2025-03-18
Üçüncü nəsil yarımkeçiricilərin əsas materialı kimi,silikon karbid (sic)Mükəmməl fiziki xüsusiyyətlərinə görə yeni enerji vasitələri, fotovoltaik enerji saxlama və 5g rabitə kimi yüksək texnoloji sahələrdə getdikcə daha çox vacib bir rol oynayır. Hazırda elektron dərəcəli silikon karbid tozunun sintezi əsasən özünü təbliğ edən yüksək temperaturlu sintez metodunun yaxşılaşdırılmasına (yanma sintezi metodu) etibar edir. Bu üsul, si toz və c tozunun yanma reaksiyası ilə silikon karbidinin səmərəli sintezinə, xarici istilik mənbəyi (məsələn, induksiya robi istilik kimi) ilə birləşdirilmişdir.
Keyfiyyətinə təsir edən əsas proses parametrləriSic tozu
1. C / SI nisbətinin təsiri:
SIC toz sintezinin səmərəliliyi silikon-karbon (SI / C) nisbəti ilə sıx bağlıdır. Ümumiyyətlə, 1: 1 nisbətində bir C / SI nisbəti, daha yüksək bir dönüşüm sürətinin təmin edilməsinin qarşısını alır. Bu nisbətdən bir qədər sapma əvvəlcə yanma reaksiyasının dönüşüm sürətini artırsa da, 1.1: 1 nisbətində bir C / SI nisbətinin üstələdiyi problemlərə səbəb ola bilər. Artıq karbon, materialın təmizliyini silmək və təsir etməkdə çətinlik çəkərək SIC hissəcikləri içərisində tələyə düşə bilər.
2. Reaksiya temperaturunun təsiri:
Reaksiya temperaturu Faza tərkibinə və SIC tozunun təmizliyinə təsir göstərir:
- Temperaturda ≤ 1800 ° C, ilk növbədə 3C-SIC (β-sic) istehsal olunur.
- 1800 ° C ətrafında, β-SIC tədricən α-sic-ə çevrilməyə başlayır.
- Temperaturda ≥ 2000 ° C-də, material demək olar ki, tamamilə tamamilə α-sic-ə çevrilir, bu da sabitliyini artırır.
3. Reaksiya təzyiqinin ekzozu
Reaksiya təzyiqi, hissəciklərin ölçüsünün ölçüsünə və sic tozunun morfologiyasına təsir göstərir. Daha yüksək reaksiya təzyiqi hissəcik ölçüsünə nəzarət etməyə və tozun dağılmasını və vahidliyini yaxşılaşdırmağa kömək edir.
4. Reaksiya vaxtının çıxışı
Reaksiya müddəti, sic tozunun faza quruluşuna və taxıl ölçüsünə təsir göstərir: yüksək temperatur şəraitində (məsələn, 2000 ℃), SIC-nin fazası quruluşu 3C-SIC-dən 6h-siklə dəyişəcək; Reaksiya müddəti daha da uzadıldıqda, 15r-SIC hətta yarana bilər; Bundan əlavə, uzunmüddətli yüksək temperatur müalicəsi, kiçik hissəciklərin tədricən böyük hissəciklər meydana gətirməsinə səbəb olan hissəciklərin sublimasiyasını və böyüdülməsini gücləndirəcəkdir.
SIC tozu üçün hazırlıq metodları
Hazırlıqsilikon karbid (sic) tozuÜç əsas metod şəklində təsnif edilə bilər: yanma sintez metoduna əlavə olaraq, bərk faza, maye faza və qaz fazası.
1. Bərk faza metodu: karbon istilik azaldılması
- xammal: silikon diokide (sio₂) karbon mənbəyi kimi silikon mənbəyi və karbon qara kimi.
- Proses: İki material dəqiq nisbətdə qarışdırılır və yüksək temperaturlara qədər qızdırılır, burada sic toz istehsalına reaksiya verirlər.
- Üstünlüklər: Bu üsul yaxşı qurulmuş və genişmiqyaslı istehsal üçün uyğundur.
- Dezavantajlar: Yaranan tozun təmizliyini idarə etmək çətin ola bilər.
2. Maye faza metodu: Gel-Sol metodu
- Prinsip: Bu üsul vahid bir həll yaratmaq üçün alkoqol duzları və ya qeyri-üzvi duzların həll olunmasını ehtiva edir. Hidroliz və polimerləşmə reaksiyaları vasitəsilə, bir SOL, sonra qurudulmuş və sic tozu almaq üçün istiliklə müalicə olunan bir Sol meydana gəlir.
- Üstünlüklər: Bu proses vahid hissəcik ölçüsü olan ultrafine sic tozu verir.
- Dezavantajları: Daha mürəkkəbdir və daha yüksək istehsal xərcləri var.
3. Qaz fazası metodu: Kimyəvi buxarlanma (CVD)
- xammal: Silan (SIH₄) və karbon tetraxlorid (ccl₄) kimi qazlı prekursorlar.
- Proses: Precursor qazları yayılmış bir kamerada yayılmış və kimyəvi reaksiyalardan istifadə edərək, nəticədə SIC-in meydana gəlməsi və formalaşması ilə nəticələnir.
- Üstünlüklər: Bu üsulla istehsal olunan SIC tozu yüksək safdır və yüksək səviyyəli yarımkeçirici tətbiqlər üçün uygundur.
- Dezavantajlar: Avadanlıqlar bahadır və istehsal prosesi mürəkkəbdir.
Bu metodlar müxtəlif üstünlüklər və çatışmazlıqlar, müxtəlif tətbiqlər və istehsal tərəzi üçün uyğun hala gətirərək müxtəlif üstünlüklər və çatışmazlıqlar təklif edir.
Semikorex yüksək təmizlik təklif edirSilikon karbid tozu. Hər hansı bir sualınız varsa və ya əlavə məlumatlara ehtiyacınız varsa, zəhmət olmasa bizimlə əlaqə qurmaqdan çəkinməyin.
Əlaqə Telefon # + 86-13567891907
Email: sales@semmorex.com