Quru ilişmə üçün silikon komponentləri

Quru ilişmə avadanlığı etching üçün nəm kimyəvi maddələrdən istifadə etmir. Bu, ilk növbədə kiçik bir delik olan yuxarı elektrod vasitəsilə kameraya bir qazlı bir etchant təqdim edir. Üst və alt elektrodlar tərəfindən yaranan elektrik sahəsi, qazlı etchant ionlaşdırır, daha sonra voletile maddələr istehsal edən, boşaldır. Bu dəyişkən maddələr daha sonra incə otağından çıxarılır, interching prosesini tamamlayır.

Quru ilişmə reaksiyası, ilk növbədə olan bir proses kamerasında baş verirsilikon komponentləri, bir silikon egzoz ring, bir silikon xarici üzük, bir silikon duş başlığı, bir silikon fokus halqası və bir silikon qalxan halqası da daxil olmaqla.

Quru bir otaqlı kamerada, bir silikon vafi adətən bir silikon fokus halqasına yerləşdirilir. Bu birləşmə, ayırma otağının altından yerləşən müsbət elektrod kimi xidmət edir. Palatanın üstündə olan sıx bir şəkildə dolu olan delikləri olan bir silikon disk, mənfi elektrod kimi xidmət edir. Bir silikon xarici üzük yuxarı elektrod və digər əlaqəli komponentləri dəstəkləyir. Üst və alt elektrodlar plazma ilə birbaşa təmasdadır. Plazma silikon vafleri etmələri kimi, üst və alt silikon elektrodları da aşır. Aşağı elektrod (diqqətli üzük), qalınlıq müəyyən bir səviyyəyə çatdıqda dəyişdirilməsini tələb edən intersing prosesi zamanı tədricən osur. Bundan əlavə, yuxarı elektroddakı vahid paylanmış deliklər (duş başlığı) plazma tərəfindən korlanır, deşik ölçüsündə dəyişkənliklərə səbəb olur. Bu dəyişikliklər müəyyən bir səviyyəyə çatdıqdan sonra əvəz edilməlidir. Tipik olaraq, hər 2-4 həftəlik istifadə bir dəyişdirmə dövrü tələb olunur.

Bu bölmə, silikon fokuslanan üzük (alt elektrod) rolunu xüsusi olaraq izah edir. Bu plazma qabığının qalınlığını idarə edir, bununla da ion bombardmanının vahidliyini optimallaşdırır. Plazma və gəmi divarları arasındakı neytral bölgə olan plazma örtüyü plazma daxilində çox vacib və bənzərsiz bir bölgədir. Plazma bərabər sayda müsbət ion və elektronlardan ibarətdir. Elektriklər ionlardan daha sürətli səyahət etdikləri üçün əvvəlcə gəmi divarına çatırlar. Plazma, gəmi divarına nisbətən müsbət yüklənir. Qalan elektrik sahəsi, ionlara yüksək enerji verən plazma (müsbət mənfi cazibə) içərisində ionları sürətləndirir. Bu yüksək enerji ion axını örtük, yapışdırmağa və tırpıltı təmin edir.

Qonqarın əlverişsizliyi plazma qabığının qalınlığına təsir göstərir (empeuss, qabığın daha qalınlaşdırılması). Offerin mərkəzindəki maneə kənarda, nəticədə kənarda qeyri-bərabər plazma qabığı qalınlığı ilə nəticələnir. Bu qeyri-bərabər plazma örtüyü ionları sürətləndirir, eyni zamanda ion bombardman nöqtəsini də azaldır, etching dəqiqliyini azaldır. Buna görə də, plazma qabığını qalınlığını idarə etmək, bununla da ion bombardman istiqamətini optimallaşdırmaq və ayırma dəqiqliyini yaxşılaşdırmaq üçün diqqətli bir üzük lazımdır.

Nümunə olaraq vaftanın ətrafında diqqət mərkəzində olan kvars, yüksək təmizliyi olan kvars, aşağı metal çirklənmənin əldə edilməsi üçün optimaldır, qısa ömrü ilə nəticələnən flüorid qaz plazmasında sürətlə dəyişir. Bu, yalnız xərcləri artırmır, həm də avadanlıqların iş vaxtını azaltmaqla əvəz edilməsi üçün iş vaxtı tələb edir. Keramika, kifayət qədər uzun bir ömrü olan, yüksək enerji ion bombardmasına məruz qalır. Sputtered Alüminium, uçucu olmayan fluoridlər (alüminium flüorid kimi) meydana gətirmək üçün plazmadan flüor ilə reaksiya verir. Bunlar cihaz səthinə və ya fotorezistə aparılmasa, vafli kənarında fotorezistə qoyulmasa, məhsul gəlirliliyinə təsir edən yaranan flüoridlərin və fotorezistlərin sonrakı çıxarılmasına mane olurlar. Daha uyğun materiallar tək kristal silikon və ya silikon karbiddir. Bununla birlikdə, tək kristal silikon ucuzdur, lakin qısa bir ömrü var, silikon karbid daha bahalıdır, lakin bir az daha uzun ömrü var. Bu iki seçim arasındakı ticarətin konkret hallardan asılıdır. Məsələn, avadanlıq istifadəsi yüksəkdirsə və iş vaxtı kritikdirsə, silikon karbiddən istifadə edilməlidir. Əgər komponentin aşınması və gözyaşardıcı xərcləri çox yüksək deyilsə, tək kristal silikon istifadə edilməlidir.

Semikorex yüksək keyfiyyətli təklif edirSilikon hissələri. Hər hansı bir sualınız varsa və ya əlavə məlumatlara ehtiyacınız varsa, zəhmət olmasa bizimlə əlaqə qurmaqdan çəkinməyin.

Əlaqə Telefon # + 86-13567891907

Email: sales@semmorex.com