E-Çak

Semicorex E-Chuck yüksək təmizlikli alüminium oksidindən hazırlanmış Coulomb tipli ESC-dir, aşındırma maşınları, ion implantasiya sistemləri, fiziki buxar çökdürmə (PVD) və kimyəvi buxar çökmə (CVD) sistemləri daxil olmaqla, müxtəlif avadanlıqlarda müstəsna performans təklif edir. . Onun əsas funksiyası kritik proseslər zamanı vafliləri etibarlı şəkildə yerində saxlamaq, dəqiqliyi, etibarlılığı və yüksək məhsuldarlığı təmin etməkdir.


Coulomb tipli elektrostatik çuxurun işləmə prinsipi elektrostatik cazibəyə əsaslanır. Elektrostatik çubuğa yüksək gərginlikli birbaşa cərəyan (DC) tətbiq edildikdə, keramika dielektrik təbəqəsi ilə yarımkeçirici plafli kimi tutulacaq məhsul arasında polarizasiya baş verir. Yaranan elektrostatik qüvvələr vaflidə möhkəm, lakin yumşaq bir tutuş yaradır, hətta yarımkeçiricilərin istehsalı proseslərinə xas olan yüksək sürətli və yüksək gərginlik şəraitində belə yerində qalmasına imkan verir. Semicorex E-Chuck-un tikintisində istifadə edilən yüksək performanslı alüminium oksidi materialı əla izolyasiya xüsusiyyətləri və yüksək istilik müqaviməti sayəsində bu məqsəd üçün mükəmməl dielektrik mühit təmin edir.

Coulomb tipli E-Chuck-un kritik cəhəti onun vafli və çəngəl səthi arasında ardıcıl və vahid əlaqə saxlamaq qabiliyyətidir. Bu, aşındırma, çökmə və ya ion implantasiyası kimi müxtəlif proses mərhələlərində vaflilərin etibarlı şəkildə saxlanmasını təmin edir. Çuxurun dizaynındakı yüksək dəqiqlik, yarımkeçirici istehsalında tələb olunan yüksək keyfiyyətli məhsula nail olmaq üçün vacib olan vafli üzərində gücün bərabər paylanmasına zəmanət verir. Bundan əlavə, bu dəqiq tutma mexanizmi əməliyyat zamanı minimal hərəkət və ya sürüşməni təmin edərək, tez-tez kövrək və bahalı olan vaflilərdə qüsurların və ya zədələnmənin qarşısını alır.

Semicorex E-Chuck onu yarımkeçiricilərin istehsalı üçün ideal seçim edən bir neçə əsas xüsusiyyət təklif edir. Birincisi, çuxurun içərisindəki daxili elektrodlar, hətta aşındırma və çökmə proseslərinə xas olan sərt plazma mühitlərində belə təhlükəsiz və etibarlı vafli fiksasiyanı təmin edir. Bu fiksasiya üsulu, prosesin dəqiqliyinə və son yarımkeçirici məhsulun keyfiyyətinə birbaşa təsir göstərən vafli düzülməsini və sabitliyini qorumaq üçün çox vacibdir.

Digər mühüm xüsusiyyət emal zamanı vaflinin temperaturuna dəqiq nəzarət etməyə imkan verən quraşdırılmış qızdırıcıların inteqrasiyasıdır. Yarımkeçiricilərin istehsal prosesləri tez-tez istənilən material xüsusiyyətlərinə və ya aşındırma xüsusiyyətlərinə nail olmaq üçün xüsusi istilik şərtlərini tələb edir. Semicorex E-Chuck çox zonalı temperatur nəzarəti ilə təchiz olunub ki, bu da vaflidə ardıcıl və vahid qızdırmanı təmin edir, qüsurlara və ya qeyri-bərabər nəticələrə səbəb ola biləcək istilik qradiyentlərinin qarşısını alır. Temperatur nəzarətinin bu səviyyəsi xüsusilə yüksək keyfiyyətli nazik təbəqələrin istehsalı üçün vahid materialın çökməsinin vacib olduğu CVD və PVD kimi proseslərdə çox vacibdir.

Bundan əlavə, E-Chuck-un tikintisində yüksək təmizlikli alüminium oksidinin istifadəsi yarımkeçirici istehsalında ciddi narahatlıq doğuran hissəciklərin çirklənməsini minimuma endirir. Hətta kiçik miqdarda çirklənmə son məhsulda qüsurlara səbəb ola bilər, məhsuldarlığı azaldır və xərcləri artırır. Semicorex E-Chuck-un aşağı hissəcik yaratma xarakteristikası vaflinin proses boyu təmiz qalmasını təmin edərək istehsalçılara daha yüksək məhsuldarlıq və daha yaxşı məhsul etibarlılığı əldə etməyə kömək edir.

E-Chuck həmçinin plazma eroziyasına yüksək dərəcədə davamlı olmaq üçün nəzərdə tutulmuşdur ki, bu da onun performansında digər mühüm amildir. Plazma aşındırma kimi, vaflilərin yüksək reaktiv ionlaşmış qazlara məruz qaldığı proseslərdə çuxurun özü çirkləndiriciləri pisləşdirmədən və ya buraxmadan bu sərt şərtlərə tab gətirə bilməlidir. Semicorex E-Chuck-da istifadə edilən alüminium oksidinin plazmaya davamlı xüsusiyyətləri onu bu tələbkar mühitlər üçün ideal edir, uzunmüddətli davamlılığı və uzun müddət ərzində ardıcıl performansını təmin edir.

Semicorex E-Chuck-un mexaniki gücü və yüksək dəqiqliklə emal edilməsi də diqqətəlayiqdir. Yarımkeçirici vaflilərin zərif təbiətini və istehsalda tələb olunan sərt dözümlülükləri nəzərə alaraq, çubuqun tələb olunan standartlara uyğun hazırlanması çox vacibdir. E-Chuck-un yüksək dəqiqlikli forması və səthinin işlənməsi vaflilərin təhlükəsiz və bərabər tutulmasını təmin edərək, zədələnmə və ya emal uyğunsuzluqları riskini azaldır. Bu mexaniki möhkəmlik əla istilik və elektrik xüsusiyyətləri ilə birləşərək Semicorex E-Chuck-u yarımkeçirici proseslərin geniş spektri üçün etibarlı və çox yönlü həll edir.

Semicorex E-Chuck yarımkeçirici istehsalının mürəkkəb tələbləri üçün mükəmməl həlli təqdim edir. Onun Coulomb tipli elektrostatik sıxma, yüksək saflıqda alüminium oksidi konstruksiyası, inteqrasiya olunmuş isitmə imkanları və plazma eroziyasına qarşı müqavimətin kombinasiyası onu aşındırma, ion implantasiyası, PVD və CVD kimi proseslərdə yüksək dəqiqliyə və etibarlılığa nail olmaq üçün əvəzsiz alətə çevirir. Özünün fərdiləşdirilə bilən dizaynı və möhkəm performansı ilə Semicorex E-Chuck yarımkeçirici istehsal xətlərinin səmərəliliyini və məhsuldarlığını artırmaq istəyən istehsalçılar üçün ideal seçimdir.