İstilik sahəsinin izolyasiya materialı

Monokristal silisium artımı prosesi əsasən termal mühitin keyfiyyətinin kristal keyfiyyətinə və böyümənin səmərəliliyinə əhəmiyyətli dərəcədə təsir etdiyi termal sahədə baş verir. İstilik sahəsinin dizaynı soba kamerasında temperatur gradientlərinin və qaz axınının dinamikasının formalaşmasında mühüm rol oynayır. Bundan əlavə, istilik sahəsinin qurulmasında istifadə olunan materiallar onun xidmət müddətinə və performansına birbaşa təsir göstərir.

İstilik sahəsinin layihələndirilməsinin əhəmiyyəti

Yaxşı dizayn edilmiş istilik sahəsi yarımkeçirici ərimə və kristal böyüməsi üçün müvafiq temperatur paylanmasını təmin edir, beləliklə yüksək keyfiyyətli monokristal silikonun istehsalını asanlaşdırır. Əksinə, qeyri-adekvat dizayn edilmiş istilik sahələri kristalların keyfiyyət tələblərinə cavab verməməsi ilə nəticələnir və ya bəzi hallarda tam monokristalların böyüməsinə mane olur.

İstilik sahəsi materiallarının seçilməsi

İstilik sahəsi materialları kristal böyümə sobası kamerasındakı struktur və izolyasiya komponentlərinə aiddir. Ən çox istifadə edilən izolyasiya materialları arasındakarbon hiss, istilik radiasiyasını effektiv şəkildə bloklayan və bununla da izolyasiya təmin edən nazik liflərdən ibarətdir.Karbon hissadətən nazik vərəqəbənzər materiallara toxunur, daha sonra istədiyiniz formalara kəsilir və rasional radiuslara uyğun olaraq əyilir.

Digər geniş yayılmış izolyasiya materialı, oxşar liflərdən ibarət olan, lakin dağılmış lifləri daha möhkəm, strukturlaşdırılmış formada birləşdirmək üçün karbon tərkibli bağlayıcılardan istifadə edən bərkidilmiş keçədir. Bağlayıcılar əvəzinə karbonun kimyəvi buxar çökdürülməsi ilə materialın mexaniki xassələri daha da gücləndirilə bilər.

Termal Sahə Komponentlərinin Optimallaşdırılması

Tipik olaraq, izolyasiya müalicəvi keçələr davamlı bir qrafit təbəqəsi və ya ilə örtülmüşdürfolqaeroziya, aşınma və hissəciklərlə çirklənməni azaltmaq üçün onların xarici səthlərində. Karbon köpük kimi digər karbon əsaslı izolyasiya materialları da mövcuddur. Ümumiyyətlə, qrafitləşdirilmiş materiallara onların əhəmiyyətli dərəcədə azaldılmış səth sahəsinə görə üstünlük verilir, bu da qazın çıxarılmasının azalmasına və sobada lazımi vakuum səviyyəsinə nail olmaq üçün daha qısa vaxt tələb olunur. Başqa bir alternativdirC/C kompozityüngül çəkisi, yüksək zədələrə dözümlülüyü və möhkəmliyi ilə tanınan materiallar. Qrafit komponentləri ilə əvəz edilməsiC/C kompozitistilik sahəsində qrafit komponentinin dəyişdirilməsi tezliyini əhəmiyyətli dərəcədə azaldır və bununla da monokristal keyfiyyətini və istehsal sabitliyini yaxşılaşdırır.