Fokus halqalarının funksiyası nədir?

Fokus halqaları yarımkeçirici aşındırma proseslərinin vahidliyini və sabitliyini təmin etmək üçün vacib komponentlərdir. Elektrik və istilik sahələrinə dəqiq nəzarət vasitəsilə fokus halqaları plazmanı vaflinin səthində cəmləyə bilər və vaflinin bütün yerlərində ardıcıl aşındırma nəticələrini təmin edə bilər.

Fokus halqalarının funksiyaları

1. Aşınma vahidliyini yaxşılaşdırın

Aşınma prosesində fokus halqaları plazmanı cəmləşdirə bilərgofrethəm vafli kənarında, həm də mərkəzi bölgələrdə vahid plazma sıxlığını, ion bombardmanı bucağını və enerji səviyyələrini effektiv şəkildə təmin edən səth. Onlar vaflinin kənarında elektrik sahəsinin paylanmasını düzəldir, aşındırma sürətini, kritik ölçüləri və kənar təsirlərdən yaranan morfoloji variasiyaları azaldır, beləliklə, bütün vafli səthi boyunca aşındırma ardıcıllığını təmin edir. Fokuslama halqası həddindən artıq aşınıbsa və ya fokus halqası yoxdursa, plazma vaflinin kənarından yayılacaq və nəticədə kənar və mərkəz bölgələri arasında xəttin enində uyğun olmayan sapmalara səbəb olacaq.

2. Elektrostatik ponksiyonu qoruyun

Fokus halqaları adətən plazma bombardmanına və korroziyaya birbaşa məruz qalan elektrostatik çubuqların vafli daşıyıcı səthindən kənarda quraşdırılır. Bu hissə-hissə quraşdırma, aşındırma prosesi zamanı plazmanın elektrostatik çəngəllərlə təmasda olmasının qarşısını almaq üçün fiziki maneə kimi xidmət edir və bununla da plazmanın zədələnməsi riskini əhəmiyyətli dərəcədə azaldır. Fokus halqaları həmçinin aşındırma prosesi zamanı yaranan əlavə məhsulların elektrostatik çəngəllərə yapışmasının qarşısını ala bilər, beləliklə, çuxurun çirklənməsi və tıxanması nəticəsində məhsuldarlığın pisləşməsinin qarşısını alır. Bu, elektrostatik çəngəllərin texniki xidmət dövrünü və xidmət müddətini xeyli uzadır, avadanlığa texniki qulluq və dəyişdirmə xərclərini azaldır.

Fokus üzükləri adətən yüksək təmizlikdən hazırlanırkvars, silikonvəsilisium karbidmateriallar. Mükəmməl hərtərəfli performansı sayəsində silisium karbid materialları tədricən qabaqcıl aşındırma prosesləri üçün əsas seçimə çevrilir. Çində etibarlı yarımkeçirici fokus halqası təchizatçısı kimi Semicorex yüksək keyfiyyət təklif edirsilisium karbid fokus halqalarıaşındırma avadanlığının müxtəlif tələblərinə uyğun olmaq üçün müxtəlif ölçülü. Semicorex istənilən vaxt sorğularınızı və alışlarınızı alqışlayır.