Qrafit çarxları

Semikorex qrafit çarxları, xüsusən büllur artım mərhələsində yarımkeçirici istehsal prosesində kritik komponentlərdir. Bu yüksək performanslı konteynerlər, czochralski (CZ) prosesi və ya üzmə zonası (FZ) texnikası kimi metodlar vasitəsilə yüksək saflıq silikon və ya mürəkkəb yarımkeçirici kristal istehsal etmək üçün həddindən artıq şərtlərə tab gətirmək üçün hazırlanmışdır.

Qrafit çarxlarının əsas bir funksiyası, adətən 2000 ° C-dən yuxarı, silikon karbid və gallium nitridi kimi üçüncü nəsil yarımkeçirici materialların tez-tez sintez olunduğu son dərəcə yüksək temperaturdan üstün olmaq və dəstəkləməkdir. Yüksək saflıq qrafitindən hazırlanmış çarmıxlar, fiziki və kimyəvi dövlətlərini heç bir parçalanma və ya hətta metamorfoz olmadan bu qədər ekstremal səviyyələrdə saxlayan yüksək temperaturun yüksək müqavimətinə əla müqavimət göstərir. Qrafit xırıltısı ilə yaxşı istilik təşkilatı o deməkdir ki, yalnız istilik, həm də sabit bir temperatur sahəsi quracaqlar. Bu, ərimə və kristallaşma proseslərində, vahid temperaturun paylanması daha çox və ya daha az ekvivalent şəraitdə böyümə materialına icazə veriləcək və beləliklə kristal qüsurları azaltmaq və keyfiyyətli yarımkeçirici kristallara imkan vermək üçün.

Silikon karbidində və ya gallium nitridi büllur artım proseslərində (məsələn, buxar fazası epitaxy cvd və ya fiziki buxar nəqliyyat pvt), xammalın tutulan və idarə olunan bir böyümə mühiti təmin etmək üçün istifadə olunur. Çaldırılanların kimyəvi inertliyi, yüksək temperaturda yarımkeçirici materialı ilə kimyəvi olaraq reaksiya verməməsini və bununla da materialın yüksək saflığını qorumasını təmin edir. Eyni zamanda, qrafitin yaxşı istilik keçiriciliyi, kristal böyüməsi və çirklərin və struktur qüsurların azaldılması üçün ideal şərait yarataraq, vahid bir temperatur gradientini meydana gətirməyə kömək edir.

Qrafit çarmıxlarının kimyəvi inertliyi yarımkeçirici materialların təmizlənməsində əsas xüsusiyyətdir. Yüksək saflıq qrafit materialı xarici çirkliliyi təcrid edə və çirklərin ərimiş yarımkeçirici materialın daxil olmasının qarşısını ala bilər. Çiftlüyün səthi, oksidləşmə müqavimətini və korroziya müqavimətini artırmaq, istehsal prosesinin yüksək saflığını və yüksək sabitliyini təmin etmək, oksidləşmə müqavimətini və korroziyaya qarşı müqavimətini artırmaq üçün örtülə bilər (məsələn, silikon karbid örtüyü).