Alüminium oksidinin son effekti

Semicorex Alumina End Effector üçün materialın seçimi yüksək təmizlikli alüminium oksidi keramikasının yarımkeçiricilərin istehsalında rast gəlinən sərt mühitlərə unikal uyğunluğu ilə şərtlənir: 

Çirklənməyə nəzarət üçün müstəsna təmizlik: Substrat kimi yüksək saflıqda alüminium oksidi keramikadan ibarət olan Alumina End Effector, həssas yarımkeçirici cihazların elektrik xassələrini və ya işini poza biləcək çirkləndiricilərin daxil olmamasını təmin edərək, onların son dərəcə aşağı çirkləri ilə xarakterizə olunur.

Prosesin çox yönlü olması üçün yüksək temperaturda sabitlik:Alumina End Effector, termal oksidləşmə, diffuziya və kimyəvi buxarın çökməsi kimi proseslərdə rast gəlinən yüksək temperaturlarda belə struktur bütövlüyünü və ölçü dəqiqliyini qoruyaraq əla istilik sabitliyi nümayiş etdirir.

Sərt mühitlər üçün kimyəvi təsirsizlik:Alumina End Effector-un xas kimyəvi müqaviməti onu yarımkeçiricilərin emalında geniş istifadə olunan turşuların, əsasların və həlledicilərin geniş spektrinə qarşı keçirməz edir. Bu hərəkətsizlik son effektorun korroziyasının və ya deqradasiyasının qarşısını alır, onun uzunmüddətli işləməsini təmin edir və hissəciklərlə çirklənmə riskini minimuma endirir.

Uzun xidmət müddəti üçün möhkəm mexaniki xüsusiyyətlər:Alüminium oksidi keramika sərtliyi, aşınma müqaviməti və deqradasiya olmadan təkrarlanan işləmə və təmizləmə dövrlərinə tab gətirmək qabiliyyəti ilə tanınır. Bu möhkəmlik alüminium oksidinin son effekti üçün uzadılmış xidmət müddətinə çevrilir, əvəzetmə xərclərini və dayanma müddətini azaldır.

Alumina End Effector-un dəqiqliyi, saflığı və davamlılığı onu bir sıra kritik yarımkeçirici istehsal proseslərində vacib komponentə çevirdi:

Fotolitoqrafiya:Dəqiq vafli düzülüşü və yerləşdirilməsi fotolitoqrafiyada çox vacibdir, burada hətta cüzi kənarlaşmalar yanlış hizalanma xətalarına və cihazın nasazlığına səbəb ola bilər. Alumina End Effektoru bu kritik proses addımı üçün lazımi dəqiqliyi və sabitliyi təmin edir.

Kimyəvi Mexanik Planarlaşdırma (CMP):Kimyəvi aqressiv şlamlara və CMP-də iştirak edən mexaniki qüvvələrə tab gətirmə qabiliyyəti Alumina End Effector-u bu kritik proses zamanı vaflilərlə işləmək üçün ideal hala gətirir, bu da vaflinin səthini sonrakı təbəqələşmə üçün planarlaşdırır.

Gofret Təftişi və Metrologiyası:Alumina End Effector-un çirkləndirməyən və zərər verməyən təbiəti onu yoxlama və metrologiya prosesləri zamanı vaflilərlə işləmək, dəqiq ölçmələri təmin etmək və qüsurların yaranması riskini minimuma endirmək üçün ideal hala gətirir.