Niyə SiC ilə örtülmüş qrafit reseptorlarını seçirsiniz?

Qrafit qəbuledicisiMOCVD avadanlığının əsas hissələrindən biridir, vafli substratın daşıyıcısı və qızdırıcısıdır. Onun istilik dayanıqlığı və istilik vahidliyi xassələri vafli epitaksial böyümənin keyfiyyətində həlledici rol oynayır ki, bu da təbəqə materiallarının vahidliyini və saflığını birbaşa təyin edir, nəticədə keyfiyyəti epitaksiyanın hazırlanmasına birbaşa təsir göstərir. Bu arada, istifadə sayının artması və iş şəraitinin dəyişməsi ilə itirmək çox asandır və istehlak materiallarına aiddir. Qrafitin əla istilik keçiriciliyi və sabitliyi onu yaxşı bir üstünlük halına gətirirMOCVD avadanlığı üçün əsas komponent. Ancaq yalnız təmiz qrafit istifadə edilərsə, bəzi problemlərlə üzləşəcəkdir. İstehsal prosesində aşındırıcı qaz və metal üzvi qalıqları olacaq və qrafit bazası korroziyaya uğrayacaq və tozdan düşəcək, bu da tozun xidmət müddətini xeyli azaldır.qrafit qəbuledicisi, və düşmüş qrafit tozu da çipin çirklənməsinə səbəb olacaq, buna görə də bazanın hazırlanması prosesində də Bu problemlər bazanın hazırlanması zamanı həll edilməlidir. Kaplama texnologiyası səthin toz fiksasiyasını təmin edə, istilik keçiriciliyini artıra və bu problemi həll etmək üçün əsas texnologiyaya çevrilən istilik paylanmasını bərabərləşdirə bilər. Əsas texnologiya bu problemi həll etməkdir. Tətbiq mühitinə və tələblərinə uyğun olaraqqrafit həssasları, səth örtüyü aşağıdakı xüsusiyyətlərə malik olmalıdır.

Yüksək sıxlıqlar və tam sarma: bütövlükdə qrafit bazası yüksək temperaturda, aşındırıcı iş mühitindədir, səth tam bükülməlidir, örtük isə yaxşı qoruyucu rol oynamaq üçün yaxşı sıxlığa malik olmalıdır.

Yaxşı səth hamarlığı: Tək kristalların böyüməsi üçün istifadə olunan qrafit bazası çox yüksək səth hamarlığını tələb etdiyindən, örtük hazırlandıqdan sonra təməlin orijinal hamarlığı qorunmalıdır, yəni örtük səthi vahid olmalıdır.

Yaxşı yapışma gücü: Qrafit bazası və örtük materialı arasındakı istilik genişlənmə əmsalı fərqinin azaldılması, onların arasında bağlanma gücünü effektiv şəkildə yaxşılaşdıra bilər və örtük yüksək və aşağı temperaturlu termal dövrlərdən sonra çatlamaq asan deyil.

Yüksək istilik keçiriciliyi: Yüksək keyfiyyətli çip böyüməsi qrafit bazasından sürətli və vahid istilik tələb edir, buna görə örtük materialı yüksək istilik keçiriciliyinə malik olmalıdır.

Yüksək ərimə nöqtəsi, yüksək temperaturda oksidləşmə və korroziyaya davamlılıq: Kaplama yüksək temperatur və korroziyalı iş mühitlərində sabit işləməyi bacarmalıdır.