmin edir. Bəzi hallarda, arqon qazının axını artan kristaldan artıq istiliyin çıxarılmasına kömək edir və temperaturun idarə edilməsini gücləndirmək üçün soyuducu kimi çıxış edir.

Su soyutma sistemi

Su soyutma sistemi soba daxilində müxtəlif yüksək temperatur komponentləri, məsələn, qızdırıcı, tige və elektrodlar tərəfindən yaranan istiliyi idarə etmək üçün nəzərdə tutulmuşdur. Fırın işləyərkən bu komponentlər əhəmiyyətli miqdarda istilik əmələ gətirir və bu, idarə olunmazsa, zədələnməyə və ya deformasiyaya səbəb ola bilər. Su soyutma sistemi artıq istiliyi dağıtmaq və bu komponentləri təhlükəsiz iş temperaturu diapazonlarında saxlamaq üçün soyuducu suyu sobada dövr edir. Soba komponentlərinin xidmət müddətini uzatmaqla yanaşı, soyutma sistemi soba daxilində temperaturun tənzimlənməsinə kömək etməkdə köməkçi rol oynayır və bununla da ümumi temperatur nəzarətini və dəqiqliyini artırır.

Elektrik Nəzarət Sistemi

Tez-tez monokristal böyüməsi sobasının "beyni" olaraq adlandırılan elektrik idarəetmə sistemi bütün digər sistemlərin işinə nəzarət edir. Bu sistem temperatur, təzyiq və mövqe sensorları da daxil olmaqla müxtəlif sensorlardan məlumatları qəbul edir və bu məlumatlardan mexaniki ötürmə, istilik, vakuum, arqon qazı və suyun soyutma sistemlərində real vaxt rejimində düzəlişlər etmək üçün istifadə edir. Məsələn, elektrik idarəetmə sistemi istilik göstəricilərinə əsasən istilik gücünü avtomatik tənzimləyə və ya böyümə prosesinin müxtəlif fazalarında kristalın və potanın sürətini və fırlanma bucağını dəyişdirə bilər. Əlavə olaraq, sistem nasazlıqların aşkar edilməsi və həyəcan siqnalı funksiyaları ilə təchiz olunub ki, bu da istənilən pozuntuların operativ şəkildə aşkar edilməsini və təhlükəsiz və səmərəli işləməyi təmin etmək üçün düzəldici tədbirlərin görülməsini təmin edir.

Nəticə olaraq, tək kristal böyümə sobasının altı əsas sistemi kristal böyüməsinin mürəkkəb prosesini asanlaşdırmaq üçün tandemdə işləyir. Hər bir sistem yüksək keyfiyyətli monokristalların istehsalı üçün lazımi şəraitin saxlanılmasında, sobanın səmərəli və təhlükəsiz işləməsinin təmin edilməsində mühüm rol oynayır. İstər temperatur, təzyiq və ya mexaniki hərəkətlərə nəzarət olsun, hər bir sistem sobanın ümumi uğuru üçün vacibdir.

---

Semicorex təklif ediryüksək keyfiyyətli qrafit hissələrikristal inkişaf sobaları üçün. Hər hansı bir sualınız varsa və ya əlavə məlumatlara ehtiyacınız varsa, bizimlə əlaqə saxlamaqdan çəkinməyin.

Əlaqə telefonu +86-13567891907

E-poçt: sales@semicorex.com