SiC örtüklü qrafit vafli daşıyıcıları

Yarımkeçirici vafli istehsalında, yarımkeçirici cihazların sonrakı mərhələlərdə istehsal oluna bilməsi üçün vafli substratda eptaksial təbəqə yetişdirilməlidir. Vafli epitaksial prosesində vafli substratı ilə birbaşa təmasda olan əvəzolunmaz istehlak komponenti olaraq, SiC ilə örtülmüş qrafit vafli daşıyıcıların performansı epitaksial materialın böyüməsinin vahidliyinə və təmizliyinə əhəmiyyətli dərəcədə təsir göstərir. Bu səbəbdən istifadəçilər üçün optimal SiC örtüklü qrafit gofret daşıyıcısını seçmək çox vacibdir.

Gofret daşıyıcılarının əsasını hazırlamaq üçün yüksək təmizlikli qrafitin qəbul edilməsi və uniformanın istifadəsiCVD SiC örtüyüvafli daşıyıcıya "qoruyucu zireh" vermək üçün Semicorex, çətin epitaksial proseslərdə vafli substratlar üçün etibarlı struktur dəstəyi təmin etməyə qadir olan və bununla da epitaksial materialların sabit və etibarlı artımını təmin edən yüksək keyfiyyətli SiC örtüklü qrafit vafli daşıyıcısını təklif etməyə həsr edilmişdir.

1. Premium qrafit bazası

A. Qrafit baza epitaksial proseslər zamanı tez və bərabər istilik paylamağa imkan verən üstün istilik keçiriciliyinə malikdir.

B. Nisbətən aşağı istilik genişlənmə əmsalı olan qrafit bazası bizimSiC örtüklü qrafit vafli daşıyıcılarıasanlıqla deformasiyaya uğramadan tez-tez istilik dövrlərinə tab gətirin.

C. Qrafit materialları əla mexaniki gücü ilə öyünür, buna görə də SiC ilə örtülmüş qrafit vafli daşıyıcılarımız uzunmüddətli epitaksiya tətbiqləri zamanı vafli substratları etibarlı şəkildə dəstəkləyə bilir.

2. Etibarlı CVD SiC örtüyü

A. Ultra yüksək təmizlik

CVD SiC örtüyünün təmizliyi ppb səviyyəsinə çata bilər ki, bu da vafli daşıyıcısı və vafli substratı arasında çirklənməni minimuma endirir, beləliklə yarımkeçirici sənayenin ciddi təmizlik tələblərini tam ödəyir.

B. Etibarlı mühafizə

CVD SiC örtüyü sıx bir quruluşa malikdir və qrafit əsasını yüksək temperatur və yüksək korroziyalı mühitlərdən tamamilə təcrid edə və qrafit əsasının kimyəvi korroziyasını və oksidləşməsini effektiv şəkildə maneə törətməyə qadirdir, beləliklə, uzunmüddətli xidmətdə SiC ilə örtülmüş qrafit vafli daşıyıcımızın etibarlı işləməsini təmin edir.

C. Güclü birləşmə gücü

CVD SiC örtüyü müstəsna istilik keçiriciliyi və qrafit bazaya oxşar istilik genişlənməsi təmin edir. O, qrafit bazası ilə güclü birləşmə gücü nümayiş etdirir və hətta kəskin temperatur dəyişikliklərində belə çatlamağa və ya soyulmağa daha az meyllidir.