Silikon karbid gofret qayıqları nə qədər vacibdir?

Yarımkeçiricilərin istehsalında fotolitoqrafiya və aşındırma kimi əsas texnoloji avadanlıqlarla yanaşı, başqa bir əsas komponent növü prosesin sabitliyində mühüm rol oynayır:vafli qayıq.

Xüsusilə son illərdə yüksək temperatur prosesləri və üçüncü nəsil yarımkeçiricilərin inkişafı ilə silisium karbiddən hazırlanmış silisium karbid vafli qayıqlar sakitcə sənaye standartına çevrilir.

Beləliklə, bu əhəmiyyətsiz görünən komponent yarımkeçirici istehsalında hansı rol oynayır?

01 Vafli qayığın əsas funksiyaları

Vafli qayıq, əsasən yüksək temperaturlu emal avadanlıqlarında istifadə olunan vafliləri saxlamaq üçün istifadə edilən bir proses daşıyıcısıdır.

Yarımkeçirici istehsal prosesində vaflilər diffuziya, oksidləşmə, yumşalma və kimyəvi buxar çökmə (CVD) kimi bir çox istilik emal mərhələsindən keçir. Bu proseslər zamanı vaflilər adətən soba borusu avadanlığına toplu şəkildə emal olunur və vafli qayıq aşağıdakı funksiyaları yerinə yetirir:

- Çoxlu vafliləri dəstəkləmək və sabit aralığı saxlamaq

- Yüksək temperaturlu mühitlərdə vaflilərin mövqe dayanıqlığının təmin edilməsi

- Avadanlıqlarla birlikdə vahid qaz axınının təmin edilməsi

Gofret qayığının strukturu və material xüsusiyyətləri birbaşa istilik sahəsinin paylanmasına və prosesin tutarlılığına təsir göstərir.

02 Silikon karbid qayıqlarının struktur xüsusiyyətləri

Silisium karbid qayıqlarıadətən yüksək struktur sabitliyi təklif edən bir çərçivə dizaynından istifadə edin. Tipik xüsusiyyətlərə aşağıdakılar daxildir:

- Dəqiq vafli yerləşdirmə üçün çox qatlı yuva quruluşu

- Vaflilər arasında asan qaz axını üçün açıq dizayn

- Yüksək temperaturda deformasiya riskini azaltmaq üçün yüksək sərtlik çərçivəsi

Avadanlıq növündən asılı olaraq, qayıqlar şaquli və ya üfüqi strukturlar kimi dizayn edilə bilər və müxtəlif vafli ölçüləri (məsələn, 6 düym, 8 düym, 12 düym) dəstəkləyə bilər.

03 Material seçimi: niyəSilikon karbid?

Yarımkeçirici proseslər daha yüksək temperatura və daha yüksək təmizliyə doğru inkişaf etdikcə, kvars və alüminium oksidi kimi ənənəvi materiallar getdikcə qeyri-kafi olur. Bunun əksinə olaraq, silisium karbid bir neçə performans ölçülərində üstünlüklər təklif edir.

1. Yüksək Temperatur Müqaviməti: Silikon karbid təxminən 1200℃ ilə 1400℃ temperatur diapazonunda yaxşı struktur sabitliyi nümayiş etdirir. Müəyyən yüksək təmizlik və ya xüsusi proses şəraitində, daha yüksək temperatur mühitlərində istifadə edilə bilər. Yüksək temperaturda metal materiallara bənzər ərimə və ya əhəmiyyətli yumşalma hadisələri nümayiş etdirmir.

2. Yüksək istilik keçiriciliyi: Silikon karbid yüksək istilik keçiriciliyinə malikdir, bu da vaflilər arasında temperatur fərqlərini azaltmağa kömək edir və bununla da prosesin tutarlılığını yaxşılaşdırır.

3. Aşağı istilik genişlənmə əmsalı: Silikon karbidin aşağı istilik genişlənmə əmsalı var, bu da istilik və soyutma prosesləri zamanı termal gərginliyin vaflilərə təsirini azaldır.

4. Kimyəvi Sabitlik: Silisium karbid müxtəlif atmosferlərdə, o cümlədən oksidləşdirici və azaldıcı atmosferlərdə yaxşı kimyəvi sabitlik nümayiş etdirir. Bununla belə, o, yüksək temperaturlu oksigen mühitlərində hələ də yavaş oksidləşmə reaksiyasına məruz qalaraq, silikon dioksid qoruyucu təbəqəsini əmələ gətirir.

5. Materialın Saflığına və Çirklənməyə Nəzarət: Yarımkeçirici dərəcəli silisium karbid adətən vafli səthində çirklənmə riskini azaltmaq üçün ciddi nəzarət edilən çirk tərkibinə malikdir. Müxtəlif proses dərəcələrində istifadə olunan materiallar arasında əhəmiyyətli fərqlər var.

04 Tətbiq Sahələri

Silikon karbid qayıqları hazırda bir çox sahələrdə geniş istifadə olunur, o cümlədən:

- İnteqral sxemlərin istehsalında istilik emal

- Güclü yarımkeçirici cihazların istehsalı (məsələn, SiC cihazları)

- Fotovoltaik silikon vaflilərin yüksək temperaturda emalı

- Yarımkeçirici material və proseslərin tədqiqi və inkişafı

Onun üstünlükləri yüksək temperatur, güclü korroziya və ya yüksək təmizlik tələb edən ssenarilərdə daha qabarıq şəkildə özünü göstərir.

Semicorex təklif edirSiC vafli qayıqlar, soba boruları, konsol avarları, yüksək temperaturlu sobalarda və s. Hər hansı bir sualınız varsa və ya əlavə məlumatlara ehtiyacınız varsa, bizimlə əlaqə saxlamaqdan çəkinməyin.

Əlaqə telefonu +86-13567891907

E-poçt: sales@semicorex.com