Yarımkeçirici kvars soba boruları necə istehsal olunur?

Yarımkeçiricikvars soba borularıdiffuziya, oksidləşmə və yumşalma kimi əsas yarımkeçirici istehsal proseslərində geniş istifadə olunan vacib komponentlərdir. Uzun müddət yüksək temperatura, sıx təzyiqə və iş mühitinin ciddi korroziyasına məruz qaldıqda belə, fiziki və kimyəvi xüsusiyyətlərini sabit saxlamalıdır. Yarımkeçirici istehsal prosesində kvars soba borusunun keyfiyyəti yarımkeçirici cihazların işinə və məhsuldarlığına birbaşa təsir göstərir. Bu səbəbdən kvars soba borularının istehsal prosesi çox vacibdir.

Kvars soba borularının əsas istehsal prosesləri

1. Xammalın seçilməsi

Kvars soba boruları ilk növbədə həm təbii, həm də sintetik formada mövcud olan yüksək təmizlikli silikon dioksiddən hazırlanır. Kvars soba borularının əla optik, istilik və kimyəvi performansını təmin etmək üçün yüksək təmizlikli xammallar vacibdir. Xüsusilə yarımkeçiricilər kimi yüksək dəqiqlikli sahələrdə xammaldakı çirklərin, xüsusən də metal ionlarının (məsələn, dəmir, alüminium, natrium və s.) tərkibinə olan tələblər son dərəcə sərtdir və ppm səviyyəsində nəzarət edilməlidir.

2. Əritmə və qəlibləmə

Seçildikvarstoz və ya parçalar vahid ərimiş kvars mayesini yaratmaq üçün 2000°C-dən yuxarı yüksək temperaturlu sobada əridilir. Oksidləşmə və çirklənmə ilə bağlı qüsurların qarşısının effektiv şəkildə alınması üçün bu proses zamanı dəqiq temperatur nəzarəti və xüsusi atmosfer mühiti (məsələn, vakuum və ya inert qaz) çox vacibdir. Ərinmiş kvars mayesi daha sonra xüsusi rəsm avadanlığı və ya boru çəkmə maşınları kimi qəliblərdən istifadə edərək davamlı olaraq borulara çevrilir.

3. Kəsmə və son üzün işlənməsi

Formalanmış kvars boruları adətən almaz kəsicilər və ya lazer kəsicilər kimi kəsici avadanlıq vasitəsilə tələb olunan uzunluğa kəsilir. Borunun kəsilmiş ucları kobud olur, ona görə də səthin hamarlığını və düzlüyünü təmin etmək üçün incə daşlama lazımdır. Mexanik cilalama və ya kimyəvi cilalama prosesləri adətən kəsmə nəticəsində yaranan buruqları və mikro çatları aradan qaldırmaq üçün qəbul edilir ki, bu da borunun uclarının yüksək dəqiqlikli düzlük standartlarına cavab verməsini və yarımkeçirici proseslərin vakuum-möhürləmə tələblərini təmin edə bilər.

4. Qaynaq yığılması

Kəsilmiş kvars boruları yüksək temperaturda sobanın özəyi boruları, flanşları və egzoz boruları ilə qaynaqlanmalıdır ki, müştərinin fərdi cizgilərinə uyğun olsun. Qaynaq montajından sonra kvars borusunun ağ oksid təbəqəsi yüksək temperaturda cilalama yolu ilə çıxarılmalıdır. Bu təbəqə kvars borusu yüksək temperaturda əridildikdən sonra soyutma prosesi zamanı əmələ gəlir. Özlüyündə zərərsiz olsa da, kvars məhsulunun işıq keçiriciliyinə, düzlüyünə və hamarlığına təsir göstərir. Yüksək temperaturda cilalama oksid təbəqəsini effektiv şəkildə aradan qaldıra bilər, nəticədə şəffaf və təmiz borular əldə edilir.

5. Qızartma müalicəsi

Kvars borularında formalaşdırma, kəsmə, qaynaq yığma və cilalama proseslərindən sonra daxili gərginlik yaranır ki, bu da onların mexaniki gücünə və istilik sabitliyinə təsir edə bilər. Beləliklə, bütün yüksək temperaturda hazırlanmış kvars hissələri bu cür daxili gərginliyi aradan qaldırmaq üçün istilik müalicəsi və tavlamadan keçməlidir.

6. Keyfiyyətin yoxlanılması

Kvars soba borularının bütün istehsal prosesində hazır məhsulun standartlara cavab verməsini təmin etmək üçün ciddi çoxtərəfli sınaq tələb olunur. Təftişlərə daxili gərginlik (aşkar gərginlik xətləri üçün qütblü işıqla yoxlanılır), ölçü dəqiqliyi (xarici diametr, divar qalınlığı və uzunluq üçün tolerantlıq nəzarəti kimi), səthin keyfiyyəti (pürüzlülük, qüsurların olması və s.), mexaniki xassələri (güc, sərtlik və s.) və təmizlik (çirklərdən və qabarcıqlardan azad daxili divar) daxildir.