Məsaməli qrafit materiallarının SiC kristalının böyüməsi üçün əhəmiyyəti

Semicorex-in SiC kristal inkişaf sobası komponenti,məsaməli qrafit barel, üç əsas fayda gətirəcək və yerli rəqabət qabiliyyətini effektiv şəkildə gücləndirə bilərSiC substratları:

• SiC kristal artım komponentlərinin dəyərini azaltmaq;
• SiC kristalının qalınlığını artırmaq və substratın ümumi dəyərini azaltmaq;
• SiC kristal məhsuldarlığını yaxşılaşdırın və korporativ rəqabət qabiliyyətini artırın.

SiC kristal böyüməsi sobalarına məsaməli qrafit təbəqələrinin əlavə edilməsi sənayedəki qaynar nöqtələrdən biridir. Sübut edilmişdir ki, a daxil etməkləməsaməli qrafitSiC mənbə tozunun üstündəki təbəqələr kristal sahəsində yaxşı kütlə ötürülməsi əldə edilir ki, bu da ənənəvi kristal artım sobalarında mövcud olan müxtəlif texniki problemləri yaxşılaşdıra bilər.

(a) Ənənəvi kristal böyütmə sobası, (b) məsaməli qrafit təbəqəsi olan kristal inkişaf sobası

Mənbə: Dongui Universiteti, Cənubi Koreya

Təcrübələr göstərdi ki, ənənəvi kristal inkişaf sobalarından istifadə edərkən, SiC substratları adətən müxtəlif olurpolimorflar, məsələn, 6H və 15R-SiC, isəSiC substratlarıYalnız məsaməli qrafit əsaslı kristal böyümə sobaları istifadə edərək hazırlanmışdır4H-SiC monokristal. Bundan əlavə, mikrotube sıxlığı (MPD) və aşındırma çuxurunun sıxlığı (EPD) də əhəmiyyətli dərəcədə azalır. İki kristal böyütmə sobasının MPD-si müvafiq olaraq 6-7EA/sm2 və 1-2EA/sm2-dir.6 dəfəyə qədər azaldılır.

Semicorex həmçinin yeni bir "birdəfəlik kütləvi köçürmə" prosesini işə saldıməsaməli qrafit təbəqələr. Məsaməli qrafit çox yaxşıdırtəmizləmə qabiliyyəti. Yeni proses ilkin kütlə ötürülməsi üçün yeni istilik sahəsindən istifadə edir ki, bu da kütlə ötürmə səmərəliliyini yaxşılaşdırır və əsas etibarilə sabit edir, beləliklə, yenidən kristallaşmanın təsirini azaldır (ikincili kütlə ötürülməsindən qaçır), mikrotubulların və ya digər əlaqəli kristal qüsurların riskini effektiv şəkildə azaldır. Bundan əlavə, məsaməli qrafit həm də SiC kristalının böyüməsi və qalınlığı problemini həll etmək üçün əsas texnologiyalardan biridir, çünki o, qaz fazasının komponentlərini balanslaşdıra, iz çirklərini təcrid edə, yerli temperaturu tənzimləyə və karbon sarğı kimi fiziki hissəcikləri azalda bilər. Kristalın istifadə oluna biləcəyini əsas götürərək,kristalın qalınlığıazaltmaq olar. əhəmiyyətli dərəcədə arta bilər.

Texniki xüsusiyyətləriSemicorex məsaməli qrafit:

Gözeneklilik 65%-ə çata bilər;

Məsamələr bərabər paylanır;

Yüksək partiya sabitliyi;

Yüksək möhkəmlik, ≤1mm ultra nazik silindrik formaya çata bilər.

Semicorex yüksək keyfiyyət təklif edirməsaməli qrafithissələri. Hər hansı bir sualınız varsa və ya əlavə məlumatlara ehtiyacınız varsa, bizimlə əlaqə saxlamaqdan çəkinməyin.

Əlaqə telefonu +86-13567891907

E-poçt: sales@semicorex.com