Seramik elektrostatik chucks

Seramik elektrostatik chucksElektrodlar arasında yaradılan elektrostatik sahədən istifadə edən dəqiq komponentlərdir və kobudları düzəltmək və düzəltmək. Yarımkeçiricilər, düz panel displeyləri və optika kimi sahələrdə geniş tətbiq olunur və PVD cihazları, etching maşınları və ion implantləri kimi yüksək səviyyəli avadanlıqların əsas komponentləridir.

Ənənəvi mexaniki çaklar və vakuum çakları ilə müqayisədə, keramika elektrostatik chucks yarımkeçirici istehsal sahəsində bir çox üstünlüklərə malikdir. Bu keramika elektrostatik chuck, səthində gəzmək və bərabər şəkildə doldurmaq üçün statik elektrik enerjisindən istifadə edir. Bu vahid adsorbsiya qüvvəsi adsorbed obyektini nisbətən düz saxlaya bilər, qarşısını ala bilərkövrəkənənəvi mexaniki chucks və ya yarana biləcək bir deformasiya və yavakuum chucksvə vafferin yüksək dəqiqlikli yarımkeçirici proseslər üçün uyğun dəqiqliyini qoruduğunu təmin etmək.

Bəzi keramika elektrostatik chucks, arxa zərbə və ya daxili istilik elektrodları ilə vaffer temperaturunu dəqiq idarə edə bilən, müxtəlif proseslərin ciddi temperatur tələblərinə uyğunlaşan və emal sabitliyini yaxşılaşdıra bilən bir inteqrasiya edilmiş istilik funksiyaları var.

Seramik elektrostatik chucks geniş uyğunluq təklif edir. Müxtəlif yarımkeçirən istehsal ehtiyacları ilə görüş, silikon, glalium arsenide və silikon karbid, o cümlədən müxtəlif ölçülü və materialların yuyulmasını təmin edə bilərlər.

Seramik elektrostatik chucks geniş uyğunluq təklif edir. Müxtəlif yarımkeçirən istehsal ehtiyacları ilə görüş, silikon, glalium arsenide və silikon karbid, o cümlədən müxtəlif ölçülü və materialların yuyulmasını təmin edə bilərlər.

Takuum mühitində vakuum mühitində boşaltma, kimyəvi bulanmada kimyəvi buxarlanma (CVD), kimyəvi buxarlanma (CVD) və digər proseslərin, digər proseslərin (CVD) və digər proseslərin proseslərinin mükəmməl şəkildə yerinə yetirən ənənəvi vakuum chucksinin məhdudlaşdırılması kimi yüksək vakuum mühitində sabit işləyə bilərlər.