Termal sahə nədir?

sahəsindətək kristal artımı, kristal artım soba daxilində temperatur paylanması mühüm rol oynayır. Adətən termal sahə adlandırılan bu temperatur paylanması yetişdirilən kristalın keyfiyyətinə və xüsusiyyətlərinə təsir edən mühüm amildir. Theistilik sahəsiiki növə bölmək olar: statik və dinamik.

Statik və Dinamik İstilik Sahələri

Statik istilik sahəsi kalsinasiya zamanı istilik sistemi daxilində nisbətən sabit temperatur paylanmasına aiddir. Bu sabitlik soba daxilindəki temperatur zamanla sabit qaldıqda qorunur. Bununla belə, tək kristal artımının faktiki prosesi zamanı istilik sahəsi statikdən uzaqdır; dinamikdir.

Dinamik istilik sahəsi soba daxilində temperatur paylanmasında davamlı dəyişikliklərlə xarakterizə olunur. Bu dəyişikliklər bir neçə amildən qaynaqlanır:

Faza transformasiyası: Material maye fazadan bərk fazaya keçdikdə, soba daxilində temperatur paylanmasına təsir edən gizli istilik buraxılır.

Kristal uzadılması: Kristal böyüdükcə ərimənin səthi azalır, sistem daxilində istilik dinamikası dəyişir.

İstilik ötürülməsi: Keçirmə və radiasiya daxil olmaqla istilik ötürmə rejimləri proses boyu inkişaf edərək, istilik sahəsində dəyişikliklərə daha çox kömək edir.

Bu amillərə görə, dinamik istilik sahəsi diqqətli monitorinq və nəzarət tələb edən monokristal artımının daim dəyişən aspektidir.

Bərk-Maye İnterfeysi

Bərk-maye interfeysi monokristal artımında başqa bir vacib konsepsiyadır. İstənilən anda sobanın hər bir nöqtəsinin müəyyən bir temperaturu var. İstilik sahəsində eyni temperaturu paylaşan bütün nöqtələri birləşdirsək, izotermik səth kimi tanınan fəza əyrisini əldə edirik. Bu izotermik səthlər arasında biri xüsusilə əhəmiyyətlidir - bərk-maye interfeysi.

Bərk-maye interfeysi kristalın bərk fazasının ərimənin maye fazası ilə qarşılaşdığı sərhəddir. Bu interfeys kristalın böyüməsinin baş verdiyi yerdir, çünki kristal bu sərhəddə maye fazadan əmələ gəlir.

Tək Kristal Artımda Temperatur Qradientləri

Tək kristal silisium artımı zamanıistilik sahəsiHər biri fərqli temperatur qradiyenti olan həm bərk, həm də maye fazaları əhatə edir:

Kristalda:

Uzunlamasına Temperatur Qradiyenti: Kristalın uzunluğu boyunca temperatur fərqinə istinad edir.

Radial Temperatur Qradienti: Kristalın radiusu boyunca temperatur fərqinə istinad edir.

Ərimədə:

Uzunlamasına Temperatur Qradiyenti: ərimənin hündürlüyü boyunca temperatur fərqinə istinad edir.

Radial Temperatur Qradienti: ərimənin radiusu boyunca temperatur fərqinə istinad edir.

Bu gradientlər iki müxtəlif temperatur paylamalarını təmsil edir, lakin kristallaşma vəziyyətini təyin etmək üçün ən vacibi bərk-maye interfeysindəki temperatur qradiyentidir.

Kristalda Radial Temperatur Qradiyenti: Uzununa və eninə istilik keçiriciliyi, səth radiasiyası və kristalın istilik sahəsindəki mövqeyi ilə müəyyən edilir. Ümumiyyətlə, temperatur kristalın mərkəzində daha yüksək, kənarlarında isə aşağı olur.

Ərimədə Radial Temperatur Qradiyenti: Əsasən ətrafdakı qızdırıcılardan təsirlənir, mərkəz daha soyuqdur və temperatur titaya doğru yüksəlir. Əritmədə radial temperatur gradienti həmişə müsbətdir.

İstilik sahəsinin optimallaşdırılması

Yaxşı dizayn edilmiş istilik sahəsinin temperatur bölgüsü aşağıdakı şərtləri təmin etməlidir:

Kristalda adekvat uzununa temperatur qradiyenti: kristallaşmanın gizli istiliyini daşımaq üçün kristalın kifayət qədər istilik yayma qabiliyyətinə malik olmasını təmin etmək üçün kifayət qədər böyük olmalıdır. Bununla belə, həddindən artıq böyük olmamalıdır, çünki bu, kristalın böyüməsinə mane ola bilər.

Ərimədə Əhəmiyyətli Uzunlamasına Temperatur Qradiyenti: Ərinmədə yeni kristal nüvələrin əmələ gəlməməsini təmin edir. Lakin çox böyükdürsə, dislokasiyalar baş verə bilər ki, bu da kristal qüsurlarına səbəb olur.

Kristallaşma interfeysində uyğun uzununa temperatur qradiyenti: monokristal üçün kifayət qədər böyümə sürətini təmin edərək, lazımi həddindən artıq soyutma yaratmaq üçün kifayət qədər böyük olmalıdır. Bununla belə, struktur qüsurlarının qarşısını almaq üçün çox böyük olmamalıdır. Eyni zamanda, düz kristallaşma interfeysini saxlamaq üçün radial temperatur gradienti mümkün qədər kiçik olmalıdır.

Semicorex yüksək keyfiyyət təklif ediristilik sahəsindəki hissələryarımkeçirici sənayesi üçün Hər hansı bir sualınız varsa və ya əlavə məlumatlara ehtiyacınız varsa, bizimlə əlaqə saxlamaqdan çəkinməyin.

Əlaqə telefonu +86-13567891907

E-poçt: sales@semicorex.com