Dummy Vaflilərə Qısa Giriş

Qabaqcıl yarımkeçirici istehsalı nazik təbəqənin çökməsi, fotolitoqrafiya, aşındırma, ion implantasiyası, kimyəvi mexaniki cilalama daxil olmaqla bir çox proses addımlarından ibarətdir. Bu proses zamanı hətta prosesdəki kiçik qüsurlar da son yarımkeçirici çiplərin performansına və etibarlılığına mənfi təsir göstərə bilər. Buna görə də, prosesin sabitliyini və ardıcıllığını qorumaq, həmçinin avadanlığın səmərəli monitorinqini aparmaq mühüm problemdir. Dummy vaflilər bu problemlərin öhdəsindən gəlməyə kömək edən mühüm alətlərdir.

Dummy vaflilər faktiki dövrə daşımayan və son çip istehsalı prosesində istifadə edilməyən vaflilərdir. Bunlarvafliyeni, aşağı dərəcəli sınaq vafliləri və ya bərpa edilmiş vaflilər ola bilər. İnteqral sxemlərin istehsalı üçün istifadə edilən bahalı məhsul vaflilərindən fərqli olaraq, onlar adətən yarımkeçiricilərin istehsalı üçün vacib olan müxtəlif qeyri-istehsal üçün istifadə olunur.

Dummy Wafers tətbiqləri

1.Proses Kvalifikasiyası və Tuning

Yeni texnoloji avadanlığın istismara verilməsindən əvvəl, mövcud avadanlıqların təmiri və ya komponentlərinin dəyişdirilməsindən sonra və yeni texnoloji reseptlərin işlənib hazırlanması zamanı olduğu kimi, prosesin sabitliyini və avadanlığın performansına uyğunluğunu təmin etmək üçün bu vəziyyətlərdən əvvəl sınaq üçün adətən istifadə olunur. Avadanlıq performansının yoxlanılması və proses parametrlərinin dəqiq tənzimlənməsi dummy vaflilərdəki emal nəticələrinin təhlili ilə uğurla başa çatdırıla bilər ki, bu da məhsul vaflilərinin itkisini effektiv şəkildə azaldır və müəssisələr üçün istehsal xərclərini azaldır.

2. Avadanlığın Kondisionerləşdirilməsi və İstiləşmə

Bir çox yarımkeçirici texnoloji avadanlıqların (məsələn, kimyəvi buxar çökdürmə (CVD) avadanlığı, fiziki buxar çökdürmə (PVD) avadanlığı və aşındırma maşınları) kamera mühiti emal nəticələrinə əhəmiyyətli dərəcədə təsir göstərir. Məsələn, kameranın daxili divarlarında örtük vəziyyəti və temperatur paylanması sabit bir vəziyyətə çatmalıdır. Saxta vaflilər tez-tez texnoloji kameraları kondisiyalaşdırmaq və kameraların daxili mühitini (məsələn, temperatur, kimyəvi atmosfer və səth vəziyyəti) sabitləşdirmək üçün istifadə olunur ki, bu da avadanlığın optimal vəziyyətdə işləməməsi nəticəsində məhsul vaflilərinin birinci partiyasında proses sapmalarının və ya qüsurların qarşısını effektiv şəkildə alır.

3. Hissəciklərin Monitorinqi və Çirklənməyə Nəzarət

Yarımkeçiricilərin istehsalı son dərəcə yüksək təmizlik tələblərinə malikdir; hətta kiçik hissəciklərin çirklənməsi də çip çatışmazlığına səbəb ola bilər. Avadanlığa daxil olan dummy vaflilərin səthinə yapışan hissəcikləri yoxlamaq yolu ilə avadanlığın təmizliyini qiymətləndirmək olar. Beləliklə, mümkün çirklənmə mənbələrini dərhal müəyyən etməklə və təmizləmə və ya texniki qulluq prosedurlarını yerinə yetirməklə məhsul vafliləri çirklənmədən uğurla qoruna bilər.

4.Paketin vahidliyi üçün yuvanın doldurulması

Proses kamerasında qaz axınına, temperatur paylanmasına və reaktiv konsentrasiyasına nail olmaq üçün tam yüklə işləmə diffuziya sobaları, oksidləşmə sobaları və ya yaş təmizləmə çənləri kimi partiyanın emal avadanlıqlarında ümumi təcrübədir. Saxta vaflilər vafli qayıqda kifayət qədər sayda məhsul vaflisi olmayan boş yuvaları doldurmaq üçün istifadə olunur ki, bu da kənar effekti azalda və bütün məhsul vafliləri, xüsusən də vafli qayığın kənarlarında yerləşənlər üçün ardıcıl emal şəraitini təmin edə bilər.

5.Kimyəvi Mexanik Cilalama (CMP) Proseslərinin Stabilləşdirilməsi

Dummy vaflilər həmçinin prosesin sabitliyini qorumaq üçün CMP prosesinin ilkin emal mərhələsində istifadə edilə bilər. Saxta vaflilərlə qabaqcadan sınaq cilalama padinin pürüzlülüyünü və məsaməliliyini optimallaşdırır, işə salma stabilləşdirmə fazası və ya bağlanmadan əvvəl keçid mərhələsində proses qeyri-müəyyənliklərini minimuma endirir və anormal məhlul təchizatı və baş diafraqmasının aşınması nəticəsində vafli cızıqları və qüsurları azaldır.

Semicorex sərfəli qiymət təklif edirSiC dummy vaflilər. Hər hansı bir sualınız varsa və ya əlavə məlumatlara ehtiyacınız varsa, bizimlə əlaqə saxlamaqdan çəkinməyin.

Əlaqə telefonu +86-13567891907

E-poçt: sales@semicorex.com