Silikon əyri elektrodlar

Qabaqcıl aşındırma avadanlığı zamanı silikon əyri elektrod adətən aşındırma kamerasının yuxarı hissəsinə, yarımkeçirici vafli tərəfə baxaraq quraşdırılır. Silikon əyri elektrod adətən yüksək dəqiqlikli aşındırma üçün optimal iş şəraitini təmin etmək üçün elektrostatik çəngəl, Si fokus halqası, Si kənar halqası, Si egzoz halqası və Si qoruyucu halqa ilə birlikdə işləyir.

Semicorex silikon əyri elektrodların funksiyaları

1. Mürəkkəb 3D quruluşlu aşındırma ilə uyğun gəlir

Müstəsna 3D elektrik sahəsinə nəzarət qabiliyyəti ilə Semicorexsilikon əyri elektrodlarmürəkkəb strukturların həndəsi xüsusiyyətlərinə mükəmməl uyğunlaşa bilər. Xüsusi əyri dizayn dəqiq plazma nəzarətinə və optimallaşdırılmış enerji paylanmasına imkan verir ki, bu da 3D strukturunun aşındırılmasının aspekt nisbətinə və yan divar şaquliliyinə əhəmiyyətli dərəcədə təsir edir və qabaqcıl qablaşdırma prosesləri və 3D IC inteqrasiyasının istehsal xəttinin tələblərinə tam cavab verir.

2. Etch Qaz Paylanmasına Dəqiq Nəzarət

Semicorex silikon əyri elektrodları aşındırıcı qazın aşındırma kamerasına daxil olması üçün səthində çoxlu bərabər paylanmış mikro deşiklərə malikdir. Semicorex silisium əyri elektrodları aşındırıcı qaz üzərində dəqiq nəzarət əldə edə və onun aşındırma kamerasında bərabər paylanmasına imkan verə bilər, beləliklə, qeyri-bərabər qaz paylanması nəticəsində yaranan proses dəyişikliklərini minimuma endirir.

Semicorex silikon əyri elektrodların üstünlükləri

1. Ultra yüksək təmizlik

Semicorex silikon əyri elektrodlar ultra yüksək təmizlikli tək kristaldan hazırlanırsilikon99,9999999%-dən yuxarı təmizlik səviyyəsi ilə plazma eroziyasına qarşı üstün müqavimət təklif edir. Bu yüksək standartlı material seçimi əlavə məhsulların aşındırılması nəticəsində yaranan arzuolunmaz çirklənmənin qarşısını effektiv şəkildə ala bilər, eyni zamanda silikon əyri elektrodların xidmət müddətini əhəmiyyətli dərəcədə uzadır.

2. Əla elektrik xassələri

MCZ tərəfindən yetişdirilmiş tək kristal silisiumdan istehsal edilən Semicorex silikon əyri elektrodları əla müqavimət vahidliyi nümayiş etdirir: ＜5% və geniş seçilə bilən müqavimət diapazonu: aşağı reaktivlik. (<0,02), orta res. (1-4) və yüksək res. (70-90).

3. Dəqiq emal dəqiqliyi

Yüksək dəqiqlikli mexaniki emal vasitəsilə Semicorex silikon əyri elektrodları ardıcıl məsamə ölçüsünə və vahid deşik paylanmasına nail olur. Onların səthləri incə cilalanmış və üyüdülmüşdür: cilalanmış (Ra < 0,1 μm) və torpaq (Ra < 1,6 μm), ümumi emal dəqiqliyi 0,03 mm daxilində idarə olunur.