Silikon karbid vafli qayıq

Wafer İstehsalatdakı hər yüksək temperaturlu bir prosesin arxasında səssiz, lakin vacib bir oyunçu var: gofret gəmi. Vulet emalı zamanı birbaşa silikon vafleri ilə birbaşa əlaqə quran əsas daşıyıcı, onun maddi, sabitliyi və təmizliyi son çip məhsuldarlığı və proses sabitliyi ilə birbaşa əlaqəlidir. Müxtəlif daşıyıcı materiallar arasında,silikon karbid (sic)Qayıqlar tədricən inkişaf etmiş proseslər və yüksək səviyyəli avadanlıqlar üçün ənənəvi kvars həllərini əvəz edir.

Niyə SIC gofret gəmiləri?

7nm-dən aşağı proses qovşaqlarının irəliləməsi və yüksək temperaturlu proses pəncərələrinin genişlənməsi, ənənəvi kvars vafli gəmiləri getdikcə istilik sabitliyi, hissəciklərin nəzarəti və ömrünün idarə edilməsi baxımından daha çox mübarizə aparır.

Silikon karbidli vafli qayıqlar, tədricən aşağıdakı üstünlüklərə görə şöhrət qazanır:

1. Yüksək temperaturda:

1350-1600 ° C-dən uzunmüddətli əməliyyat temperaturu təklif edirlər, asanlıqla CVD, yayılma və ilahi kimi əsas prosesləri asanlıqla idarə edirlər. Hətta 1800 ° C temperaturuna qısa məruz qalma, yumşaldıcı və deformasiya göstərir, tək kristal silikon karbid sobaları kimi yüksək səviyyəli avadanlıqlara uyğundur.

2.Çox genişlənmə və yüksək istilik şok sabitliyi:

İstilik genişləndirilməsi aşağı bir əmsalı ilə, onlar sürətli temperaturun artırılmasına və termal stres nəticəsində yaranan struktur krakinqin azaldılmasına, azaldılmasına və azaldığını izləyə bilərlər. Yüksək temperatur, mürəkkəb atmosferlərdə (məsələn, hidrogen, azot, ammonyak və flüoridlər) əla morfologiyasını və performansını qoruyurlar.

3.Clean səthi və son dərəcə aşağı çirklənmə:

Minimum metal çirkləri olan yüksək material saflığı. Silikon wafters ikincil çirklənməsinin qarşısını alan aşağı səth pürüzü; Əla səth pürüzlülük idarəsi, 0.1μm-dən aşağı olan RA ilə, hissəcik tökülməsini bastır və qabaqcıl proseslərin təmizlik tələblərinə cavab verir;

4. Bir parça qəlibləmə, dəqiq işlənmiş vafli gəmi quruluşları kalıcı ilə birbaşa formalaşmaq olar3D çapXüsusi səmərəliliyini əhəmiyyətli dərəcədə yaxşılaşdırmaq üçün qəliblərə ehtiyacın aradan qaldırılması; Beş oxlu işləmə və tel kəsmə texnologiyası ilə birləşdirilmiş, gəminin dişləri burr-sərbəstdir, boşqablarda cızıqların qarşısını alır və hamar avtomatlaşdırılmış işləməyi təmin edir;

5. Yüksək güc və uzun ömür: 

Tək bir qayıq yüksək yük daşıyan güclə öyünür və eyni vaxtda yüzlərlə 12 düymlük boşluqlara onlarla dəstək ola bilər. Ənənəvi kvars qayıqları ilə müqayisədə, gəminin orta ömrü 5-10 dəfə uzun, avadanlıq dəyişdirmə tezliyi və mülkiyyətin ümumi dəyəri azaldır.

Tətbiq ssenarisi

Geniş uyğunlaşma qabiliyyətiSilikon karbid vafli qayıqlarYarımkeçirici sahədən kənarda, yeni enerji materialları, o cümlədən yeni enerji materialları, LED istehsal və nüvə enerji tədqiqatları da daxil olmaqla müxtəlif yüksək temperaturlu ssenarilərə qədər genişlənir.

Yarımkeçirmə sənayesi

Oksidləşmə, diffuziya, CVD çökmə və ion implantasiyası kimi əsas proseslər üçün uygundur.

Fotovoltaik sənayesi

Topcon və HJT kimi ortaya çıxan batareya texnologiyalarında, gofret gəmiləri, enerji səmərəliliyini və dönüşüm nisbətlərini yaxşılaşdırmağa kömək edən LPCVD və Təmizləmə kimi yüksək temperaturlu soba proseslərində istifadə olunur.

Üçüncü nəsil yarımkeçiricilər

LED-lərdə GAN və SIC Epitaxial böyümə prosesləri üçün Sapphire və ya silikon karbid substratlarını dəstəkləyirlər. Yüksək tezlikli elektrik cihazlarının istehsalını dəstəkləyən Nh₃ və HCL kimi korroziv qazlara tab gətirirlər.

Yeni enerji materialları və tədqiqat yüksək temperatur platforması

Litium batareyanın katod materiallarının sineki reaksiyasını və nüvə sənayesi materiallarının istilik müalicəsi, istilik müqavimətini, korroziya müqavimətini və təmizliyini birləşdirir.

Semikorex yüksək təmizlik təklif edirXüsusi SIC gofrer qayıqları. Hər hansı bir sualınız varsa və ya əlavə məlumatlara ehtiyacınız varsa, zəhmət olmasa bizimlə əlaqə qurmaqdan çəkinməyin.

Əlaqə Telefon # + 86-13567891907

Email: sales@semmorex.com