Alumina montaj bazası plitələr

Semikorex alumina montaj bazası plitələri, yarımkeçirici istehsalçı avadanlıqlarında işləyən işlərin davamlı və sabit əsasları kimi hazırlanmış yüksək səviyyədə keramika məhsullarıdır. Bu plitələr litoqrafiya, etching, çökmə, çökmə və yoxlama kimi vafli emal əməliyyatları üçün tənqidi mexaniki dəstək və uyğunlaşma təmin edir. Dafar emalın tələb olunan sədaqətlə baş verə biləcəyini təmin etmək üçün işinizi digər sistem komponentləri ilə dəqiq uyğunlaşdırmaq vacibdir. Plitələr həm proses, həm də təmizlik otağında müasir yarımkeçirici istehsalın sərt tələblərinə cavab vermək üçün zəruri düzlüyə, yüksək temperatur davamlılığına, yüksək temperatur davamlılığına və uzunmüddətli etibarlılığa nail olmaq üçün keramikalara xas olan işləmə texnikaları ilə istehsal olunur.

Semikorex alüminion montaj bazası plitələr yüksək saflıqdan hazırlanmışdıraluminaSaf bir səviyyəyə sahib olmaq ≧ 99.5% (tipik). Yüksək saflıq alüminionun yaxşı mexaniki və istilik xüsusiyyətləri, eləcə də sərtliyi var. Yüksək saflıq alüminium, bu plitələrin elektrik müdaxiləsinin bir problem ola biləcəyi vakuum və yüksək gərginlikli tətbiqlərdə istifadə olunmasına imkan verən əla xas olan elektrik izolyasiya xüsusiyyətlərinə malikdir. Alüminiina, plitələrə əksər materiallardan daha yaxşı ölçülü dəqiqliyi qorumağa imkan verən və azaldılmış istilik genişlənməsinə görə hizalanma və ya struktur sabitliyin qorunması üçün faydalı olması üçün faydalıdır. Bu amil, uzadılmış istehsal dövrləri üzərində işləyərkən, chuck təkrarlanmasının və gizli proses toleransının təmin olunmasında vacibdir.

Yarımkeçirici emal sistemlərində, bir montaj bazası, mexaniki bərkitmə üçün sadəcə bir cihaz deyil. Bu Chuck və avadanlıqların qalan hissəsi arasında istilik təmas mühitidir və istilik dissionasiya, struktur bütövlüyü və vibrasiya izolyasiyası üçün vacibdir. Yüksək temperatur və vakuum təzyiqlərinin adi hal olduğu CVD, PVD və ya ion implantasiyası kimi (lakin bununla məhdudlaşmır) işləmə əməliyyatları, yüksək temperatur və vakuum təzyiqinin, bir montaj bazasını termal, kimyəvi cəhətdən inert və davamlı, mexaniki səs və istilik şokuna davamlı olmaq üçün bir montaj bazasını tələb edir. Kimyəvi inaktness çox vacibdir, çünki bir dağ reaktiv qazlara, eləcə də, moniranın faydalı ömrünü uzatmaq və çirklənmənin qarşısını alan kimmissələrlə də təmizlənməlidir.

Semikorex tərəfindən hazırlanmış hər alüminion montaj bazası boşqab, yarımkeçirici oemlər və avadanlıq inteqratorları ilə tələb olunan tolerantlıqlara işlənmişdir. Plitələr maksimum sabitliyi və təkrarlanma təmin etmək üçün qalınlıq, boy boyu və düzlük üçün möhkəm tolerantlıqlara qədər işlənmişdir. Bu montaj plitələr, iş çakları, mexaniki mərhələləri və ya digər avadanlıqları daha yaxşı yerləşdirmək üçün müştəri xüsusiyyətlərinə montaj dəlikləri, yuvalar və ya sayğaclar ilə edilə bilər. Alüminiina keramikası, zamanla istifadə üçün ardıcıl istilik kontaktı və hizalanmanı təmin etmək üçün vahid bir mikrostruktur və səth keyfiyyətini optimallaşdırmaq üçün müasir siner və dəqiq daşlama üsullarından istifadə edərək işlənir.

Semikorex alüminion montaj bazası plitələr, vaffer işləyənlər, robot transfer sistemləri, vakuum chuck montajları və metrologiya mərhələləri də daxil olmaqla müxtəlif tətbiqlərdə istifadə olunur. Müxtəlif tələbkar bir proses vəziyyətində bu etibarlılıq və davamlılığı, onları sağlam, uzunmüddətli, aşağı təmir keramika komponentlərini axtaran alət istehsalçıları ilə seçim məhsulu halına gətirir. Mühəndislik qrupumuz, hər bir plaka üçün göstərilən unikal həllər təmin etmək üçün müştərilərlə birlikdə, yarımkeçiricidə istehsal üçün səmərəliliyi artırmaq üçün unikal həllər təqdim edir.

Alüminion montaj bazası plitələri yalnız mexaniki bir dəstəkdən daha çoxdur; Yarımkeçirici sənayesində dəqiq mühəndisliyin əsas komponentidir. Mükəmməl mexaniki sabitlik, saflıq və konfiqurasiya ilə, uzun ömürlü və geniş proses alətlərində düzgün uyğunlaşma, etibarlı işləməyi təmin edirlər. Bugünkü yarımkeçirici istehsalçılarının yüksək gözləntilərinin yüksək performanslı montaj bazaları üçün, etibarlı semikorex.