Yarımkeçirici silikon monokristallarının istilik sahəsində örtülməsi

Yarımkeçirici silikon tək kristallı isti sahədə örtülmüş hissələr ümumiyyətlə CVD üsulu ilə, o cümlədən pirolitik karbon örtüyü ilə örtülmüşdür.Silikon karbid örtükvəTantal karbid örtüyü, hər biri fərqli xüsusiyyətlərə malikdir.

Ümumi nöqtələr: substrat yüksək təmizlikli izostatik qrafitdir, ümumiyyətlə 5 ppm küldən azdır; örtük CVD üsulundan istifadə edilir; örtük əsasən 100% karbon və ya silisium karbiddir; örtükdən sonra səth nisbətən sıxdır, qaz, xüsusən də sobanın silikon buxarı və ya silikon oksid qazı əsasən bloklana bilər; öz tozunun uçuculuğu da çox azdır.

Fərqlər: örtünün standart qalınlığı, pirolitik karbon örtüyü ümumiyyətlə təxminən 40um; Silikon Karbid örtüyü ümumiyyətlə təxminən 100um edilir, lakin müştərilərin müxtəlif ehtiyaclarına uyğun olaraq, bir örtük və iki örtük daxil olmaqla 30um ~ 150um edilə bilər; tantal karbid örtüyü ümumiyyətlə 35±15um təşkil edir.

Pirolitik karbon örtüyü, onun sıxlığı təxminən 2,2 olan məsaməli olmayan qrafitin sıxlığına bərabərdir. Səthin paralel istiqamətində aşağı müqavimətə və yüksək istilik keçiriciliyinə malikdir, buna görə də səthin temperaturunun ardıcıllığını saxlaya bilir, həmçinin aşağı istilik genişlənmə əmsalı və yüksək elastiklik moduluna malikdir. Səthin perpendikulyar istiqamətində istilik genişlənmə əmsalı daha böyük, istilik keçiriciliyi isə aşağıdır.

Silicon Carbide ilə örtülmüş məhsullar üçün örtünün elastik modulu çox yüksəkdir, daxili qrafit substratın elastik modulundan onlarla dəfə yüksəkdir, buna görə də məhsulun qırılmasının qarşısını almaq üçün onu yumşaq bir şəkildə idarə etmək lazımdır.

Bütün çirklərin tərkibinin pirolitik karbon örtüyü və Silikon Karbid örtüyü 5 ppm-dən azdır, burada əsas metal element tərkibi 0,1 və ya 0,01 ppm-dən azdır, bor elementi ilə mübarizə aparmaq daha çətin olan 0,01 və ya 0,15 ppm-dir.

Semicorex fərdiləşdirilmiş xidmətlə yarımkeçiricilər üçün yüksək keyfiyyətli CVD örtük məhsulu təklif edir. Hər hansı bir sualınız varsa və ya əlavə məlumatlara ehtiyacınız varsa, bizimlə əlaqə saxlamaqdan çəkinməyin.

Əlaqə telefonu +86-13567891907

E-poçt: sales@semicorex.com