15" Kvars Zəng Kavanozu

Semicorex 15 düymlük Kvars Çan Kavanozu bu çətinliklərə cavab vermək üçün hazırlanmışdır və istilik vahidliyi və materialın saflığının məhsuldarlığı artırmaq üçün vacib olduğu orta və böyük miqyaslı toplu emal üçün yüksək performanslı həll təmin edir. Yarımkeçirici və nazik təbəqə sənayesində prosesin bütövlüyü və çubuq ölçüsünü artırır. təmiz, sabit və kimyəvi cəhətdən təsirsiz bir mühitə olan tələb müzakirə olunmaz hala gəlir.

1. Material Elmləri: əridilmiş silisiumun saflığı

Zəngli bankamızın təməli yüksək təmizlikdirəridilmiş silisium (kvars). Standart şüşədən fərqli olaraq, kvars demək olar ki, tamamilə SiO2-dən ibarətdir və yarımkeçiricilərin istehsalı üçün vacib olan unikal xüsusiyyətləri təmin edir:

Ultra Aşağı Çirklənmə: Kvarsımız metal iz elementlərini (məsələn, Al, Fe, Na və K) milyardda hissə (ppb) səviyyəsinə endirmək üçün işlənir. Bu, cihazların elektrik bütövlüyünü təmin edərək, yüksək temperatur dövrlərində vaflidə çirklərin yayılmasının qarşısını alır.

Üstün Termal Zərbə Müqaviməti: Kvars sıfıra yaxın Termal Genişlənmə Əmsalına (CTE) malikdir. Bu, 15 düymlük Kvars Bell Kavanozuna sınıq və ya struktur yorğunluğu riski olmadan sürətli temperaturun yüksəlməsinə və söndürülməsinə tab gətirməyə imkan verir - yüksək məhsuldarlıqlı reaktorlar üçün kritik tələbdir.

Əla Kimyəvi İnertlik: Kvars əksər turşulara (hidrofluorik turşu istisna olmaqla) və aşındırıcı proses qazlarına yüksək dərəcədə davamlıdır, aqressiv aşındırma və ya çökmə dövrləri zamanı kameranın deqradasiyaya uğramamasını və ya qazın çıxmamasını təmin edir.

2. Dəqiq mühəndislik və optik aydınlıq

15 düymlük Kvars Zəngli Kavanoz, qab vafli emalı üçün maksimum həcm və optimal qaz axını dinamikasını təmin edir. Kavanozda qaz girişini təmin etmək və ya yuxarıdakı şəkildə göstərilən bankadan vakuum vasitəsilə qazın çıxarılmasına kömək etmək üçün optimal şəkildə hazırlanmış şaquli baca (boyun kimi də tanınır) var.

Optik Şəffaflıq - yüksək ötürülmə səviyyəsikvars materialıspektrin ultrabənövşəyi, görünən və infraqırmızı bölgələrində dalğa uzunluqlarını yaymaq real vaxtda emal etməyə, eləcə də sürətli termal emal (RTP) üçün xarici lampa qızdırıcılarından istifadə etməyə imkan verir.

Gücləndirilmiş sızdırmazlıq səthləri - Kavanozun boğazı reaktorun əsas lövhəsi ilə banka arasında hermetik (hava ilə möhürlənmiş) və vakuum keçirməyən interfeysi təmin edən xüsusi hazırlanmış qeyri-şəffaf ağ möhürə (həmçinin torpaq birləşməsinə istinad edilir) malikdir.

Stressin aradan qaldırılması üçün yumşalma - Bütün 15 düymlük Kvars Zəngli Kavanoz, bankanın üfürülməsi və ya formalaşdırılmasının mexaniki prosesi ilə bankaya yerləşdirilən daxili mexaniki gərginliyi aradan qaldırmaq üçün ciddi termal yumşalma prosesindən keçir, buna görə də vakuum yükü altında yerləşdirildikdə bankanın kortəbii sıradan çıxma şansını əhəmiyyətli dərəcədə azaldır.

3. Yarımkeçirici Fab.-də Kritik Tətbiqlər

15 düymlük Kvars Zəng Kavanozumuz aşağıdakı yüksək dəyərli proseslərə inteqrasiya üçün xüsusi olaraq hazırlanmışdır:

Silicon Epitaxy: Yüksək keyfiyyətli tək kristal silisium təbəqələrinin yetişdirilməsi üçün şəffaf, reaktiv olmayan bir qab təmin edir.

Plazma Təkmilləşdirilmiş CVD (PECVD): Yüksək dielektrik gücünü qoruyarkən korroziyalı plazma mühitinə tab gətirmək.

Diffuziya və Oksidləşmə: Qapı oksidlərinin əmələ gəlməsi və əlavə maddələrin daxil olması üçün təmiz, yüksək istilik kamerası kimi xidmət edir.

Optik Fiber Preform İstehsalı: Xüsusi şüşə istehsalında silisium təbəqələrinin yüksək saflıqda çökdürülməsi üçün idealdır.

Semicorex-də biz hər zəng qabını dəqiq laboratoriya avadanlığı kimi idarə edirik. Bizim prosesimizə daxildir: Təsdiqlənmiş elektron səviyyəli ciddi material əldə etməkkvarskülçələr; ənənəvi şüşə üfürmə bacarıqlarını CNC ilə idarə olunan daşlama və cilalama ilə birləşdirən qabaqcıl istehsal; və qalıq gərginliyi aşkar etmək üçün qütblü işıqdan istifadə edərək hərtərəfli yoxlama və dəqiq ölçülü yoxlamalar üçün lazer interferometriyası.