Semikorex qrafit elektrodu, yarımkeçirici soba tətbiqlərində dəqiq elektrik keçirmə və üstün istilik sabitliyi üçün hazırlanmış yüksək təmizlik, incə taxıl qrafit çubuğudur.
Semikorex Grafit Elektrod, elektrik keçiriciliyi, istilik sabitliyi və ölçülü sabitlik və ölçülü dəqiqlik olan yarımkeçirici termal tətbiqlərdə istifadə üçün yüksək saf, dəqiq istehsal qrafit komponentidir. Əslində, bu tip elektrodlar yüksək temperaturlu sobalar, epitaxy reaktorlarda və istilik emal kameralarında istifadə olunur, temperatur və atmosferin aqressiv şərtləri altında sabit cari keçiriciliyi, istilik ötürmə və sabitliyi asanlaşdırır. Həddindən artıq saflıq, bərk quruluşun vahidliyi və semikorex qrafit elektrodlarının yüksək mexaniki xüsusiyyətləri, etibarlı istilik performansını tələb edən yarımkeçirici tətbiqlərdə istilik elementləri kimi təmin edə bilərlər
Qrafit elekrodu yüksək keyfiyyətli incə taxıl qrafit materialından hazırlanır, hər biri ekstruziya, yüksək temperaturlu karbonizatlaşdırma və qrafitləşmənin inkişaf etmiş bir ardıcıllığı istifadə edərək hazırlanmışdır. Qrafit mikrostrukturu təxminən sabit elektrik müqaviməti, yüksək istilik keçiriciliyi və mexaniki sabitlik üçün hazırlanmışdır. Son məhsul, fiziki vəziyyəti və yüksək güc mühitində cərəyanın vahid paylanmasını, eləcə də sürətli temperatur dalğalanmalarını qoruyan yüksək saflıqlı bir istilik dirijorudur.
Ultra performansımızdaqrafit
Qrafitimiz üstün performans vahidliyinə zəmanət verir. Əvvəlcə, karbonizasiya prosesi zamanı sobalarımızın yalnız 115 kubmetri var. Texniki heyətimiz hər sobanın müxtəlif sahələrində qrafit məhsullarının temperatur sahəsini izləyir. İlkin aşağı temperatur mərhələsində (0-200 ° C), ± 10 ° C, və yüksək temperaturda (600 ° C), ± 1 ° C daxilində (600 ° C) temperaturu idarə edirik. Fərqli qrafit hissəcikləri arasındakı temperatur sahəsini, həm də ± 3 ° C-də idarə edən hər bir fərdi qrafit parçasının səthi və daxili temperaturu izləyirik. Hər bir karbonizasiya sobasında 8 temperatur nöqtəsini izləyirik.
İkincisi, qrafikləşmə prosesi zamanı bir nümunə olaraq 500 kq topluğunu qəbul edərək, 8 temperatur nöqtəsini izləyirik. Qrafikləşmədən sonra təsadüfi olaraq nümunə və dağıdıcı şəkildə nümunə götürür və vahidliyi təmin etmək üçün X, Y və Z oxları boyunca 24 xal sınaqdan keçiririk. Sənayedə olan şirkətlərin əksəriyyəti yalnız X-oxunu və ya ən çox xy oxunu sınayır, tipik istehsalçıları yalnız 6-8 bal sınaqdan keçirir və daha yaxşısı 12 xal sınaqdan keçirirlər. 24 xal sınayırıq.
Yarımkeçirici istilik sahəsində, qrafit elektroodu, istilik bölgüsünün kritik bir hissəsidir, elektrik cərəyanının istilik bölgəsinə yönəldilməsi və temperaturun temperaturun idarə edilməsinə, məsələn, oksidləşmə, diffuziya, lpcvd və ya epitaxy kimi temperaturun idarə olunmasına imkan verir. Qrafit elektrodu 2000 ° C-dən çox olan temperaturda etibarlı bir əməliyyat rolunu aparmalı və oksidləşməyə, istilik saytını çirkləndirərkən və ya çirkləndirərkən bunu edir.
Semikorex qrafit elektrodları, minimal itkilərlə effektiv enerji çatdırılmasını asanlaşdıran və əla istilik keçiriciliyinə malikdir, bu da əla istilik keçiriciliyə malikdir, sobada sürətli vahid istilik ötürülməsinə icazə verir. Aşağı istilik genişləndirilməsi və yüksək mexaniki gücünün birləşməsi, istilik velosiped sürmə zamanı deformasiyanı və çatlamağı azaldır, xidmət həyatının uzun müddət davam etmələri üzərində sabit davranış verir. Hər bir elektrod kontakt səthində ardıcıl əlaqə və əhəmiyyətsiz elektrik müqavimətini təmin etmək üçün sərt ölçülü tolerans və incə səthin bitməsinə işlənmişdir.
Yarımkeçirici proseslərin müəyyən tələbləri ilə, Semikorex hər hansı bir soba konfiqurasiyasına və güc spesifikasiyasına uyğun xüsusi elektrod dizaynlarını mühəndis edə bilər. Fərqli diametrlər, uzunluqlar, əlaqə növləri və ya səth bitkiləri mövcud ola bilər. Zəruri olduqda, SIC və ya pirolitik karbon kimi örtük materialları, oksidləşmə müqavimətini və yüksək oksigen və ya reaktiv qaz mühitində xidmət həyatını dəstəkləmək üçün tətbiq edilə bilər.
Yüksək saflıqqrafit materialıİnanılmaz dərəcədə aşağı səviyyədə metal çirklərin (və qazsız çirklərin), tez-tez 99.999% karbondan çox olmasını təmin edir. Çirklərin belə aşağı səviyyəsi istilik emalı zamanı yarımkeçirici gofreti çirkləndirmənin qarşısını almağa kömək edir. Emal və cilalanmış səthin əhəmiyyətli dərinliyi ilə birləşdirilmiş, semikorex qrafit elektrodları, həm də ən müasir vafli istehsal texnologiyalarının mexaniki və kimyəvi sabitliyini qarşılayır.
Diffuziya sobalarında, epitaxial reaktorlarda və ya yüksək temperatur emalı avadanlığı, semikorex qrafit elektrodunun ən tələbkar istilik mühitində misilsiz performans təmin edir. Yüksək saflığı, dəqiq həndəsə və qabaqcıl material emalı ilə yanaşı, Semikorex, növbəti nəsil yarımkeçirici istehsal üçün sabit cari keçiriciliyə, ardıcıl istilik və uzunmüddətli əməliyyat etibarlılığını təmin edən elektrod bir həllini təmin edir.