Yarımkeçirici və optik texnologiyaların inkişafı ilə,şüşə vaflilərşüşə məmulatının yeni növü kimi, yüksək texnologiya sahəsində böyük potensial nümayiş etdirərək, tədricən silikon vafliləri tamamlayır. Şüşə vaflilər nədir? Şüşə vaflilər adətən kvars şüşəsi, qələvisiz şüşə və ya şüşə-silikon kompozitlərdən hazırlanmış yüksək performanslı dairəvi nazik dilimlərdir. Mükəmməl fiziki və kimyəvi xassələri ilə onlar yarımkeçiricilər istehsalı, optika, MEMS, istehlakçı elektronikası, biotibb və laboratoriya tədqiqatları kimi qabaqcıl istehsal sahələrində əvəzolunmaz rol oynayırlar.
Şüşə vafli üçün əsas materiallar
1.Uzaq ultrabənövşəyi kvars şüşəsi
Uzaq ultrabənövşəyikvarsşüşə kimyəvi buxar çökmə prosesi ilə istehsal olunur, burada qaz halında olan silisium tetraxlorid amorf silikon dioksidi yaratmaq üçün oksihidrogen alovunda qaz faza reaksiyasına məruz qalır, daha sonra tədricən böyümə və formalaşma üçün kvars substratına yerləşdirilir. Bu materialın tərkibində çoxlu miqdarda hidroksil qrupları (950-1400 ppm), az miqdarda metal çirkləri 0,2 ppm-dən azdır. Anti-radiasiya xüsusiyyətləri, optik vahidlik və yüksək ultrabənövşəyi keçiricilik (xüsusilə uzaq ultrabənövşəyi bölgədə) kimi əla xüsusiyyətləri sayəsində uzaq ultrabənövşəyi kvars şüşəsi uzaq ultrabənövşəyi optika sahəsində tətbiqlərdə geniş şəkildə tətbiq olunur.
Bununla belə, uzaq ultrabənövşəyi kvars şüşəsinin geniş miqyasda tətbiqi müəyyən dərəcədə hazırlıq prosesi zamanı yaranan zolaq qüsurları, iri ölçülü və mürəkkəb formalı məhsulların qəliblənməsinin çətinliyi və nisbətən yüksək istehsal dəyəri kimi amillərlə məhdudlaşır.
2.Ultrabənövşəyi optik kvars şüşəsi:
Ultrabənövşəyi optik kvars şüşəsi alovla birləşmə prosesi vasitəsilə təbii kristalın oksihidrogen alovu ilə əridilməsi, sonra əridilmiş silisium şüşəsi hədəflərinin səthində çökməsi ilə istehsal olunur. 150-400 ppm hidroksil tərkibli ultrabənövşəyi optik kvars şüşəsi yüksək ultrabənövşəyi keçiricilik, güclü kimyəvi dayanıqlıq, yaxşı termal dayanıqlıq və yüksək mexaniki möhkəmlik kimi müstəsna üstünlüklər təklif edir. Yetkin istehsal prosesindən və yüksək iqtisadi səmərəliliyindən faydalanaraq, ultrabənövşəyi optik kvars şüşəsi elektronika və yarımkeçirici sənayedə geniş istifadə olunur.
Bununla belə, ultrabənövşəyi optik kvars şüşəsi zəif optik vahidliyə malikdir və optik təsvirin keyfiyyətinə və lazer ötürülməsinin sabitliyinə təsir göstərə bilən zolaqlar və mikro qabarcıqlar kimi mikroskopik qüsurları ehtiva edə bilər.
3. İnfraqırmızı optik kvars şüşəsi:
İnfraqırmızı optik kvars şüşəsi vakuum elektrofüzyon prosesindən istifadə edərək kristal tozun əriməsi ilə istehsal olunur. Bu material aşağı hidroksil tərkibinə malikdir (<5ppm), bu da üstün infraqırmızı keçiriciliyə səbəb olur. Üstün infraqırmızı keçiriciliyi, yaxşı kimyəvi xüsusiyyətləri və yüksək mexaniki gücü və yetkin istehsal texnologiyası sayəsində infraqırmızı optik kvars şüşəsi infraqırmızı optika tətbiqlərində geniş istifadə olunur.
Bununla belə, infraqırmızı optik kvars şüşəsi yüksək metal çirkləri ehtiva edir və nisbətən aşağı lazer zədələnmə həddinə malikdir, bu da onu yüksək enerji sıxlığı lazer tətbiqləri və son dərəcə yüksək uzaq ultrabənövşəyi işıq keçiriciliyi tələb edən ssenarilər üçün yararsız edir.