Elektrostatik Chuck (ESC) quruluşu

AnElektrostatik Chuck (ESC)aşındırma, çökmə və ya cilalama kimi proseslər zamanı yarımkeçirici vafliləri yerində saxlamaq üçün istifadə edilən cihazdır. O, vaflini çuxurun səthinə cəlb etmək və etibarlı şəkildə tutmaq üçün elektrostatik sahə yaradaraq işləyir, vafli ilə işləmə zamanı sabitlik və dəqiq hizalanma təmin edir. ESC-lər yarımkeçirici istehsalında prosesin dəqiqliyini və vafli işləmə səmərəliliyini artırmaq üçün geniş istifadə olunur.

Bir şərti faktiki imageelektrostatik çəngəl (ESC)şəkildə təsvir edilmişdir. Modellər arasındakı əsas fərq elektrostatik çuxurun səthindəki izolyasiya təbəqəsi materialındadır. Şəkildə tünd rəng alüminium nitridi, ağ rəng isə alüminium oksidi təmsil edir. nin strukturuelektrostatik çəngəlbir neçə hissədən ibarətdir:

1. **İzolyasiya qatı**: Bu təbəqə əla mexaniki möhkəmliyə, yüksək temperatura davamlılığa və yaxşı istilik keçiriciliyinə görə adətən alüminium nitrid və ya alüminium oksid keramikadan hazırlanmış vafli ilə təmasdadır.

2. **Ejektor sancağı və qaz dəliyi**: Ejektor sancağı vaflini ötürmək üçün nəzərdə tutulub. Gofret aşındırma kamerasına daxil olduqda, ejektor sancağı onu dəstəkləmək üçün qalxır və sonra vafli elektrostatik çuxurun səthinə yerləşdirmək üçün aşağı enir. Ejektor sancağı adətən boş bir quruluşa malikdir, bu da vafli sərinləmək üçün helium qazının daxil olmasına imkan verir.

3. **Back He Flow Channel**: Bu komponent istilik yayılmasını artırır və vaflinin adsorbsiyasını asanlaşdırır.

4. **Elektrostatik elektrod**: Bu elektrod vafli yerində saxlamaq üçün lazım olan elektrostatik qüvvə yaradan elektrik sahəsi yaradır. Tipik olaraq, elektrod müstəvidir və ya izolyasiya materialının içərisinə yerləşdirilir və ya onun üzərinə qoyulur. Geniş istifadə olunan keçirici materiallara alüminium, mis və volfram daxildir.

5. **Dövriyyədə olan soyuducu su və qızdırıcı elektrodu**: Bu elementlər ilk növbədə elektrostatik çəngəlin ümumi temperaturuna nəzarət üçün cavabdehdir. Qızdırıcı elektrodu və sirkulyasiya edən soyuducu su vafli üçün sabit temperatur saxlamaq üçün tandemdə işləyir. Yalnız dövriyyədə olan soyuducu suyuna güvənmək, aşındırma prosesi zamanı yaranan istiliyi idarə etmək mümkünsüzlüyünə gətirib çıxara bilər ki, bu da prosesin sabitliyini potensial olaraq poza bilər.  

Semicorex yüksək keyfiyyət təklif edirElektrostatik Çəkmə (ESC). Hər hansı bir sualınız varsa və ya əlavə məlumatlara ehtiyacınız varsa, bizimlə əlaqə saxlamaqdan çəkinməyin.

Əlaqə telefonu +86-13567891907

E-poçt: sales@semicorex.com