Gofretlə İşlənmədə Elektrostatik Çak (ESC) Texnologiyasını Demistifying

1. ESC nədir?

ESC emal avadanlığının vakuum mühitində vafli və ya alt təbəqələri etibarlı şəkildə saxlamaq üçün elektrostatik qüvvələrdən istifadə edir. Bu üsul zərif səthləri cızmaq və ya stres qırıqlarına səbəb ola biləcək ənənəvi mexaniki sıxma üsulları ilə əlaqəli zədə potensialını aradan qaldırır. Vakuum çubuqlarından fərqli olaraq, ESC-lər təzyiq diferensiallarına etibar etmir, bu da vaflinin idarə edilməsində daha böyük nəzarət və çeviklik təmin edir.

2. Elektrostatik yapışmanın üç prinsipi

ESC tərəfindən yaradılan cəlbedici qüvvə adətən üç elektrostatik prinsipin birləşməsindən yaranır: Coulomb qüvvəsi, Johnson-Rahbek qüvvəsi və gradient qüvvəsi. Bu qüvvələr ayrı-ayrılıqda hərəkət edə bilsələr də, təhlükəsiz bir tutma yaratmaq üçün çox vaxt sinerji işləyirlər.

Coulomb Force:Bu əsas elektrostatik qüvvə yüklü hissəciklər arasındakı qarşılıqlı təsirdən yaranır. ESC-lərdə çubuq elektrodlarına tətbiq olunan gərginlik vafli və çəngəl səthində əks yüklərə səbəb olan elektrik sahəsi yaradır. Yaranan Coulomb cazibəsi vafli yerində möhkəm saxlayır.

Johnson-Rahbek Force:Gofret və çubuq səthi arasında bir dəqiqəlik boşluq olduqda, Johnson-Rahbek qüvvəsi işə düşür. Tətbiq olunan gərginlikdən və boşluq məsafəsindən asılı olan bu qüvvə bu mikro boşluqlar daxilində keçirici hissəciklərin yüklənmiş səthlərlə qarşılıqlı təsirindən yaranır. Bu qarşılıqlı təsir vaflini çubuqla intim əlaqəyə çəkən cəlbedici qüvvə yaradır.

Qradient Gücü:Qeyri-bərabər elektrik sahəsində cisimlər sahənin gücünü artırmaq istiqamətində xalis qüvvə yaşayır. Qradiyent qüvvəsi kimi tanınan bu prinsip qeyri-bərabər sahə paylanması yaratmaq üçün elektrod həndəsəsini strateji dizayn etməklə ESC-lərdə istifadə edilə bilər. Bu qüvvə vaflini ən yüksək sahə intensivliyi bölgəsinə doğru çəkir, təhlükəsiz və dəqiq yerləşdirməni təmin edir.

3. ESC Strukturu

Tipik bir ESC dörd əsas komponentdən ibarətdir:

Disk:Disk, optimal yapışma üçün düz, hamar bir interfeys təmin etmək üçün dəqiq işlənmiş vafli üçün əsas təmas səthi kimi xidmət edir.

Elektrod:Bu keçirici elementlər vaflinin cəlb edilməsi üçün lazım olan elektrostatik qüvvələri yaradır. Nəzarət olunan bir gərginlik tətbiq edərək, elektrodlar vafli ilə qarşılıqlı əlaqədə olan elektrik sahəsi yaradır.

Qızdırıcı:ESC daxilində inteqrasiya olunmuş qızdırıcılar bir çox yarımkeçirici emal addımlarında mühüm aspekt olan dəqiq temperatur nəzarətini təmin edir. Bu, emal zamanı vaflinin dəqiq termal idarə olunmasına imkan verir.

Əsas lövhə:Baza lövhəsi bütün komponentlərin düzgün düzülməsini və sabitliyini təmin edərək, bütün ESC montajı üçün struktur dəstəyi təmin edir.**