Ltoi vafli

Semikorex, RF filtrləri, optik cihazlarda və mems texnologiyalarında qabaqcıl tətbiqlər üçün hazırlanmış yüksək keyfiyyətli LToi Wafter təklif edir. Bizim gafetlərimiz, müstəsna piezoelektrik performans və istilik tüfəngi və istilik sabitliyini təmin edərək, 0.3-50 mkm olan bir litium tantalat (lt) təbəqəsidir.

6 düymlük və 8 düymlük ölçülərdə mövcuddur, bu gofretlər müxtəlif cihaz tələbləri üçün çox yönlü olan X, Z və Y-42 kəsikləri də daxil olmaqla müxtəlif kristal istiqamətləri dəstəkləyir. İzolyasiya substratı Si, SIC, Sapphire,

 Spinel və ya kvars, xüsusi tətbiqlər üçün performansını optimallaşdıran kvars.

Litium Tantalate (LT, Litao3) Crystal əla piezoelektrik, ferroelektrik, akusto-optik və elektro-optik effektləri olan vacib bir çoxfunksiyalı kristal materialdır. Piezoelektrik tətbiqetmələri ilə qarşılaşan akustik dərəcəli lt kristalları, mobil rabitə, peyk rabitəsi, televiziya, yayım, uzaq hissiyyat, radar, uzaq hissələrin, digər mülki sahələrdə və digər mülki sahələrdə, sigorta, hidayət və digər hərbi sahələrdə istifadə olunur.

Ənənəvi səth akustik dalğa (mişar) cihazları lt tək kristal bloklarında hazırlanır və qurğular böyükdür və CMO prosesləri ilə uyğun deyil. Yüksək performanslı piezoelektrik tək kristal incə filmlərin istifadəsi, mişar cihazlarının inteqrasiyasını yaxşılaşdırmaq və xərcləri azaltmaq üçün yaxşı bir seçimdir. Piezoelektrik tək kristal nazik filmlərə əsaslanan qurğular yalnız substrat kimi yarımkeçirici materiallardan istifadə edərək mişar cihazlarının inteqrasiya qabiliyyətini yaxşılaşdıra bilməz, həm də yüksək sürətli silikon, sapfir və ya almaz substratları seçərək səs dalğalarının ötürmə sürətini artıra bilər. Bu substratlar, piezoelektrik qatın içərisində enerjini istiqamətləndirməklə ötürmədə dalğaların itkisini yatıra bilər. Buna görə, düzgün piezoelektrik tək kristal filmi və hazırlıq prosesini seçmək, yüksək performanslı, ucuz və yüksək inteqrasiya edilmiş mişar cihazları əldə etmək üçün əsas amildir.

İnteqrasiya, miniatürləşmə, yüksək tezlik və böyük bant genişliyi üçün növbəti nəsil, yüksək tezlik və böyük bant genişliyi ilə əlaqəli ehtiyaclarını qarşılamaq üçün, RF-nin cəbhəsi implantasiya soyma texnologiyası (MDB) və vafli bağlama texnologiyası birləşdirən ağıllı kəsilmiş texnologiya və daha yüksək performans və aşağı qiymətli RF siqnal emal cihazlarının inkişafı üçün həll. LToi inqilabi bir texnologiyadir. LToi gofretinə əsaslanan qurğular kiçik ölçülü, böyük bant genişliyi, yüksək əməliyyat tezliyi və IC inteqrasiyasının üstünlükləri və geniş bazar tətbiqi perspektivlərinə malikdir.

Crystal ion implantasiyası soyma (MDB) texnologiyası, submison qalınlığı olan yüksək keyfiyyətli vahid kristal incə film materiallarını hazırlaya bilər və ion implantasiya enerjisi, implantasiya dozası və temperatur kimi tənzimlənən proses parametrlərinin üstünlüklərinə malikdir. MDB texnologiyası, MDB texnologiyası və vafli bağlama texnologiyasına əsaslanan ağıllı kəsilmiş texnologiya yalnız substrat materiallarının məhsuldarlığını yaxşılaşdıra bilməz, həm də materialların birdən çox istifadəsi ilə xərcləri daha da azaldır. Şəkil 1 ion implantasiyası və gofret bağlama və soyulma sxematik bir diaqramdır. Ağıllı bir texnologiya əvvəlcə Fransada Soitec tərəfindən hazırlanmış və yüksək keyfiyyətli silikon-on-izolyator (SOI) gofrets hazırlığına tətbiq olunur [18]. Ağıllı bir texnologiya yalnız yüksək keyfiyyətli və aşağı qiymətə sahib ola bilməz, həm də ion implantasiya enerjisini dəyişdirərək izolyasiya təbəqəsində SI'nin qalınlığını da idarə edə bilər. Buna görə, SOI materialların hazırlanmasında güclü bir üstünlüyə malikdir. Bundan əlavə, ağıllı bir texnologiya müxtəlif substratlara müxtəlif vahid kristal filmlərin ötürülməsi imkanına malikdir. Si substratlarda lt filmləri və silikon (si) yüksək keyfiyyətli piezoelektrik nazik film materialları hazırlamaq və yüksək keyfiyyətli piezoelektrik nazik film materialları hazırlamaq kimi çoxtərəfli incə film materiallarını hazırlamaq və tətbiq etmək üçün istifadə edilə bilər. Buna görə, bu texnologiya yüksək keyfiyyətli litium tantalat tək kristal filmlərini hazırlamaq üçün təsirli bir vasitə halına gəldi.