Seramik qızdırıcılar

Yarımkeçirici istehsalın ön iş (FEOL)kövrəkMüxtəlif proses müalicələrinə məruz qalmağınız lazımdır, xüsusən də vaflon müəyyən bir temperaturda qızdırılmalıdır və ciddi tələblər var, çünki temperaturun vahidliyi məhsul məhsuldarlığına çox vacib təsir göstərir; Eyni zamanda, yarımkeçirici avadanlıq, keramika qızdırıcılarının istifadəsini tələb edən vakuum, plazma və kimyəvi qazların iştirakı ilə işləməlidir.Seramik qızdırıcılarYarımkeçirici nazik film çəngəl avadanlıqlarının vacib komponentləridir. Proses Palatasında istifadə olunur və vafdanın sabit və vahid bir proses temperaturu əldə etməsi və incə filmlər yaratmaq üçün vaflonun səthində yüksək dəqiqliklə reaksiya vermək üçün birbaşa gofretlə əlaqə qurun.

Keramika qızdırıcıları tərəfindən istifadə olunan nazik film çökmə avadanlığı yüksək temperatur, əsasən alüminium nitridi (ALN) əsasında keramika materialları istifadə olunur. Alüminium nitridinin elektrik izolyasiyası və əla istilik keçiriciliyi olduğu üçün; Bundan əlavə, onun istilik genişləndirilməsi əmsalı silikonun yaxındır və əla plazma müqavimətinə malikdir, yarımkeçirici avadanlıq komponenti kimi istifadə üçün çox uyğundur.

Elektrostatik chucks (ESCS) əsasən, əsasən alüminium oksidi (AL2O3) olan avadanlıqlarda istifadə olunur. Elektrostatik Chuck'ın özü də bir nümunə olaraq quru taxma alaraq bir qızdırıcıdan bir qızdırıcını ehtiva edir, qeyri-etching xarakteristikasını qorumaq üçün -70 ℃ ~ 100 ℃ aralığında vafleri müəyyən bir temperaturda idarə etmək lazımdır. Buna görə, vaflon, vober temperaturunu dəqiq idarə etmək üçün elektrostatik chuck tərəfindən qızdırılmalı və ya yayılmalıdır. Bundan əlavə, vaffer səthinin vahidliyini təmin etmək üçün elektrostatik Chuck, proses məhsuldarlığını yaxşılaşdırmaq üçün hər bir temperatur nəzarət zonasının istiliyini ayrıca idarə etmək üçün temperatur nəzarət zonasını artırmalıdır. Əlbəttə ki, texnologiyanın inkişafı ilə ənənəvi keramika qızdırıcıları və elektrostatik chucks arasındakı fərq bulanıq olmağa başladı. Bəzi keramika qızdırıcıları yüksək temperaturlu istilik və elektrostatik adsorbsiyanın ikili funksiyaları var.

Keramika qızdırıcısı, arxa tərəfində onu dəstəkləyən vober və silindrik bir dəstək orqanı daşıyan bir keramika bazasını ehtiva edir. Keramika bazasının içərisində və ya səthində, istilik üçün müqavimət elementi (istilik qatının) əlavə olaraq bir radio tezlik elektrodu (radio tezlik təbəqəsi) də var. Sürətli istilik və soyutma nail olmaq üçün keramika bazasının qalınlığı incə olmalıdır, lakin çox incə də sərtliyi azaldır. Qızdırıcının dəstək orqanı ümumiyyətlə bazanın buna bənzər bir termal genişləndirmə əmsalı olan bir materialdan hazırlanmışdır, buna görə dəstək orqanı tez-tez alüminium nitriddən də hazırlanır. Qızdırıcı, terminalları və məftilləri plazma və aşındırıcı kimyəvi qazların təsirindən qoruya bilən bir mil (mil) birləşməsinin bənzərsiz bir quruluşu qəbul edir. Qızdırıcının vahid temperaturunu təmin etmək üçün bir istilik keçiriciliyi qaz girişi və çıxış borusu təmin edilir. Baza və dəstək orqanı kimyəvi cəhətdən bir bağlama təbəqəsi ilə bağlanır.

Semikorex yüksək keyfiyyətli təklif edirSeramik qızdırıcılar. Hər hansı bir sualınız varsa və ya əlavə məlumatlara ehtiyacınız varsa, zəhmət olmasa bizimlə əlaqə qurmaqdan çəkinməyin.

Əlaqə Telefon # + 86-13567891907

Email: sales@semmorex.com