SOI nədir

Silikon-on-izolyator (SOI) nanotexnologiya dövründə mövcud monokristal silisium materiallarını əvəz etmək üçün həllərdən biri kimi tanınır və Mur Qanunu tendensiyasını saxlamaq üçün əsas vasitədir. Ənənəvi toplu substrat silikonunu "mühəndisləşdirilmiş" substratla əvəz edən bir substrat texnologiyası olan silikon-on-izolyator, SOI-nin əla olması səbəbindən unikal üstünlüklərə malik olduğu hərbi və kosmik elektronika sistemləri kimi xüsusi tətbiqlərdə 30 ildən artıqdır istifadə olunur. radiasiya müqaviməti və yüksək sürət xüsusiyyətləri.

SOI materialları SOI texnologiyasının inkişafı üçün əsasdır və SOI texnologiyasının inkişafı SOI materiallarının davamlı inkişafından asılıdır. Aşağı qiymətli, yüksək keyfiyyətli SOI materiallarının olmaması SOI texnologiyasının geniş miqyaslı sənaye istehsalına daxil olması üçün əsas məhdudiyyət olmuşdur. Son illərdə, SOI materialının hazırlanması texnologiyasının yetkinliyi ilə, SOI texnologiyasının inkişafını məhdudlaşdıran maddi problem tədricən həll olunur, nəticədə iki növ SOI materialının hazırlanması texnologiyası, yəni Speration-by-oksigen implantasiyası (SIMOX) daxildir. və yapışdırma texnologiyası. Bonding texnologiyasına ənənəvi Bond and Etch back (BESOI) texnologiyası və SOITEC-in Fransada təsisçilərindən biri olan M. Bruel tərəfindən təklif olunan hidrogen ionunun vurulması və bağlanmasını birləşdirən Smart-cut texnologiyası, həmçinin Simbond SOI materialının hazırlanması daxildir. 2005-ci ildə Dr. Meng Chen tərəfindən təklif edilən oksigen izolyasiyası və bonding. Yeni texnologiya oksigen inyeksiyasının izolyasiyasını və bağlanmasını birləşdirir.