Seramik elektrostatik çəngəl

Alüminium oksidi keramikadan hazırlanmış Semicorex Seramik Elektrostatik Çəkmə müxtəlif istehsal prosesləri zamanı yarımkeçirici vafliləri etibarlı şəkildə saxlamaq üçün vacibdir. Material xassələrinin unikal kombinasiyası ilə bu Seramik Elektrostatik Chuck yarımkeçirici cihazların istehsalı zamanı dəqiqlik, etibarlılıq və səmərəliliyin təmin edilməsində mühüm rol oynayır.

Keramika Elektrostatik Çubuğun mərkəzində qeyri-adi fiziki və kimyəvi xassələrinə görə sənayedə yüksək qiymətləndirilən alüminium oksidi keramika dayanır. Alüminium oksidi (Al2O3) ESC kontekstində kritik olan üstün elektrik izolyasiya imkanları ilə tanınır. Yarımkeçiricilərin işlənməsi zamanı vaflilər hazırlanmış incə sxemə təsir edə biləcək hər hansı elektrik müdaxiləsi olmadan möhkəm tutulmalıdır. Alumina keramikasının yüksək dielektrik gücü, vaflinin vəziyyətini və bütövlüyünü qorumaq üçün vacib olan sabit və etibarlı sıxma qüvvəsini təmin edərək, elektrik boşalması riski olmadan lazımi yüksək gərginliklərdə işləməsini təmin edir.

Seramik Elektrostatik Çəkmə alüminium keramika içərisinə daxil edilmiş elektrodlar vasitəsilə elektrostatik sahə yaradaraq işləyir. Gərginlik tətbiq edildikdə, nəticədə meydana gələn sahə vafli çuxurun səthində etibarlı şəkildə saxlayan güclü sıxma qüvvəsi yaradır. Bu qeyri-mexaniki sıxma üsulu yarımkeçiricilərin emalında xüsusilə üstünlük təşkil edir, çünki o, fiziki təması minimuma endirir və vaflinin çirklənmə və mexaniki zədələnmə riskini azaldır ki, bu da ən kiçik qüsurun belə əhəmiyyətli məhsul itkisi ilə nəticələnə biləcəyi qabaqcıl qovşaqlar üçün xüsusilə vacibdir.

Seramik Elektrostatik Çubuğun diqqətəlayiq xüsusiyyətlərindən biri onun istilik performansıdır. Yarımkeçirici proseslər tez-tez vaflidə istilik gərginliyi yarada bilən yüksək temperaturları əhatə edir. Alüminium oksidi keramika əla istilik keçiriciliyinə görə qiymətləndirilir ki, bu da Seramik Elektrostatik Çubuğun emal zamanı yaranan istiliyi səmərəli şəkildə dağıtmasına imkan verir. Bu istilik idarəetmə qabiliyyəti vaflidə temperaturun vahid paylanmasını təmin etmək və bununla da əyilmə və ya mikro çatlamağa səbəb ola biləcək termal qradientləri azaltmaq üçün vacibdir. Alumina keramika tərəfindən təmin edilən sabitlik, bütün istehsal dövrü boyunca vaflinin bütövlüyünü qoruyaraq, fotolitoqrafiya və aşındırma kimi kritik proseslərin dəqiqliklə həyata keçirilməsini təmin edir.

Bundan əlavə, alüminium keramikasının mexaniki möhkəmliyi ESC-nin davamlılığına və uzunömürlülüyünə əhəmiyyətli dərəcədə kömək edir. Yarımkeçiricilərin istehsalında, Keramika Elektrostatik Çubuğun təkrar yerləşdirilməsi, emal edilməsi və çıxarılması dövrlərinə məruz qalır. Alüminium oksidinin aşınma müqaviməti çuxurun bu dövrlərə əhəmiyyətli dərəcədə deqradasiyasız dözə bilməsini təmin edir. Bu aşınma müqaviməti təkcə çubuqun xidmət müddətini uzatmır, həm də hissəciklərin əmələ gəlməsi ehtimalını azaldır, əks halda vafli çirkləndirə və cihazın keyfiyyətini poza bilər. Materialın sərtliyi eyni zamanda çuxurun səthinin hamar və vahid qalması deməkdir ki, bu da ardıcıl sıxma qüvvəsinin saxlanması və vafli zədələnməsinin qarşısının alınmasında mühüm amildir.