ESC Chuck

Semicorex ESC Chuck, yarımkeçirici istehsal mühitlərində yüksək dəqiqliyi və təkrarlanmağı təmin edərək, vaflinin mövqeyinə dəqiq nəzarəti saxlamaq üçün elektrostatik qüvvələrdən istifadə edir. ESC çubuqunun dizaynı, onun möhkəm material seçimi və fərdiləşdirilə bilən ölçüləri ilə birlikdə onu aşındırma, çökdürmə və ion implantasiyası kimi proseslərdə çox yönlü və vacib alətə çevirir.

ESC çubuq çubuqun elektrodları ilə vafli arasında yüksək gərginlikli elektrostatik sahə tətbiq etməklə, vafli yerində saxlayan cəlbedici qüvvə yaratmaqla işləyir. Adətən silisium və ya silisium karbiddən hazırlanmış vafli yüksək vakuumlu mühitlərdə dəqiq əməliyyatlara imkan verən bu qüvvə ilə təmin edilir. Bu sistem çirkləndiriciləri daxil edə və ya vafli təhrif edə bilən mexaniki sıxma və ya vakuum vurma ehtiyacını aradan qaldırır. ESC çuxurundan istifadə etməklə istehsalçılar incə istehsal prosesləri üçün daha təmiz, daha sabit mühit əldə edə, daha yüksək məhsuldarlığa və daha ardıcıl nəticələrə səbəb ola bilərlər.

ESC texnologiyasının əsas üstünlüklərindən biri gücü onun səthində bərabər paylayarkən vafli üzərində möhkəm tutma qabiliyyətidir. Bu, vaflinin düz və sabit qalmasını təmin edir, bu, xüsusilə mikronaltı dəqiqliyin tələb olunduğu proseslərdə vahid aşındırma və ya çökmə əldə etmək üçün çox vacibdir. ESC paqonunun fərdiləşdirilə bilən ölçüləri ona standart 200mm və 300mm vaflilərdən tədqiqat və inkişafda və ya niş yarımkeçirici cihazların istehsalında istifadə olunan ixtisaslaşdırılmış, qeyri-standart ölçülərə qədər müxtəlif ölçülü vafliləri yerləşdirməyə imkan verir.

ESC çuxurunun tikintisində istifadə olunan materiallar, adətən yarımkeçiricilərin emalında tapılan sərt mühitlərə uyğunluğu təmin etmək üçün diqqətlə seçilir. Yüksək təmizlikli keramika alüminium oksidi əla elektrik izolyasiya xüsusiyyətlərinə, istilik sabitliyinə və plazma korroziyasına qarşı müqavimətinə görə istifadə olunur. Bu xüsusiyyətlər paqonun həm yüksək temperaturda, həm də yüksək vakuum şəraitində effektiv işləməsinə imkan verir, təmiz otaq mühitində uzunmüddətli istifadə üçün tələb olunan davamlılığı və etibarlılığı təmin edir.

Fərdiləşdirmə ESC çubuqlarının başqa bir əhəmiyyətli faydasıdır. Yarımkeçiricilərin istehsalı prosesinin xüsusi tələblərindən asılı olaraq, çuxurun ölçüləri, elektrod konfiqurasiyaları və material kompozisiyaları emal olunan avadanlıq və vaflilərin unikal ehtiyaclarını ödəmək üçün uyğunlaşdırıla bilər. Tətbiqdə plazma aşındırma, kimyəvi buxar çökdürmə (CVD) və ya fiziki buxar çökmə (PVD) olmasından asılı olmayaraq, ESC çubuq emal zamanı məhsuldarlığı optimallaşdırmaq və vaflinin bütövlüyünü qorumaq üçün dizayn edilə bilər.