Vakuum çubuqları və elektrostatik çubuqlar arasındakı fərqlər

Yarımkeçirici istehsalında əvəzolunmaz əsas əlaqələr olaraq, vafli tutma texnologiyasının sabitliyi və dəqiqliyi çip istehsalının səmərəliliyinə və hazır cihazın keyfiyyətinə birbaşa təsir göstərir. Vakuum çubuqları və elektrostatik çubuqlar yarımkeçiricilərin istehsalı üçün iki əsas vafli saxlama həlləridir. Hər ikisi gofret çubuqlarına aid olsa da, struktur, performans xüsusiyyətləri və tətbiq oluna bilən ssenarilərdə çox fərqlənir.

1. Fərqli İş Prinsipləri

Vakuum çubuqlarıvafliləri yerində saxlamaq üçün mənfi təzyiqə etibar edin. Hava vakuum nasosuna qoşulmuş boru kəmərləri vasitəsilə çıxarılır və vaflinin altında mənfi təzyiq əmələ gətirir və vafli və ya alt təbəqələri çuxur səthinə möhkəm yapışdırır. Çakın bazası keramika və ya metaldan dəqiqliklə emal edilib və onun adsorbsiya səthi əsas üzərində əks çuxura quraşdırılmış məsaməli keramika boşqabdan ibarətdir, periferiyası bazaya yapışdırılmış və möhürlənmişdir.  Keramika plitəsinin daxili mikroməsaməli kanalları vasitəsilə vakuum nasosuna qoşulan çubuq atmosfer təzyiqindən xeyli aşağı vakuum zonası yaradır və bununla da vafli möhkəm bərkidilir.

Elektrostatik çəngəllər yüksək performanslı keramika dielektrik təbəqəsi ilə örtülmüş metal bazanın içərisinə daxil edilmiş elektrodları olan əsas strukturu qəbul edir. Onlar iş parçaları üzərində elektrik yükləri yaratmaq üçün səthlərində elektrostatik sahə yaradır, vafliləri və ya substratları sıxmaq üçün elektrostatik cazibə yaradır. Gərginlik tətbiq edildikdə, elektrodlar, keramika dielektrik və arasında güclü elektrostatik sahə əmələ gəlirgofret, sabit vafli fiksasiya üçün bir neçə mindən on minlərlə Paskal tutma qüvvəsini çatdırır.

2. Fərqli Performans Üstünlükləri

Vakuum çubuqları müxtəlif ölçülü vaflilərə və müxtəlif proses proseslərinə uyğundur və emal zamanı vaflilərin sabit bərkidilməsini təmin edir. Elektrostatik çəngəllərlə müqayisədə nisbətən sadə daxili strukturları sayəsində aşağı istehsal və texniki xidmət xərclərinə malikdirlər.

Bununla belə, vaflilər vakuum və ya aşağı təzyiqli mühitdə işləməyi tələb edən proseslərə məruz qaldıqda, məsələn, kimyəvi buxarın çökməsi, təzyiq fərqlərinə əsaslanan vakuum çənləri proses tələblərinə cavab verə bilməz. Bundan əlavə, vakuum çubuqları ilə yerində saxlandıqda, hava təzyiqi vaflinin deformasiyasına səbəb ola bilər ki, bu da emaldan sonra geri dönmə ilə nəticələnə bilər. Bu, dalğavari səthə, zəif düzlüyə və emal edilmiş vaflidə emal dəqiqliyinin azalmasına səbəb ola bilər.

Elektrostatik çəngəllərardıcıl, bərabər paylanmış sıxma qüvvəsi təklif edən təmassız adsorbsiyanı qəbul edin. Bu, vaflinin əyilməsinin, təhrif edilməsinin və zədələnməsinin qarşısını effektiv şəkildə alır, daha yüksək emal dəqiqliyi üçün əla düzlük saxlayır. Temperaturun vahid paylanması üçün helium arxa soyutma ilə təchiz edilmiş elektrostatik çubuqlar vafli temperaturun dəqiq tənzimlənməsini dəstəkləyir.

İşin mənfi tərəfi, elektrostatik çubuqlar səthin hamarlığı, hamarlığı və mikron miqyaslı mikro strukturları üçün son dərəcə ciddi standartlara malik mürəkkəb strukturlara malikdir. Mikro xüsusiyyətlər üçün mikron səviyyəli dəqiqlik xammalın hazırlanması, sinterləmə və səthin işlənməsi zamanı yüksək texniki maneələr yaradır. Temperatur nəzarəti əsas texniki problem olaraq qalır; gücləndirilmiş istilik yayılması üçün alüminium nitrid (AlN) dielektrik ESC-lər daha mürəkkəb istehsal proseslərini əhatə edir. Ciddi çoxölçülü texniki tələblər məhsulun qiymətini artırır və sabit işləməyi təmin etmək üçün elektrostatik sistemlərin müntəzəm yoxlanılması və texniki xidməti məcburidir.

3. Müxtəlif Əsas Tətbiq Sahələri

Yüksək düzlük, üstün paralellik, sıx vahid tekstura, yüksək mexaniki möhkəmlik, vahid hava keçirmə qabiliyyəti və asan yenidən işlənmə ilə vakuum çubuqları metal təbəqələr və plastik altlıqlar kimi düz, yaxşı möhürlənmiş iş parçalarını bərkitmək və nəql etmək üçün istifadə olunur. Yarımkeçiricilərin istehsalı çərçivəsində onlar vaflinin incəlməsi, dilimlənməsi, üyüdülməsi, təmizlənməsi və digər vafli emal proseslərinə xidmət edir, vaflidə boşluqlar, çiplərin elektrostatik parçalanması və hissəciklərin çirklənməsi daxil olmaqla ümumi problemləri effektiv şəkildə həll edir.

Düz, qeyri-keçirici iş parçaları üçün nəzərdə tutulmuş elektrostatik çəngəllər vakuum və plazma mühitlərinə həsr olunmuş ultra təmiz vafli daşıyıcılardır. Onlar plazma və vakuum yarımkeçirici proseslərində, o cümlədən quru aşındırma, PECVD, termal CVD, fiziki buxar çökdürmə (PVD), ion implantasiyası və ekstremal ultrabənövşəyi litoqrafiya (EUVL) da daxil olmaqla geniş şəkildə tətbiq olunur.