Alüminium vafli cilalama lövhələri

Semicorex alüminium vafli cilalama lövhələriizostatik presləmə, yüksək temperaturda sinterləmə və dəqiq emal yolu ilə yüksək təmizlikli alüminium oksidindən hazırlanmış dəqiq işlənmiş hissələrdir. Alüminium keramika müstəsna fiziki və kimyəvi xassələri təklif etdiyinə görə, onlar ultra yüksək səth dəqiqliyi və səmərəliliyi üçün ciddi tələblərə malik dəqiq cilalama tətbiqləri üçün, xüsusən də yarımkeçirici vafli cilalanması üçün idealdır.

---

Əla aşınma müqaviməti üçün uzun ömür

Yüksək aşınma müqaviməti yüksək dəqiqliklə emalda istifadə olunan vafli cilalama lövhələri üçün vacibdir. Alumina keramikasının Mohs sərtliyi təxminən 9-dur, yalnız almaz və silisium karbidindən sonra ikinci yerdədir ki, bu da vafli cilalama plitələrinin aşağı aşınma itkisi ilə yarımkeçirici vafli cilalanması zamanı yüksək sürətli, yüksək vəzifəli sürtünmə iş şəraitinə tab gətirməyə imkan verir. Bu əla aşınma müqaviməti ilə alüminium vafli cilalama plitələri davamlı xidmət müddəti nümayiş etdirir, dəyişdirmə üçün avadanlığın bağlanma tezliyini əhəmiyyətli dərəcədə azaldır və texniki xidmət və dəyişdirmə xərclərini azaldır.

Müstəsna termal sabitlik və yüksək temperatur müqaviməti

Alüminium oksidivafli cilalama plitələri müstəsna istilik dayanıqlığı və yüksək temperatur müqaviməti sayəsində 1000 ℃ yüksək temperaturlu mühitlərdə fiziki xüsusiyyətlərini və sürtünmə performansını saxlaya bilir. Onlar tez-tez sürtünmə nəticəsində yaranan yüksək temperaturlu iş şəraiti üçün uyğundur, termal deformasiyadan effektiv şəkildə qaçır və daimi cilalanmış səthi saxlamağa kömək edir.

Etibarlı kimyəvi korroziyaya davamlılıq

Alüminium oksidi vafli cilalama lövhələri etibarlı kimyəvi korroziyaya davamlıdır. Onlar ən çox turşulara və qələvilərə, həmçinin CMP prosesində istifadə olunan ümumi kimyəvi cilalama məhlullarına tab gətirə bilirlər. Onların səthinin hamarlığı kimyəvi korroziya ilə pozulmayacaq, beləliklə, yarımkeçirici vaflilərin səth keyfiyyətinə təsir göstərir.

---

Semicorex Alumina vafli cilalama lövhələri üçün tətbiqlər

1.Yarımkeçirici vafli cilalanması

Alüminium oksidi vafli cilalama plitələri silikon, SiC, sapfir və müxtəlif vafli substratların üyüdülməsində, kobud cilalanmasında və cilalanmasında geniş istifadə olunur. Ultra aşağı pürüzlülüyü və nanoölçülü səthi hamarlığı sayəsində alüminium təbəqəsi cilalama lövhələri aşındırma və litoqrafiya kimi qabaqcıl yarımkeçirici proseslərin səth keyfiyyəti tələblərinə ideal şəkildə cavab verə bilər.

2.Vafferin incəlməsi və kənarlarının cilalanması

Gofretin incəlmə prosesi zamanı alüminium vafli cilalama lövhələri vaflitin qalınlığını dəqiq idarə etmək və arxa tərəfdəki materialları bərabər şəkildə çıxarmaq üçün istifadə edilə bilər. Kənarın cilalanması prosesində alüminium oksidi cilalama plitələri də vaflinin kənarlarında çapıqları və qüsurları aradan qaldırmaqla vaflinin optimal kənar keyfiyyətinə nail olmağa kömək edə bilər.