Nə üçün şaquli sobalar əsas seçim oldu?

Şaquli sobalar, yarımkeçirici istehsalının istilik müalicəsi üçün xüsusi olaraq hazırlanmış şaquli yerləşdirilmiş yüksək temperaturlu istilik cihazlarıdır. Tam şaquli soba sistemi yüksək temperatura davamlı sistemdən ibarətdirsoba borusu, qızdırıcı element, temperatur nəzarət sistemi, qaz nəzarət sistemi və vafli dayaq strukturu. Şaquli sobalar yüksək temperatur şəraitində xüsusi qazların (oksigen, hidrogen, azot və s.) tətbiqi yolu ilə silisium oksidləşməsi, diffuziya, yumşalma və atom təbəqəsinin çökməsi (ALD) daxil olmaqla kritik yarımkeçirici prosesləri asanlaşdıra bilər.

Yarımkeçiricilər istehsalında istilik müalicəsi avadanlığının təkamülündə şaquli sobalar üç əsas üstünlüklərinə görə istilik müalicəsi prosesləri üçün əsas seçim halına gəldi.

1. Kosmosdan istifadə baxımından şaquli sobalar şaquli boruların və şaquli vafli qayıqların birləşmə dizaynını qəbul edir. Eyni emal gücü altında, onların döşəmə sahəsi tələbi üfüqi sobaların yalnız 50-60% -dir, xüsusilə də 450 mm vafli genişlənmə tendensiyası altında təmiz otaqların vahid sahəsinə istehsal gücü sıxlığını artırmaq üçün uygundur. Modul şaquli yığma vasitəsilə bir cihazın idarə edə biləcəyi vaflilərin sayı 40% artdı və vahid sahəyə düşən məhsuldarlıq üfüqi sobadan əhəmiyyətli dərəcədə yaxşıdır.

2. Şaquli sobalar üç nöqtəli yivli dayaqlar vasitəsilə üfüqi vafli mövqelərə çatır. Şaquli hava axını ilə birlikdə bu konfiqurasiya soba daxilində daha vahid temperatur qradiyenti və simmetrik termal gərginlik paylanmasını təmin edərək, vafli əyilmə riskini 30%-dən çox azaldır. Xüsusilə yüksək K-dielektrik çökmə və ion implantasiyasının tavlanması kimi termal həssas proseslər üçün uyğundur. Əksinə, üfüqi sobaların şaquli yerləşdirilməsi vafli kənarlarında temperatur dəyişikliklərinə səbəb olur və yerli gərginliyin konsentrasiyası riskini artırır.

3. Avtomatlaşdırılmış vafli rəftarın rahatlığı şaquli sobaların digər mühüm üstünlüyüdür. Üfüqi sobaları götürmək üçün robot qolları tələb olunurvafliyerləşdirmə dəqiqliyi və sıxma qüvvəsinə nəzarət üçün ciddi tələblər tələb edən şaquli oriyentasiyada. Əməliyyat uyğunsuzluqları səbəbindən vafli qırılma riskini artırırlar. Şaquli sobada vaflilər yatay şəkildə yerləşdirilir. Robot qolu vakuum adsorbsiya vasitəsilə təmassız idarə edə bilir. Vizual yerləşdirmə sistemi ilə birlikdə idarəetmə dəqiqliyi ±0,1 mm-ə qədər artırılaraq, avtomatlaşdırmanın ümumi səviyyəsini xeyli artırır.