Alumina robot qolu

Semikorex Alumina Robot Qol, boşalma işləmə və yarımkeçirici istehsalda tapşırıqları ötürmək üçün hazırlanmış yüksək effektiv keramika hissəsidir. Yüksək saflıq alumina keramikasından (Al₂o₃) tərəfindən hazırlanmışdır, bu robot qolu təmizlik, dəqiqlik, etibarlılıq və təmizlik təklif edir.

Alumina robot qolunun xeyrinə nə fərqi varalumina keramikamexaniki güc və sərtlik. KimialuminaDaha saf hazırlanır, alüminiina daha yaxşı bir quruluş bütövlüyünü qoruyur və mexaniki aşınma və deformasiyaya daha çox davamlıdır. Bir material olaraq, Alüminiina, incə və təkrarlanan vaffer işləmə tapşırıqlarında istifadə olunan robot hissələri üçün əla seçimdir Yüksək sərtlik, i.E. Sərt səthlər, aşındırıcı müqavimət və funksional həyatda kömək edə bilər, yəni robot bir komponentdə xidmət / dəyişdirmə müddəti uzanır.

Onun mexaniki davamlılığından kənarda, alumina robot qolu da əla elektrik izolyatorudur. Müqavimət 10 ¹⁵ ω · CM-ə qədərdir və izolyasiya gücü, otaq temperaturunda 15 kV / mm-ə qədərdir, işləmək üçün daha etibarlı bir mühit təmin edir, xüsusən elektrik siqnalları müdaxilə edərkən emal avadanlıqlarında azaldılmalıdır. Bu, elektrostatik axıdılması (ESD) zərərləri ilə proseslər arasında həssas yarımkeçirici komponentləri qorumaqda vacib olur.

Alüminiina keramikası çox yüksək temperaturda sabitliyi qorumaq üçün əladır. Ərimə nöqtəsi təxminən 2050 ° C-dir və yarımkeçirici istilik emalında yüksək temperaturdan məhrum ediləcək və ya ölçülü dəqiqlik olmadan. Yüksək istilik müqaviməti, qolun sürətlə hizalanma və istilik sabitliyinin kritik olduğu sürətli termal yuma (RTA) və ya kimyəvi buxarlanma (CVD) kimi proseslərdə istifadə etməyə imkan verir.

Alüminianın robot qolunun digər əhəmiyyətli faydalarından biri də onun inisidir. Onun səthi yarımkeçirici istehsalda istifadə olunan ən təmizləyici maddələrə və proses qazlarına inaktıdır. Buna görə də, çirklənmə vəziyyətində qalacaq və boşalma səthinin çirklənməsinə töhfə verməyəcəkdir. Bu kimyəvi inertlilik, ultra təmiz istehsal şərtlərinə nail olmaq və ardıcıl cihaz performansının təmin edilməsi üçün açardır.

Alumina keramikaYarımkeçirici alətlər üçün də əlverişli bir seçimdir. Bu, xammal kimi hazırlanır və alüminiina keramikalarının emal prosesləri yaxşı başa düşülən və asanlıqla ölçüləndir. Bu, rəqabətqabiliyyətli bir qiymətə istehsal ediləcək yüksək keyfiyyətli hissələr üçün çoxalma və ardıcıl tolerantlara imkan verir. Performans və əlverişlilik qarışığı, alumina robot qolunu, bankı sındırmayan etibarlı avtomatlaşdırma komponentlərini tələb etdiyiniz OEM və yarımkeçirici Fabs üçün ideal hala gətirir.

Xülasə, alüminiina robot qolu yüksək mexaniki performans, yüksək dielektrik performans, yüksək kimyəvi performans, yüksək kimyəvi performans, hamısını iqtisadi qiymətə ilə təmin etməklə təmin edir. Kollektiv olaraq, bu performans xüsusiyyətləri, yarımkeçirici istehsalda, yaxşılaşdırılmış məhsuldarlıq, potensial olaraq çirklənmə riskini azaltmağa və ümumi avadanlıq effektivliyini artıran dəqiqlikli vaffer tətbiqetmələri üçün etibarlı və səmərəli hala gətirir.