CVD sobasının müzakirəsi

a nədirCVD sobası?

CVD (Kimyəvi Buxar Depoziti) sobası yarımkeçiricilər sənayesində müxtəlif materialların nazik təbəqələrini substratın üzərinə qoymaq üçün istifadə olunan soba növüdür. Proses vakuumda və ya aşağı təzyiqli mühitdə, istənilən nazik təbəqəni yaratmaq üçün substrat materialı ilə reaksiya verən reaktiv qazdan istifadə etməklə həyata keçirilir. CVD sobası mikroçiplər, günəş batareyaları və digər elektron cihazların istehsalı üçün vacib bir vasitədir.

CVD sobası necə işləyir?

CVD sobasıkamera daxilində aşağı təzyiqli mühit yaratmaq və kameraya reaktiv qaz daxil etməklə işləyir. Qaz substrat materialı ilə reaksiya verir və substratın səthində nazik bir film meydana gətirir. Proses yatırılan materialın növündən asılı olaraq yüksək temperaturda, adətən 500°C ilə 1200°C arasında aparılır.

Substrat materialı soba kamerasının içərisinə yerləşdirilir və kamera möhürlənir. Sonra reaktiv qaz kameraya daxil edilir və yüksək temperatura qədər qızdırılır. Qaz molekulları substrat materialı ilə reaksiya verir və nəticədə alınan məhsul substratın səthində nazik bir film meydana gətirir.

CVD sobasının tətbiqləri hansılardır?

CVD sobasıyarımkeçirici sənayesində geniş tətbiq sahəsinə malikdir, o cümlədən:

1. Mikroçip istehsalında istifadə olunan silikon dioksidin, silisium nitridin və digər dielektrik materialların çökməsi.

2. Mikroçiplərin istehsalında istifadə olunan polisilikon və digər keçirici materialların çökməsi.

3.Alüminium və mis kimi metal filmlərin çökməsi, mikroçipin müxtəlif təbəqələri arasında qarşılıqlı əlaqədə istifadə olunur.

4. Günəş hüceyrələrinin istehsalı üçün nazik təbəqələrin çökməsi.

5. Aşınmaya davamlı hissələrin və alətlərin istehsalı üçün örtüklərin çökməsi.

Yekun olaraq,CVD sobasımikroçiplərin, günəş batareyalarının və digər elektron cihazların istehsalına imkan verən yarımkeçirici sənayesi üçün mühüm vasitədir. O, kameranın içərisində aşağı təzyiqli mühit yaratmaq və nazik bir film yaratmaq üçün substrat materialı ilə reaksiya verən reaktiv qaz təqdim etməklə işləyir. Onun tətbiqləri geniş və müxtəlifdir, bu da onu müasir texnologiya üçün mühüm alətə çevirir.