Qaynadılmış Kvars Piyadası xüsusi olaraq Atom Qatının Çökməsi (ALD), Aşağı Təzyiqli Kimyəvi Buxar Çöküntüsü (LPCVD) və diffuziya proseslərində istifadə üçün nəzərdə tutulmuşdur ki, bu da vafli səthlərdə nazik təbəqələrin vahid çöküntüsünü təmin edir.**
Yarımkeçiricilərin istehsalında əridilmiş Kvars Piyadası vafliləri saxlayan kvars qayığı üçün dəstək strukturu kimi xidmət edir. Sabit bir temperatur saxlamaqla, yarımkeçirici cihazların performansı və etibarlılığı üçün vacib amil olan vahid nazik təbəqənin çökməsinə nail olmağa kömək edir. Pedestal proses kamerası daxilində istilik və işığın paylanmasının bərabər olmasını təmin edir və bununla da çökmə prosesinin ümumi keyfiyyətini artırır.
Ərinmiş kvars materialının üstünlükləri
1.Yüksək Temperatur Müqaviməti
Ərimiş Kvars Altlığı təxminən 1730°C yumşalma nöqtəsinə malikdir və bu, 1100°C ilə 1250°C arasında dəyişən temperaturlarda uzun müddət istifadəyə tab gətirməyə imkan verir. Üstəlik, 1450°C-ə qədər yüksək temperaturlara qısamüddətli məruz qalmağa davam edə bilir.
2.Korroziyaya davamlılıq
Əridilmiş Kvars Piyadası hidrofluorik turşu istisna olmaqla, əksər turşulara kimyəvi cəhətdən təsirsizdir. Onun turşu müqaviməti keramikadan 30 dəfə, paslanmayan poladdan isə 150 dəfə çoxdur. Yüksək temperaturda heç bir başqa material əridilmiş kvarsın kimyəvi sabitliyinə uyğun gəlmir və bu, onu sərt kimyəvi mühitlər üçün ideal seçim edir.
3. İstilik Sabitliyi
Fused Kvars Pedestalının diqqətəlayiq xüsusiyyətlərindən biri onun minimal istilik genişlənmə əmsalıdır. Bu xüsusiyyət, çatlamadan ciddi temperatur dəyişikliklərinə tab gətirməyə imkan verir. Məsələn, o, sürətlə 1100°C-yə qədər qızdırıla və sonra zədələnmədən otaq temperaturunda suya batırıla bilər - bu, yüksək gərginlikli istehsal prosesləri üçün vacib bir xüsusiyyətdir.
İstehsal prosesi
Ən yüksək keyfiyyət standartlarını təmin etmək üçün Fused Quartz Pedestal üçün istehsal prosesi ciddi şəkildə idarə olunur. Pedestallar 10.000 və daha yüksək sinif təmiz otaq mühitlərində aparılan termoformasiya və qaynaq prosesləri vasitəsilə istehsal olunur. Ultra saf su ilə sonrakı təmizləmə (18 MΩ)məhsulun təmizliyini və performansını daha da təmin edir. Yarımkeçirici istehsalının ciddi tələblərinə cavab vermək üçün hər bir əridilmiş kvars postamenti 1000 və ya daha yüksək sinif təmiz otaqda ciddi yoxlamadan, təmizlənmədən və qablaşdırmadan keçir.
Yüksək Saflıqda Opak Kvars Materialı
İstiliyi və işığı effektiv şəkildə bloklamaq üçün Ərinmiş Kvars Piyadası yüksək təmizlikdə qeyri-şəffaf kvars materialından istifadə edir. Bu materialın unikal xassələri postamentin texnoloji kamerada sabit və vahid temperatur saxlamaq qabiliyyətini artırır və bununla da vafli üzərində nazik təbəqənin çöküntüsünün ardıcıl keyfiyyətini təmin edir.
Tətbiqlərin geniş diapazonu
Ərimiş Kvars Pedestalının müstəsna xüsusiyyətləri onu yarımkeçirici sənayesində müxtəlif tətbiqlər üçün uyğun edir. ALD proseslərində o, təkmil yarımkeçirici cihazların istehsalı üçün vacib olan atom səviyyəsində nazik təbəqənin böyüməsinə dəqiq nəzarəti dəstəkləyir. LPCVD prosesləri zamanı postamentin istilik sabitliyi və işığın qarşısını almaq imkanları vahid filmin çökməsinə kömək edir, cihazın performansını və məhsuldarlığını artırır.
Diffuziya proseslərində Fused Quartz Pedestal-in yüksək temperatur müqaviməti və kimyəvi təsirsizliyi yarımkeçirici materialların etibarlı və ardıcıl qatqısını təmin edir. Bu proseslər yarımkeçirici cihazların elektrik xüsusiyyətlərini müəyyən etmək üçün vacibdir və əridilmiş kvars kimi yüksək keyfiyyətli materialların istifadəsi optimal nəticələrə nail olmaq üçün vacibdir.