Quru aşındırma və yaş aşındırmanın müsbət və mənfi cəhətləri hansılardır?

1. Quru və yaş aşındırma nədir?

Quru aşındırma heç bir mayenin olmadığı bir texnikadır, bunun əvəzinə vafli səthində bərk materialı aşındırmaq üçün plazma və ya reaktiv qazlardan istifadə edilir. Bu üsul, yaş aşındırma istifadə edilə bilməyən DRAM və Flash yaddaş kimi əksər çip məhsullarının istehsalında əvəzolunmazdır. Yaş aşındırma, digər tərəfdən, vafli səthində bərk materialı aşındırmaq üçün maye kimyəvi məhlulların istifadəsini nəzərdə tutur. Bütün çip məhsullarına universal tətbiq olunmasa da, yaş aşındırma vafli səviyyəli qablaşdırmada, MEMS-də, optoelektronik cihazlarda və fotovoltaiklərdə geniş istifadə olunur.

2. Quru və yaş aşındırma xüsusiyyətləri hansılardır?

Əvvəlcə izotrop və anizotrop aşındırma anlayışlarını aydınlaşdıraq. İzotropik aşındırma, daş sakit suya atılan zaman dalğaların bərabər şəkildə yayılmasına bənzər, eyni müstəvidə bütün istiqamətlərdə vahid olan aşındırma sürətinə aiddir. Anizotrop aşındırma o deməkdir ki, aşındırma sürəti eyni müstəvidə müxtəlif istiqamətlərdə dəyişir.

Yaş aşındırma izotropdur. Gofret aşındırma məhlulu ilə təmasda olduqda, aşağıya doğru aşınır və eyni zamanda yanal aşınmağa səbəb olur. Bu yanal aşındırma müəyyən edilmiş xəttin eninə təsir göstərə bilər və bu, əhəmiyyətli aşındırma sapmalarına səbəb ola bilər. Beləliklə, yaş aşındırma, 2 mikrometrdən kiçik xüsusiyyətlər üçün daha az uyğun olmaqla, aşındırma formalarına dəqiq nəzarət etmək çətindir.

Bunun əksinə olaraq, quru aşındırma aşındırma formasına daha dəqiq nəzarət etməyə imkan verir və daha çevik aşındırma üsulları təklif edir. Quru aşındırma həm izotropik, həm də anizotropik aşındırma əldə edə bilər. Anizotrop aşındırma daralmış (bucaq <90 dərəcə) və şaquli profillər (bucaq ≈90 dərəcə) yarada bilər.

Xülasə etmək üçün:

1.1 Quru aşındırmanın üstünlükləri (məsələn, RIE)

İstiqamət: Yüksək istiqamətliliyə nail ola bilər, nəticədə şaquli yan divarlar və yüksək aspekt nisbətləri yaranır.

Seçicilik: Xüsusi aşındırma qazlarını və parametrlərini seçməklə aşındırma seçiciliyini optimallaşdıra bilər.

Yüksək ayırdetmə: incə xüsusiyyətlər və dərin xəndəklərin aşındırılması üçün uyğundur.

1.2 Yaş aşındırmanın üstünlükləri

Sadəlik və sərfəlilik: Aşınma mayeləri və avadanlığı ümumiyyətlə quru aşındırma üçün istifadə olunanlardan daha qənaətlidir.

Vahidlik: Bütün vafli üzərində vahid aşındırma təmin edir.

Mürəkkəb avadanlıq tələb olunmur: Tipik olaraq yalnız daldırma vannası və ya fırlanan örtük avadanlığı tələb olunur.

3. Quru və Yaş Oşlama Arasında Seçim

Birincisi, çip məhsulunun proses tələblərinə əsaslanaraq, yalnız quru aşındırma aşındırma vəzifəsini yerinə yetirə bilərsə, quru aşındırma seçin. Əgər həm quru, həm də yaş aşındırma tələbləri yerinə yetirə bilirsə, iqtisadi cəhətdən səmərəliliyinə görə yaş aşındırma ümumiyyətlə üstünlük təşkil edir. Xəttin eni və ya şaquli/konik açılar üzərində dəqiq nəzarət lazımdırsa, quru aşındırmağa üstünlük verin.

Bununla belə, müəyyən xüsusi strukturlar yaş aşındırma istifadə edərək həkk edilməlidir. Məsələn, MEMS-də həkk olunmuş silisiumun ters çevrilmiş piramida quruluşuna yalnız yaş aşındırma yolu ilə nail olmaq olar.**