SiC ilə örtülmüş qrafit həssasları hansılardır?

SiC vafliləri dəstəkləyən nimçə (əsas), həmçinin "icraçı," yarımkeçiricilər istehsalı avadanlığının əsas komponentidir. Və vafliləri daşıyan bu sensor tam olaraq nədir?

Gofret istehsalı prosesində cihazın istehsalı üçün substratların epitaksial təbəqələrlə daha da qurulması lazımdır. Tipik nümunələrə daxildirLED emitentlər, silikon substratların üstündə GaAs epitaksial təbəqələri tələb edən; keçirici SiC substratlarında, yüksək gərginlikli və yüksək cərəyan tətbiqlərində istifadə olunan SBD və MOSFET kimi cihazlar üçün SiC epitaksial təbəqələri yetişdirilir; haqqındayarı izolyasiya edən SiC substratları, GaN epitaksial təbəqələri rabitə kimi RF proqramlarında istifadə olunan HEMT kimi cihazları qurmaq üçün qurulur. Bu proses CVD avadanlığından çox asılıdır.

CVD avadanlıqlarında substratlar birbaşa metal və ya epitaksial çökmə üçün sadə bazaya yerləşdirilə bilməz, çünki o, qaz axınının istiqaməti (üfüqi, şaquli), temperatur, təzyiq, sabitlik və çirkləndiricilərin çıxarılması kimi müxtəlif təsir edən amilləri əhatə edir. Buna görə də, CVD texnologiyasından istifadə etməzdən əvvəl substratın üzərində epitaksial təbəqələri yerləşdirmək üçün substratın yerləşdirildiyi bir baza lazımdır. Bu baza kimi tanınırSiC örtüklü qrafit qəbuledicisi(həmçinin əsas/tap/daşıyıcı adlanır).

SiC ilə örtülmüş qrafit tutucular monokristal substratları dəstəkləmək və qızdırmaq üçün metalüzvi kimyəvi buxar çökmə (MOCVD) avadanlıqlarında adətən istifadə olunur. SiC ilə örtülmüş qrafit tutucuların istilik sabitliyi və vahidliyi epitaksial materialın böyüməsinin keyfiyyətinin müəyyən edilməsində həlledici rol oynayır və onları MOCVD avadanlıqlarının kritik komponentlərinə çevirir.

MOCVD texnologiyası hazırda mavi LED istehsalında GaN nazik film epitaksiyasının artırılması üçün əsas texnikadır. O, sadə əməliyyat, idarə oluna bilən böyümə sürəti və istehsal olunan GaN nazik filmlərin yüksək təmizliyi kimi üstünlüklər təklif edir. MOCVD avadanlığının reaksiya kamerasının içərisində mühüm komponent kimi GaN nazik təbəqəsinin epitaksial böyüməsi üçün istifadə edilən susseptorlar yüksək temperatur müqavimətinə, vahid istilik keçiriciliyinə, yaxşı kimyəvi sabitliyə və istilik şokuna güclü müqavimətə malik olmalıdır. Qrafit materialları bu tələblərə cavab verə bilər.

Qrafit qəbulediciləri MOCVD avadanlığının əsas komponentlərindən biridir və nazik təbəqə materiallarının vahidliyinə və təmizliyinə bilavasitə təsir edən substrat vafliləri üçün daşıyıcı və istilik yayıcı kimi xidmət edir. Nəticə etibarı ilə onların keyfiyyəti Epi-Vafferlərin hazırlanmasına birbaşa təsir göstərir. Bununla belə, istehsal zamanı qrafit aşındırıcı qazların və qalıq metalüzvi birləşmələrin olması səbəbindən korroziyaya uğraya və parçalana bilər ki, bu da qrafit həssaslarının ömrünü əhəmiyyətli dərəcədə azaldır. Bundan əlavə, düşmüş qrafit tozu çiplərdə çirklənməyə səbəb ola bilər.

Kaplama texnologiyasının ortaya çıxması bu problemin həllini səth tozunun fiksasiyası, gücləndirilmiş istilik keçiriciliyi və balanslaşdırılmış istilik paylanması təmin edir. MOCVD avadanlığı mühitində istifadə olunan qrafit həssaslarının səthindəki örtük aşağıdakı xüsusiyyətlərə malik olmalıdır:

1. Qrafit əsasını yaxşı sıxlıqla tam əhatə etmək qabiliyyəti, çünki qrafit qəbuledicisi aşındırıcı qaz mühitlərində korroziyaya həssasdır.

2. Çoxlu yüksək temperatur və aşağı temperatur dövrlərindən sonra örtünün asanlıqla qopmamasını təmin etmək üçün qrafit qəbuledicisi ilə güclü birləşmə.

3. Yüksək temperatur və aşındırıcı atmosferlərdə örtüyün təsirsiz olmasının qarşısını almaq üçün əla kimyəvi sabitlik. SiC korroziyaya davamlılıq, yüksək istilik keçiriciliyi, istilik şokuna qarşı müqavimət və yüksək kimyəvi sabitlik kimi üstünlüklərə malikdir, bu da onu GaN epitaksial atmosferlərində işləmək üçün ideal edir. Bundan əlavə, SiC-nin istilik genişlənmə əmsalı qrafit əmsalı ilə çox yaxındır və bu, onu qrafit həssaslarının səthini örtmək üçün üstünlük təşkil edən material halına gətirir.

Semicorex CVD SiC örtüklü qrafit qəbulediciləri istehsal edir, vafli qayıqlar, konsol avarları, borular və s. kimi fərdi SiC hissələri istehsal edir. Əgər hər hansı bir sorğunuz varsa və ya əlavə məlumatlara ehtiyacınız varsa, bizimlə əlaqə saxlamaqdan çəkinməyin.

Əlaqə telefonu +86-13567891907

E-poçt: sales@semicorex.com