TAC, SIC kristal böyüməsində çarpped

Son illərdə,TAC örtülmüşdürCrucibles, silikon karbidinin (SIC) kristallarının böyümə prosesində reaksiya gəmiləri kimi vacib bir texniki həll halına gəldi. TAC materialları, mükəmməl kimyəvi korroziyaya qarşı müqavimət və yüksək temperatur sabitliyi səbəbindən silikon karbid kristal artım sahəsində əsas materiallar halına gəldi. Ənənəvi qrafit çarxları ilə müqayisədə, TAC örtülmüş çarxlar daha sabit bir böyümə mühiti təmin edir, qrafit korroziyasının təsirini azaldır, xəbəri ömrünün ömrünü genişləndirir və karbon sarışınmasının fenomenindən çəkinir və bununla da mikrotubların sıxlığını azaldır.

 Şəkil 1 SIC kristal böyüməsi

TAC örtülmüş çarmıların üstünlükləri və eksperimental təhlili

Bu araşdırmada, TAC ilə örtülmüş ənənəvi qrafit çarmı və qrafit çarmıxı istifadə edərək silikon karbid kristallarının böyüməsini müqayisə etdik. Nəticələr göstərdi ki, TAC örtüklü çarxlar kristalların keyfiyyətini əhəmiyyətli dərəcədə yaxşılaşdırır.

PVT metodu ilə böyüdülmüş SIC Ingot-ın şəkli

Şəkil 2, ənənəvi qrafit çarxlarında böyüdülən silikon karbid kristallarının, tac örtüklü çarxlarda böyüdülənlər isə konveks interfeysi nümayiş etdirir. Üstəlik, Şəkil 3-də göründüyü kimi, ənənəvi qrafit çarmılanmalarından istifadə edərək, ənənəvi qrafit çarmılardan istifadə edərək, populyarstallin fenomeni, bu məsələni təsirli şəkildə yüngülləşdirir.

Təhlil bunu göstərirTac örtüklüBu ərazidə kristalların böyümə sürətini azaltmaq üçün temperaturu qaldırır. Bundan əlavə, TAC örtüyü, nukleatı azaltmağa kömək edən qrafit yan divar və kristal arasında birbaşa təmasın qarşısını alır. Bu amillər kristalın kənarlarında baş verən polikrstallıq ehtimalını kollektiv şəkildə azaldır.

Şəkil.3, müxtəlif böyümə mərhələlərində gofretlərin şəkilləri

Bundan əlavə, yetişdirilən silikon karbid kristallarıTac örtüklüCrucibles, demək olar ki, karboncan kapsulu, mikropip qüsurlarının ümumi bir səbəbi yoxdur. Nəticədə, bu kristallar Micropipe qüsuru sıxlığının əhəmiyyətli dərəcədə azaldılmasını nümayiş etdirir. Şəkil 4-də təqdim olunan korroziya testi nəticələri təsdiqləndi ki, TAC örtüklü çarpaylarda böyüdülmüş kristalların demək olar ki, mikropip qüsurları yoxdur.

Koh Etching-dən sonra Şəkil Şəkli

Kristal keyfiyyət və çirklərin idarə olunmasının təkmilləşdirilməsi

Kristalların GDMS və salon testləri vasitəsilə, Tac örtüklü çarxlardan bir qədər artdığını, TAC örtüklərinin büllura dopinqi (n) ingressin hiyləsini əhəmiyyətli dərəcədə məhdudlaşdırdığını gördü. Xülasə, TAC örtülmüş çarxlar, xüsusən də qüsur sıxlığını azaltmaq və azot dopinq konsentrasiyasına nəzarət etməkdə daha yüksək keyfiyyətli silikon karbid kristalları yetişdirə bilər.

Semikorex yüksək keyfiyyətli təklif edirTac örtüklü qrafit çarxsic kristal böyüməsi üçün. Hər hansı bir sualınız varsa və ya əlavə məlumatlara ehtiyacınız varsa, zəhmət olmasa bizimlə əlaqə qurmaqdan çəkinməyin.

Əlaqə Telefon # + 86-13567891907

Email: sales@semmorex.com