Elektrostatik çəngəl

Yüksək saflıqda alüminium oksidi keramikadan istifadə edərək, Semicorex Elektrostatik Çak dəqiqliyə, sabitliyə və təmizliyə üstünlük verən parametrlərdə ən yüksək performans təmin edir. Alüminium oksidi (Al2O3) kimi də tanınan alüminium oksidi müstəsna elektrik izolyasiya xüsusiyyətləri, yüksək istilik keçiriciliyi və əla mexaniki gücü ilə tanınan keramika materialıdır. Bu xüsusiyyətlər onu yarımkeçirici emalın tələbkar şərtlərinə tab gətirmək üçün nəzərdə tutulmuş elektrostatik çəngəl qurmaq üçün ideal material halına gətirir. Alumina keramika ESC, yarımkeçirici cihazların məhsuldarlığının və keyfiyyətinin təmin edilməsində mühüm rol oynayan yüksək temperaturlara, korroziyalı mühitlərə və vafli işləmə və emal zamanı mexaniki gərginliyə dözmək üçün hazırlanmışdır.

Elektrostatik çubuqun əsas prinsipi vafli yerində etibarlı şəkildə saxlamaq üçün istifadə edilən elektrostatik qüvvədir. Bu qüvvə keramika materialına daxil edilmiş elektrodlara gərginlik tətbiq etməklə yaranır. Elektrostatik sahə ilə vaflinin səthindəki induksiya yükləri arasındakı qarşılıqlı təsir vaflini çuxurun səthinə qarşı saxlayan güclü sıxma qüvvəsi yaradır. Alumina keramika ESC-nin dizaynı bu sıxma qüvvəsinin vafli üzərində bərabər paylanmasını təmin edir, emal zamanı sürüşmə və ya zədələnmə riskini minimuma endirir.

Elektrostatik Chuck tikintisində alüminium keramika istifadəsinin əsas üstünlüklərindən biri onun müstəsna elektrik izolyasiya xüsusiyyətləridir. Alüminium oksidinin yüksək dielektrik gücü elektrostatik sahənin bütövlüyünü qorumaq üçün çox vacib olan elektrik qəzası riski olmadan yüksək gərginliklərin tətbiqinə imkan verir. Plazma aşındırma və ya kimyəvi buxarın çökməsi kimi proseslərdə xüsusilə vacibdir, burada vafli yüksək reaktiv mühitlərə məruz qalır və sıxma qüvvəsindəki hər hansı dəyişiklik vaflidə qüsurlar və ya zədələrlə nəticələnə bilər.

Elektrik xüsusiyyətlərinə əlavə olaraq, alüminium keramika yarımkeçiricilərin emalı zamanı yaranan istiliyi idarə etmək üçün vacib olan əla istilik keçiriciliyi nümayiş etdirir. Elektrostatik Çukanın istiliyi səmərəli şəkildə ötürmə qabiliyyəti vaflidə sabit temperaturun saxlanmasına kömək edir, deformasiyaya və ya istilik gərginliyinin digər formalarına səbəb ola biləcək termal qradientləri azaldır. Bu istilik sabitliyi hətta kiçik temperatur sapmalarının nəticəyə təsir göstərə biləcəyi fotolitoqrafiya kimi proseslərin dəqiqliyini və təkrarlanmasını təmin etmək üçün vacibdir.