SiC Boat nədir və onun müxtəlif istehsal prosesləri hansılardır?

1. Fərqli İstehsal ProsesləriSiC qayıq

(1) Bir təbəqənin örtülməsiSiC filmiiiiqrafitin səthindəkristal qayıqlarCVD vasitəsilə

Bu tip qayıqlar bir hissədə işlənmiş qrafit nüvəyə malikdir. Bununla belə,qrafit məsaməlidirvə zərrəciklərin əmələ gəlməsinə meylli, a-nın tətbiqini zəruri edirSiC filmiiii örtüyüonun səthində. Qrafit gövdəsi ilə istilik genişlənmə əmsalının (CTE) uyğunsuzluğuna görəSiC filmiiii, örtük çox güman ki, çoxlu isitmə və soyutma dövründən sonra soyulur, bu da hissəciklərin çirklənməsinə səbəb olur. Bu qayıqlar ən ucuzdur və təxminən bir il istifadə müddəti var.

(2) Bir təbəqənin örtülməsiSiC filmiiiiyenidən kristallaşdırılmışdırSiC kristal qayıqları

Yenidən kristallaşdırılmışSiC qayıqlarıhəm də məsaməlidir və asanlıqla hissəciklər yarada bilir. Buna görə də fərdi komponentlər yenidən kristallaşırSiC qayıqlarıəvvəlcədən formalaşdırılmalı, sinterlənməlidir və sonra ayrıca emal edilməlidir. Daha sonra komponentlər Si pastası ilə yüksək temperaturda bir-birinə yapışdırılır. Tək bir qayığa yığıldıqdan sonra aSiC filmiiiiCVD vasitəsilə tətbiq edilir. Bu yenidən kristallaşdıSiC qayıqən uzun istehsal prosesinə malikdir və bahalıdır, lakin səthiCVD örtüyüda zədələnə bilər, ömrü təxminən üç ildir.

(3)MonolitSiC kristal qayıqları

Bunlarqayıqlartamamilə SiC materialından ibarətdir. SiC tozu qəliblənməli və monolit qayıq şəklinə salınmalıdır. Çox baha başa gəlir, onlar çox davamlıdır və hissəciklər yaratmaq ehtimalı azdır. Bununla belə, bu qayıqların tərkibində 10-15% sərbəst silisium var ki, bu da flüor və xlorun eroziyaya məruz qalmasına, hissəciklərin çirklənməsinə səbəb olur.

2. Niyə quru təmizləmə tövsiyə edilmir?

Xülasə, üçünSiC qayıqlarıilə örtülmüşdürCVD vasitəsilə SiC filmi, səth örtüyü quru təmizləmə zamanı soyulmağa meyllidir, bu da hissəciklərin çirklənməsinə səbəb olur. Monolit üçünSiC qayıqlarıaz miqdarda sərbəst silisium ehtiva edən, tərkibində flüor və ya xlor olan qazlara məruz qalma eroziyaya və hissəciklərin yaranmasına gətirib çıxara bilər, beləliklə, çirklənməyə səbəb ola bilər.**