Yarımkeçirici keramika hissələri

Yarımkeçirici keramika hissələri qabaqcıl keramikaya aiddir və yarımkeçirici istehsal prosesinin əvəzolunmaz bir hissəsidir. Hazırlıq üçün xammal ümumiyyətlə yüksək təmizlik, alüminium oksidi, silikon karbid, alüminium nitridi, silikon nitridi, yttrum oksid, sirkonium oksidi və s.

Alüminium oksidi

Geniş istifadə olunur və məhsulun performansı saflara görə dəyişir. 95% təmizlik açıq sarıdır və 99% saflıq qar ağdır. Mükəmməl möhkəmliyə, gücü, aşınma müqaviməti, yüksək temperatur müqaviməti və korroziyaya qarşı müqavimətinə malikdir və seramik nozzles, keramika qolları və s. Ən çox yarımkeçirici keramika hissələrini hazırlamaq üçün istifadə edilə bilər.

Silikon karbid

Qara, yüksək istilik keçiriciliyi, yüksək gücü və sərtliyi, yüngül çəki, yaxşı şok müqavimət və tez-tez vakuum silahları və vakuum emiş stəkanlarını hazırlamaq üçün istifadə olunur.

Alüminium nitridi

Yüksək istilik keçiriciliyi, silikon, aşağı dielektrik sabit və dielektrik itkisi, istilik yayılması substratları, keramik nozzles və s.

Silikon nitridi

Yüksək ərimə nöqtəsi, ultra yüksək sərtlik, yüksək kimyəvi inertlilik, aşağı istilik genişləndirmə əmsalı, yüksək istilik keçiriciliyi, yaxşı istilik şok müqaviməti, yüksək təsir müqavimət və 1200 ℃ -dən aşağı, keramika boruları və s.

Yttrix oksidi

Yüksək ərimə nöqtəsi, yaxşı kimyəvi və fotokimyəvi sabitlik, yüksək istilik keçiriciliyi, yaxşı işıq ötürmə, tez-tez keramika pəncərələri etmək üçün alüminiina ilə birlikdə.

Sirkonium oksidi

Yüksək mexaniki güc, yüksək temperatur müqavimət, turşu və qələvi müqavimət, yaxşı izolyasiya, müxtəlif məzmuna görə, inteqrasiya edilmiş dövrə substratları və s. Kimi müxtəlif məqsədlər üçün keramika məhsullarından ibarətdir.

Hissələri növləri:

Fərqli funksiyaları olan "hərtərəfli başlayan" yarımkeçirici keramika hissələri müxtəlif növ yarımkeçirici əsas avadanlıqlarda, əsasən aşağıdakılar da daxil olmaqla geniş istifadə olunur:

Yarımkeçirici keramika qolu

Wafters daşınarkən yarımkeçirici avadanlıqlarda rol oynayır və vakuum təmiz mühitdə işləməlidir. Adətən yüksək təmizlik alüminiina və ya silikon karbid ilə hazırlanan, alüminiina səmərəlidir və daha çox istifadə olunur.

Keramika substrat

Fərqli elektron qablaşdırma sahələrində, məsələn, güc elektron cihazları, lazerlər və s. Və tez-tez alümina və silikon nitridi kimi materiallar ilə hazırlanır.

Seramik nozzle

HDP-CVD-də, keyfiyyəti reaksiya qazının saflığı və axın sürətinə təsir göstərir. Alüminium nitride keramika əla performanslarına görə qabaqcıl proses avadanlığı üçün daha uyğundur.

Keramika pəncərəsi

Yarımkeçirici etcherin əsas komponentidir. Plazma nüfuzuna təsir etmədən möhürlənmiş vakuum ola bilər. Adətən yüksək təmiz alüminium və yttrium oksidindən hazırlanmışdır.

Keramika kamerası örtüyü

İncə film çökmə cihazının əsas komponentidir, bu, vafferin keyfiyyətini və reaksiya otağının möhürlənməsini təmin etmək üçün vacibdir.

Seramik vakuum Chuck

Silikon vafleri mövqe və sıxışdırmaq üçün istifadə olunur. İki keramika materialından hazırlanmış məsaməli bir keramika.

Hazırlıq prosesi:

"Sənətkarlıq" yarımkeçiricisi keramika hissələrinin hazırlanması prosesi, əsasən aşağıdakı addımlar daxil olmaqla mürəkkəbdir:

Pudrabitə hazırlıq

Xammal emal edilməlidir və tələblərə cavab verən xam toz, toplama, mexaniki top freze, sprey qurutma və digər proseslər vasitəsilə əldə edilir.

Tozbağası

Quru presifikasiyası, iSostatic pressing, ene tökmə, enjeksiyon qəlibləmə, gel injection qəlibləmə və digər üsullar tozu keramika yaşıl bədənə düzəltmək üçün istifadə olunur.

Yüksək temperaturun çəkilişi

Keramika yaşıl bədəni normal təzyiqin çəkilişi, vakuum sineki, atmosferin sintering və digər üsulları ilə sıx bir bişmiş bir bədənə çevrilir.

Dəqiqlik

Sinlə edilmiş keramika bişmiş bədən, tələb olunan ölçü və dəqiqliyə nail olmaq üçün CNC tornaları, üyüdücü və s. İlə işlənir.

Keyfiyyət yoxlaması

Məhsul keyfiyyətini təmin etmək üçün keramika hissələrinin görünüşü, ölçüsü, gözüçiliyi, pürülüyü və digər xüsusiyyətləri sınaqdan keçirilir.

Səthi təmizləmə

Keyfiyyətli yoxlamadan keçən məhsulların səthi təmizlənir və qövs püskürməsi, plazma çiləmə və s. Kimi xüsusi ehtiyaclar üçün yerüstü müalicə tələb olunur.

Semikorex yüksək keyfiyyətli təklif edirkeramika hissələriyarımkeçiricidə. Hər hansı bir sualınız varsa və ya əlavə məlumatlara ehtiyacınız varsa, zəhmət olmasa bizimlə əlaqə qurmaqdan çəkinməyin.

Əlaqə Telefon # + 86-13567891907

Email: sales@semmorex.com