CVD üsulu ilə TaC örtüyü

Tantal karbid örtüyü 4273 °C-ə qədər ərimə nöqtəsi olan mühüm yüksək güclü, korroziyaya davamlı və kimyəvi cəhətdən sabit yüksək temperaturlu struktur materialdır, ən yüksək temperatur müqavimətinə malik bir neçə birləşmədən biridir. Mükəmməl yüksək temperaturda mexaniki xüsusiyyətlərə, yüksək sürətli hava axınına qarşı müqavimətə, ablasyon müqavimətinə və qrafit və karbon/karbon kompozitləri ilə yaxşı kimyəvi və mexaniki uyğunluğa malikdir. Buna görə, GaN LED-lərinin və MOCVD kimi SiC güc cihazlarının epitaksial prosesində TaC örtüyü H2, HCl, NH3-ə əla turşu və qələvi müqavimətinə malikdir, bu da qrafit substrat materialını tamamilə qoruya və böyümə mühitini təmizləyə bilər.

TaC örtüyü 2000 °C-dən yuxarı temperaturda sabit qalır, SiC örtüyü isə 1200-1400 °C-də parçalanmağa başlayır ki, bu da qrafit substratın bütövlüyünü əhəmiyyətli dərəcədə yaxşılaşdıracaqdır. Tantal karbid örtükləri hazırda qrafit substratlarda əsasən CVD ilə hazırlanır və TaC örtüklərinin istehsal gücü SiC güc cihazları və GaNLEDs epitaksial cihazlarına olan tələbatı ödəmək üçün daha da artırılacaqdır.

Kimyəvi buxar çökdürmə (CVD) ilə karbon materialları üzərində tantal karbid örtüklərinin çökdürülməsi üçün istifadə olunan kimyəvi reaksiya sistemi TaCl5, C3H6, H2 və Ar-dır, burada Ar seyreltmə və daşıyıcı qaz kimi istifadə olunur.

Tantal karbid örtükləri MOCVD istifadə edərək GaN LED-lərin və SiC güc cihazlarının epitaksial prosesində əsas rol oynayır. Qabaqcıl materiallar həyati vacib komponentləri qoruyur, onların uzunömürlülüyünü və yüksək temperaturlu yarımkeçiricilərin istehsalı ilə bağlı sərt şəraitdə performansını təmin edir.

SiC güc cihazlarına və GaN LED-lərə tələb artmağa davam etdikcə, tantal karbid örtüklərinin istehsal gücü genişlənəcəkdir. İstehsalçılar yüksək temperatur texnologiyasının təkamülünü asanlaşdıraraq, bu sənayelərin artan tələblərinə cavab verməyə hazırdırlar.

Yekun olaraq,tantal karbid örtükləriyüksək temperaturlu mühitlərdə materialların davamlılığının və etibarlılığının təmin edilməsində inanılmaz texnoloji sıçrayışı təmsil edir. Yarımkeçiricilər və enerji elektronikası sektorlarında inqilab etməyə davam etdikcə, bu örtüklər onların müasir yüksək texnologiyalı irəliləyişlərin mühüm elementi statusunu vurğulayır.