Şüşə karbon örtüklü hiss olunurdu

Semikorex şüşəli karbon örtüyü, silikon karbid epitaxial reaktorlarda daxili izolyasiya təbəqəsi kimi hərəkət edir. Qabaqcıl istilik mühitləri üçün hazırlanmış yüksək effektiv izolyasiya materialıdır. Bu məhsul yüngül və əla istilik izolyasiya xüsusiyyətlərinə görə üstün həllər təklif edərək tipik yarımkeçirici yüksək temperatur istehsal problemlərini dəf edirqrafit hissi, bir şüşəli bir karbon örtük tərəfindən yerüstü bütövlük və kimyəvi inertlik ilə birləşdirilmişdir.

Baza materialı yüksək bir təmizlikdirqrafit hissiAşağı istilik keçiriciliyini yüksək temperatur sabitliyi və yüngül çəki üçün seçdi. Normal qrafit, ümumiyyətlə, həssas epitaxial sistemlərdə proses mühitini çirkləndirə bilən yüksək temperaturda yerüstü lifli tökmə və hissəcik nəsli var. Bu məsələni yüngülləşdirmək üçün, qrafitin səthi, kimyəvi inertless, aşağı qaz keçiriciliyi və müstəsna istilik sabitliyi ilə tanınan şüşəli karbon-sıx, məsaməli bir karbonun bir təbəqəsi ilə bərabər şəkildə örtülmüşdür.

Glassy Carbon, şüşə və keramika xüsusiyyətlərini birləşdirən qrafik olmayan bir karbondur. Kristal qrafitdən fərqli olaraq, fenolik qatran, furfuril spirti və s. Kimi, fenolik qatran, furfuril alkoqol qatrası və s. Kimi yüksək temperaturun siniri, furfuril alkoqol qatrası və s. Çünki qara rəngdədir və şüşəyə bənzər hamar bir səthə malikdir, şüşəli karbon adlanır.

Şüşə karbon örtük soba hissəciklərinin yaranmasını aradan qaldıra, möhürlənmiş səth məsamələrini təmin edə bilər, əla demolding xüsusiyyətlərinə malikdir və keçiriciliyi azaldır, bu materialı davamlı tökmə qəlibləri və yarımkeçirici sənayesində çox uyğunlaşdırır. Bu material yarımkeçirici sənayesində, xüsusən də vahid kristal silikon çəkmə avadanlıq komponentləri, epitaxial böyümə komponentləri, davamlı tökmə qəlibləri, şüşə möhürləmə jigs və s.

Şüşə karbonda 3000 ° C-ə qədər yüksək temperatur müqavimətinə malikdir və ya vakuumda və ya vakuumda və digər keramika və metal temperaturun gücü, qırıq karbonun gücü artan və həddindən artıq yüksək istilik şok müqaviməti ilə artır, buna görə də qısa istilik və soyutma vaxtları yoxdur. Bundan əlavə, şüşəli karbonda az kütlə, aşağı istilik udma və aşağı istilik genişlənməsi var, buna görə demək olar ki, bütün yüksək temperatur tətbiqləri üçün uyğundur.

Şüşə karbon örtük, əməliyyat zamanı hissəciklərin və karbon tozunun sərbəst buraxılmasını əhəmiyyətli dərəcədə azaltmaq, qrafitin səthi məsamələrini möhürləməkdə həlledici rol oynayır. Bu, xüsusən də sic epitaxial böyümə proseslərində, hətta minimal çirklənmənin vaffik keyfiyyəti və cihaz performansını poza biləcəyi üçün vacibdir. Parçalı bir quruluşu hamar, sərt bir şüşəli karbon qabığı ilə bağlamaqla, örtük, reaksiya otağında təmiz və sabit bir istilik mühitini təmin edir.

Şüşə karbon örtüyünün əsas üstünlükləri hiss olunur:

Encored Particle Shedding: Sıx örtük, boş liflərdə və hissəciklərdə, boşalma və reaktor komponentlərinin çirklənməsinin qarşısını alır.

Yüksək istilik sabitliyi: Həm qrafit hissi, həm də şüşə və şüşəli karbon, həm daxili, vakuum atmosferində 2000 ° C-dən çox olan temperaturdan və ya vakuum atmosferinə tab gətirə bilər, yüksək temperaturlu SIC prosesləri üçün idealdır.

Kimyəvi inertlik: Şüşə karbon səthi ən çox turşulara və aşındırıcı qazlara davamlıdır, sərt şəraitdə izolyasiya qatının əməliyyat həyatını uzadır.

Təkmilləşdirilmiş proses ardıcıllığı: Minimum hissəciklər nəsli, yüksək keyfiyyətli SIC gofretləri istehsal etmək üçün vacib olan daha sabit və təkrarlanan epitaxial böyümə mühitinə töhfə verir.

Şüşə karbon örtüyünün tətbiqləri ilk növbədə isti zonanın içərisində istilik izolyasiya təbəqəsi kimi istifadə edildiyi SIC epitaxial böyümə sobalarına qədər uzanmışdır. Məhsul, adətən, həm istilik qorunması və təmizlik təminatı təmin etdiyi yuxarı və ya aşağı izolyasiya yığınlarında astarlı bir material kimi quraşdırılmışdır.