Yarımkeçirici soba dizaynında qabaqcıl materiallar 3 kritik problemləri necə həll edir

Tranzistor ölçüləri və miqyaslı günəş hüceyrəsi səmərəliliyini kiçiltmək üçün yarış, istilik emal avadanlıqlarını onun hüdudlarına itələyir. Semikorex-də, iki onillikdə aparıcı yarımkeçirici və PV istehsalçıları ilə birlikdə təkrarlanan ağrı nöqtələrini həll etmək üçün xərclədik: Standart materiallar həddindən artıq şəraitdə uğursuz olduqda, bütün istehsal qrupları güzəştə gedə bilər.

CVD örtükləri: Proses komponentləri üçün zireh

Silikon Karbide (SIC) və TacTalum Carbide (TAC) kimi kimyəvi buxarlanma (CVD) örtükləri sərt mühitlərdə komponentlərin uzunömürlülüyü inqilabidir:

Sic örtükÜstünlüklər:

İnert atmosferlərdə 1650 ° C qədər temperaturlara tab gətirir

Epitaxial böyümə reaktorlarında hissəcik çirklənməsini azaldır

3-5x-ə qədər qrafit xəstəliyinin xidmət həyatını genişləndirir

Tac örtüklüDiffuziya maneələrində:

Mətniyyətdə olan silikon infiltrasiyasının qarşısını alır (99.999% saflıq saxlama)

Sürətli termal emal zamanı vafferi minimuma endirir (RTP)

Temperatur 1600 ° C-dən çox olduqda: CVD örtük üstünlüyü

Bu sehr deyil - bu material elmidir. Xüsusi CVD prosesimiz həm SIC, həm də Tac örtüklərini atom səviyyəli dəqiqliklə, səthlər yaradır:

Silikon buxarının korroziyası 3x standart örtüklərdən daha uzun müddətə müqavimət göstərin

Mürəkkəb həndələrin arasında <0.5μm qalınlığında dəyişmə aparın

Termal velosiped sürəti altında hətta örtük delaminasiyasını aradan qaldırın

İstilik vahidliyindəki səssiz böhran

Kristal böyümə sobalarında, uyğun olmayan temperatur paylaması 250k silikon külçəsini qırıntıya çevirə bilər. Kimi maddi yeniliklər vasitəsilə:

Sıxlıq dərəcəli qrafit hissi (0,18-0.25g / sm³ gradient dizaynı)

<2% istilik genişləndirilməsi anisotropiyası olan karbon karbonlu kompozit izolyatorları

... müştərilərə nail olmağa kömək etdik:

✔️ ± ± ± ± 1.5 ° C Axial temperaturun vahidliyi 300 mm czochralski sistemlərində

✔️ 40% daha sürətli soyutma dərəcələri

Niyə kvars saflığı həmişəkindən daha çox vacibdir

Bir Tier-1 Mems Tökülmə Parçalarının qüsurları, otlaq örtükləri, bubble pulsuz əridilmiş kvars həlli olanda.

89% (ICP-MS analizi) qədər metal çirklənmənin azaldılması

3 ilə 8 aya qədər uzadılmış profilaktik baxım fasilələri

99.999% -i <0.1ppb qələvi metal tərkibi ilə başlanğıc saflığı

Xüsusiyyətlər xaricində: Tətbiq mühəndisliyi məsələləri

Texniki xüsusiyyətlər əsas müqayisə apararkən, real dünya performansı aşağıdakılardan asılıdır:

• Material-proses birləşməsi - Komponentlərin xüsusi kimmissələrlə necə qarşılıqlı əlaqəsi (məsələn, CL₂ vs. Sf₆ plazmas)

• Uğursuzluq rejimi kitabxanaları - 1200+ komponent çatışmazlığı hallarının verilənlər bazası material seçimi məlumat verir

• Xüsusi qiymətləndirmə - Qismən kəsişmələrində qrafitin məsaməsi / keçiriciliyini tənzimləmək

Semikorex yüksək keyfiyyətli təklif edirTantalum karbid örtülmüşdürvəSilikon karbid örtülmüşdürXüsusi hissələri. Hər hansı bir sualınız varsa və ya əlavə məlumatlara ehtiyacınız varsa, zəhmət olmasa bizimlə əlaqə qurmaqdan çəkinməyin.

Əlaqə Telefon # + 86-13567891907

Email: sales@semmorex.com