Yarımkeçirici üçün keramika fokus halqaları

Semicorex keramikafokus halqasıyarımkeçiricilər üçün s sərt plazma aşındırma iş şəraiti üçün uyğunlaşdırılmış ideal həllərdir. Mürəkkəb yarımkeçirici aşındırma prosesi zamanı aşındırma kamerasının sabitliyini və ardıcıl yarımkeçirici aşındırma vahidliyini təmin edə bilən plazma paylanmasına dəqiq nəzarət etmək çox vacibdir. Qabaqcıl aşındırma avadanlıqlarında istifadə olunan əvəzedilməz komponentlər kimi fokus halqaları adətən yarımkeçirici vaflilərin ətrafında yerləşdirilir və onlarla birbaşa təmasda olur. Fokus halqalarının performansı prosesin təkrarlanmasına, məhsulun məhsuldarlığına və avadanlıqların işləmə müddətinə birbaşa təsir göstərir.

Yarımkeçiricilər üçün Semicorex keramika fokus halqalarının üstünlükləri

1.Ultra yüksək material təmizliyi

Bizim saflığımızCVD SiCmaterial 99,9995%-dən artıqdır. Bu, qeyri-kafi material təmizliyi səbəbindən aşındırma kamerasının və yarımkeçirici vaflilərin çirklənməsinin qarşısını effektiv şəkildə ala bilər.

2. Müstəsna korroziyaya davamlılıq

Yarımkeçiricilər üçün Semicorex keramika fokus halqaları oksidləşməyə, eroziyaya və kimyəvi korroziyaya əla müqavimət göstərən CVD SiC-dən hazırlanır, xüsusilə HF və HCI kimi proses qazlarına, həmçinin plazma qazına qarşı effektivdir.

3. Üstün müqavimət performansı

Yarımkeçiricilər üçün Semicorex keramika fokus halqalarının müqavimət vahidliyi 5%-dən azdır.

Müqavimət diapazonları: Aşağı Res. (<0,02 Ω·sm), Orta Res. (0,2–25 Ω·sm), Yüksək Res. (>100 Ω·sm).

Yarımkeçiricilər üçün Semicorex keramika fokus halqalarının funksiyaları

1. Kənar elektrik sahəsinə və plazma paylanmasına nəzarət edin və uniformasiya edin

Yarımkeçiricilər üçün Semicorex keramika fokus halqaları aşındırma kamerası daxilində elektrik sahəsinin paylanmasını idarə edə və yarımkeçirici vaflilər ətrafında daha vahid plazma qabığına nail ola bilər ki, bu da plazmanın vafli səthinə şaquli və vahid şəkildə toxunmasına imkan verir. Bu yolla, aşındırma kənarının təsiri xeyli azaldıla bilər və aşındırma dəqiqliyi əhəmiyyətli dərəcədə yaxşılaşdırıla bilər.

2. Elektrostatik ponksiyonu qoruyun

Aşınma prosesində fokus halqalarının qorunması olmadan, elektrostatik çubuq yüksək enerjili plazmanın bombalanmasına və aşınmasına məruz qalacaq. Elektrostatik çəngəllər çox yüksək əvəz xərci olan yüksək qiymətli materiallardan hazırlanır. Fokus halqalarından istifadə elektrostatik çəngəldə plazma korroziyasını effektiv şəkildə azalda bilər və elektrostatik çəngəlin saxlanması və dəyişdirilməsi xərclərini minimuma endirir.