Silikon karbid vafli qayıq

Yarımkeçirici istehsalında oksidləşmə vaflinin oksid təbəqəsi yaratmaq üçün oksigenin vafli səthi boyunca axdığı yüksək temperaturlu bir mühitə yerləşdirilməsini nəzərdə tutur. Bu, vafli kimyəvi çirklərdən qoruyur, sızma cərəyanının dövrəyə daxil olmasının qarşısını alır, ion implantasiyası zamanı diffuziyanın qarşısını alır və aşındırma zamanı vaflinin sürüşməsinin qarşısını alır, vaflinin səthində qoruyucu təbəqə əmələ gətirir. Bu mərhələdə istifadə olunan avadanlıq oksidləşmə sobasıdır. Reaksiya kamerasındakı əsas komponentlərə vafli qayıq, baza, soba layneri boruları, daxili soba boruları və istilik izolyasiya edən pərdələr daxildir. Yüksək işləmə temperaturu səbəbindən reaksiya kamerası daxilində komponentlər üçün performans tələbləri də yüksəkdir.

Thevafli qayıqvafli daşınması və emalı üçün daşıyıcı kimi istifadə olunur. Yüksək inteqrasiya, yüksək etibarlılıq, antistatik xüsusiyyətlər, yüksək temperatur müqaviməti, aşınma müqaviməti, deformasiyaya qarşı müqavimət, yaxşı dayanıqlıq və uzun xidmət müddəti kimi üstünlüklərə malik olmalıdır. Vafli oksidləşmə temperaturu təxminən 800 ℃ ilə 1300 ℃ arasında olduğundan və ətraf mühitdəki metal çirklərin tərkibinə dair tələblər son dərəcə ciddi olduğundan, vafli qayıq kimi əsas komponentlər yalnız əla istilik, mexaniki və kimyəvi xüsusiyyətlərə malik olmamalı, həm də son dərəcə aşağı metal çirkləri ehtiva etməlidir. Substrata əsasən, onları kvars vafli qayıqlara, silisium karbid keramika vafli qayıqlara və s. bölmək olar. Bununla belə, 7nm-dən aşağı texnoloji qovşaqların irəliləməsi və yüksək temperaturlu proses pəncərələrinin genişləndirilməsi ilə ənənəvi kvars qayıqları tədricən qeyri-adekvat hala gəlir, istilik hissəciklərinin sabitliyi və ömrünün idarə edilməsi baxımından. Silikon karbid (SiC) qayıqları tədricən ənənəvi kvars məhlullarını əvəz edir.

1. Yarımkeçiricilərin istehsalı

Oksidləşmə, diffuziya, kimyəvi buxar çökdürmə (CVD) və ion implantasiyası kimi çip istehsalının yüksək temperaturlu proseslərində SiC qayıqları silikon vafliləri dəstəkləmək üçün istifadə olunur, vaflilərin yüksək temperaturda düz qalmasını təmin edir və termal gərginliyin səbəb olduğu qəfəs uyğunsuzluğunun və ya deformasiyanın qarşısını alır, beləliklə, çiplərin işləməsini təmin edir.

2. Fotovoltaik sənaye

Silikon karbid keramika əla mexaniki gücə, istilik sabitliyinə, yüksək temperatur müqavimətinə, oksidləşmə müqavimətinə, termal şok müqavimətinə və kimyəvi korroziyaya davamlılığa malikdir və metallurgiya, maşınqayırma, yeni enerji və tikinti materialları kimyası kimi məşhur sahələrdə geniş istifadə olunur. Onun performansı fotovoltaik istehsalda diffuziya, LPCVD (aşağı təzyiqli kimyəvi buxar çökmə) və TOPcon hüceyrələri üçün PECVD (plazma kimyəvi buxar çökmə) kimi istilik prosesləri üçün də kifayətdir. Ənənəvi kvars materialları ilə müqayisədə qayıq dayaqları, kiçik qayıqlar və boru məmulatları hazırlamaq üçün istifadə edilən silisium karbid keramika materialları daha yüksək güc, daha yaxşı istilik dayanıqlığı və yüksək temperaturda deformasiyaya məruz qalmaz. Onların istismar müddəti də kvarsdan beş dəfə çoxdur ki, bu da istismar xərclərini və texniki xidmətin dayandırılması səbəbindən enerji itkilərini əhəmiyyətli dərəcədə azaldır. Bu, aydın qiymət üstünlüyü ilə nəticələnir və xammal geniş şəkildə mövcuddur.

3. Üçüncü nəsil yarımkeçiricilər sənayesi

Metal-üzvi kimyəvi buxar çökmə (MOCVD) reaksiya kameralarında, ammonyak (NH3) kimi aşındırıcı qaz mühitlərinə tab gətirən, qallium nitridi (GaN) kimi üçüncü nəsil yarımkeçirici materialların epitaksial böyüməsini dəstəkləyən və LED çiplərinin səmərəliliyini və effektivliyini artırmaq üçün sapfir substratları dəstəkləmək üçün silikon karbid qayıqları istifadə olunur. Silikon karbid monokristal artımında, silisium karbid qayıqları, ərimiş silisiumun yüksək temperaturlu korroziya mühitinə tab gətirərək, silisium karbid monokristallarının böyüməsi üçün sabit dəstək təmin edən və yüksək keyfiyyətli silisium karbidinin tək kristallarının hazırlanmasını təşviq edən silisium karbid tək kristal inkişaf sobalarında toxum kristal dayaqları kimi xidmət edir.

Semicorex yüksək keyfiyyətli SiC keramika təmin edirvafli qayıqlar. Məhsullarımız üstün istilik sabitliyi, uzadılmış xidmət müddəti və müstəsna proses ardıcıllığı təmin etmək üçün hazırlanmışdır. Fərdi həllər və ya əlavə texniki məlumat üçün mühəndis komandamızla əlaqə saxlamaqdan çəkinməyin.

Telefon: +86-13567891907

E-poçt: sales@semicorex.com