Keçirici örtüklü qrafit qızdırıcıları

Bukeçirici örtüklü qrafit qızdırıcısıyüksək temperatur yarımkeçirici emalı və digər vakuum istilik sistemləri üçün hazırlanmış yeni bir məhsuldur. Yüksək təmizlik qrafitinin yaxşı istilik sabitliyini və silikon karbidinin (SIC) örtüyünün əla səth xüsusiyyətləri istifadə edir. Daşıyıcı örtüklü qrafit qızdırıcısı, çox yaxşılaşdırılmış səth keçiriciliyini təqdim edən azot dopun sic təbəqəsi ilə daha da fərqlənir, xüsusən də böyük elektrik performansı ilə idarə olunan və hətta istiləşmə ehtiyacı olan tətbiqlər üçün xüsusilə uyğunlaşdırır.

Qızdırıcı əsas struktur və istilik dirijoru kimi fəaliyyət göstərən yüksək güclü bir qrafit substratu ilə tikilir. Qrafit, yüksək səviyyədə istilik keçiriciliyinin, aşağı istilik genişləndirmə əmsalı və istilik şokuna qədər olanı nəzərdə tutur. Bu xüsusiyyətlər, sürətli istilik və soyutma dövrləri ola biləcəyi yüksək temperatur prosesi tətbiqlərində uyğun bir baza materialı halına gətirir. Bununla birlikdə, pristine qrafit özü müəyyən atmosferlərdə kimyəvi cəhətdən reaktivdir və geniş istifadə zamanı yerüstü zədələnmə, hissəciklərin emissiyası və ya depradasyonu, xüsusən də yarımkeçirici təmizlik mühitində yaşaya bilər.

Bu məhdudiyyətləri aradan qaldırmaq üçün qrafit hissəsi qalın, yüksək saflıqlı bir sic təbəqəsi ilə örtülmüşdür. SIC örtüyü çox sayda funksiyaya xidmət edir: oksidləşmə və kimyəvi korroziya ilə qorunma səviyyəsini təmin edir, çox sərt, aşınmaya davamlı bir səth təmin edir və vakuum və təmizlik standartları ilə uyğunluğu təmin edir. SIC həddindən artıq sərtlik, yüksək istilik keçiriciliyi və kimyəvi inertlik üçün bir nüfuza malikdir; Bu səbəbdən yüksək performanslı istilik komponentləri üçün əla örtük materialdır.

Bu məhsulun bənzərsiz yenilikləri SIC örtüklərinin azot dopinqidir. Kimyəvi buxarlanma zamanı (CVD) prosesi zamanı, azot atomları səth müqavimətini kəskin azalda bilən pulsuz daşıyıcılar istehsal edən və cərəyanı bir giriş nöqtəsindən istifadə etməklə, bütün qrafit komponentinin rezistiv istilik elementi kimi istifadə etməklə birbaşa keçməsinə icazə verin.

KlassikSic örtüklərHəqiqətən aktiv elektrik tətbiqetmələri daxilində onları məhdudlaşdıran izolyativdir. Əksinə, qızdırıcının azot-doped sic təbəqəsi, hələ də klassik SIC-nin bütün mexaniki və kimyəvi üstünlüklərini qoruyarkən son dərəcə aşağı bir səth müqavimətinə malikdir. Daşıyıcı qat çox yaxşı cari vahidliyi təmin edir və qızdırıcı səthində istilik paylanmasını yaxşılaşdırarkən güc itkisini minimuma endirir. Tez-tez epitaxial reaktorlar, diffuziya sobaları və sürətli istilik emal (RTP) avadanlıqları ilə əlaqəli şərtlərdə dəqiq istilik tətbiqləri üçün xüsusilə idealdır.

Qızdırıcı həndəsəsi, adətən spiral və ya imicdə göstərildiyi kimi spiral və ya serpentine, vahid istilik çıxışı enerjisi və vahid elektrik yükləmə istehsal etmək niyyəti ilə hazırlanmış və optimallaşdırılmışdır. Qrafit və keçirici sic örtüklərin inteqrasiya olunmuş dizaynı ilə elektrik kontaktları hər hansı bir əlavə elektrod və ya metal bağlantısına ehtiyacı aradan qaldıran örtüklü səthə birbaşa edilə bilər. Bu, çirklənmə risklərini azaldır və daha sadə bir məclisdə nəticələnir. Nəticə etibarilə ümumi səmərəliliyi yaxşılaşdırılır.

Keçiricinin əsas üstünlükləriSic ilə örtülmüş qrafit qızdırıcısıDaxil edin:

Azot dopinqi səbəbindən əla elektrik keçiriciliyi, birbaşa cari axını və səmərəli rezitiv istiliyini təmin edir.

Bütün səth sahəsi üzərində dəqiq istilik nəzarəti olan üstün istilik vahidliyi.

Xüsusilə hidrogen, ammonyak və ya halogen zəngin atmosfer kimi aşındırıcı mühitlərdə yüksək kimyəvi müqavimət.

Yarımkeçirici istehsalın sərt təmizlik tələblərinə cavab verən minimal hissəcik nəsli.

Genişləndirilmiş xidmət müddəti, həm qrafit nüvəsi və sic örtüklərin mexaniki davamlılığı və istilik şok müqaviməti sayəsində.

Bu qızdırıcı üçün tətbiqlər bir sıra qabaqcıl texnologiya sənayesi boyunca uzanır. Qızdırıcı, kimyəvi buxar çöküntüsü (CVD), molekulyar şüa epitaxiyası (MBE) və materialların təmizlənməsi və materialların təmizlənməsi kimi yarımkeçirici istehsal proseslərində yer tapacaqdır. SIC örtüklü qrafit qızdırıcısı, həmçinin fotovoltaik istehsal, qabaqcıl keramika və daha yüksək performans, davamlılığı və sağlam qızdırıcıların tələb olunduğu digər istilik proseslərində də istifadə edilə bilər.

Xülasə, keçirici SIC örtüklü qrafit qızdırıcısı istilik komponentlərinin inkişafında təsirli bir irəliləyişdir. Bir azot-doped sic örtükdən istifadə edərək, SIC örtüyünün kimyəvi sabitliyini elektrik keçiriciliyi ilə uğurla birləşdirən effektiv bir termal məhsul hazırladıq. Beləliklə, daha çox tələb olunan sənaye tətbiqləri üçün daha səmərəli, daha səmərəli və daha etibarlı bir termal proses istehsal edir. Yarımkeçirici və material sənayesi ilə üzləşən dəyişikliklər və bu cür dəyişiklik və hibrid materialları, gələcək üçün daha qabaqcıl texnologiyaların təmin edilməsində bu cür dəyişiklik və hibrid materialları getdikcə daha çox vacib olacaqdır.

Semikorex yüksək keyfiyyətli təklif edirörtüklü qrafit qızdırıcılarıMəhsullar. Hər hansı bir sualınız varsa və ya əlavə məlumatlara ehtiyacınız varsa, zəhmət olmasa bizimlə əlaqə qurmaqdan çəkinməyin.

Əlaqə Telefon # + 86-13567891907

Email: sales@semmorex.com