SiC örtüklü qrafit həssaslığı nədir?

təqdim etmək üçünSiC örtüklü qrafit qəbuledicisi, onun tətbiqini başa düşmək vacibdir. Cihazlar istehsal edərkən, bəzi vafli substratlarda əlavə epitaksial təbəqələrin qurulması tələb olunur. Məsələn, LED işıq yayan qurğular silikon substratlarda GaAs epitaksial təbəqələrinin hazırlanmasını tələb edir; SiC substratlarında SiC təbəqəsinin böyüməsi lazım olduğu halda, epitaksial təbəqə yüksək gərginlik və yüksək cərəyan kimi güc tətbiqləri üçün cihazların qurulmasına kömək edir, məsələn, SBD, MOSFET və s. Əksinə, GaN epitaksial təbəqəsi yarı izolyasiya edən SiC üzərində qurulur. rabitə kimi radiotezlik tətbiqləri üçün HEMT kimi cihazları daha da qurmaq üçün substrat. Bunun üçün aCVD avadanlığı(digər texniki üsullarla yanaşı) tələb olunur. Bu avadanlıq III və II qrup elementlərini və V və VI qrup elementlərini böyümə mənbəyi kimi substratın səthinə yerləşdirə bilər.

InCVD avadanlığı, substrat birbaşa metalın üzərinə yerləşdirilə bilməz və ya epitaksial çökmə üçün sadəcə bazaya yerləşdirilə bilməz. Çünki qaz axınının istiqaməti (üfüqi, şaquli), temperatur, təzyiq, fiksasiya, çirkləndiricilərin tökülməsi və s. proseslərə təsir göstərə bilən amillərdir. Buna görə də, substratın diskə yerləşdirildiyi yerdə bir susseptor lazımdır və sonra substratda epitaksial çökməni həyata keçirmək üçün CVD texnologiyasından istifadə olunur. Bu sensor SiC ilə örtülmüş qrafit həssasdır (həmçinin nimçə kimi tanınır).

Theqrafit qəbuledicisimühüm tərkib hissəsidirMOCVD avadanlığı. Substratın daşıyıcısı və qızdırıcı elementi kimi çıxış edir. Onun istilik sabitliyi, vahidliyi və digər performans parametrləri epitaksial materialın böyüməsinin keyfiyyətini təyin edən mühüm amillərdir və nazik təbəqə materialının vahidliyinə və saflığına birbaşa təsir göstərir. Buna görə də keyfiyyətqrafit qəbuledicisiepitaksial vaflilərin hazırlanmasında həyati əhəmiyyət kəsb edir. Bununla belə, suseptorun istehlak xarakteri və dəyişən iş şəraiti səbəbindən asanlıqla itirilir.

Qrafit əla istilik keçiriciliyinə və sabitliyə malikdir, bu da onu ideal əsas komponentə çevirirMOCVD avadanlığı. Bununla belə, təmiz qrafit bəzi çətinliklərlə üzləşir. İstehsal zamanı qalıq korroziyaya səbəb olan qazlar və metal üzvi maddələr qəbuledicinin korroziyaya uğramasına və tozlanmağa səbəb ola bilər və bununla da onun xidmət müddətini əhəmiyyətli dərəcədə azaldır. Bundan əlavə, düşən qrafit tozu çipin çirklənməsinə səbəb ola bilər. Buna görə də, bazanın hazırlanması prosesi zamanı bu problemlər həll edilməlidir.

Kaplama texnologiyası tozları səthlərə bərkitmək, istilik keçiriciliyini artırmaq və istiliyi bərabər paylamaq üçün istifadə edilə bilən bir prosesdir. Bu texnologiya bu problemi həll etmək üçün əsas üsula çevrildi. Tətbiq mühitindən və qrafit əsasının istifadə tələblərindən asılı olaraq, səth örtüyü aşağıdakı xüsusiyyətlərə malik olmalıdır:

1. Yüksək sıxlıq və tam sarma: Qrafit bazası yüksək temperaturlu, aşındırıcı iş mühitindədir və səth tam örtülməlidir. Yaxşı qorunma təmin etmək üçün örtük də yaxşı sıxlığa malik olmalıdır.

2. Yaxşı səth hamarlığı: Tək kristal böyüməsi üçün istifadə edilən qrafit baza yüksək səth düzlüyünü tələb etdiyindən, örtük hazırlandıqdan sonra təməlin orijinal hamarlığı qorunmalıdır. Bu o deməkdir ki, örtük səthi vahid olmalıdır.

3. Yaxşı yapışma gücü: Qrafit bazası və örtük materialı arasındakı istilik genişlənmə əmsalı fərqinin azaldılması, ikisi arasında bağlanma gücünü effektiv şəkildə yaxşılaşdıra bilər. Yüksək və aşağı temperaturlu termal dövrlər yaşadıqdan sonra, örtüyü çatlamaq asan deyil.

4. Yüksək istilik keçiriciliyi: Yüksək keyfiyyətli çip böyüməsi qrafit bazasından sürətli və vahid istilik tələb edir. Buna görə örtük materialı yüksək istilik keçiriciliyinə malik olmalıdır.

5. Yüksək ərimə nöqtəsi, oksidləşməyə yüksək temperatur müqaviməti və korroziyaya davamlılıq: Kaplama yüksək temperatur və korroziyaya məruz qalan iş mühitlərində sabit işləməyi bacarmalıdır.

Hal hazırda,Silikon karbid (SiC)yüksək temperatur və aşındırıcı qaz mühitlərində müstəsna performansına görə qrafiti örtmək üçün üstünlük verilən materialdır. Üstəlik, onun qrafitlə yaxın istilik genişlənmə əmsalı onlara güclü bağlar yaratmağa imkan verir. Əlavə olaraq,Tantal karbid (TaC) örtüyühəm də yaxşı seçimdir və daha yüksək temperaturda (>2000 ℃) mühitlərdə dayana bilər.

Semicorex yüksək keyfiyyət təklif edirSiCvəTaC ilə örtülmüş qrafit reseptorları. Hər hansı bir sualınız varsa və ya əlavə məlumatlara ehtiyacınız varsa, bizimlə əlaqə saxlamaqdan çəkinməyin.

Əlaqə telefonu +86-13567891907

E-poçt: sales@semicorex.com